研磨工具的制作方法

文档序号:19936641发布日期:2020-02-14 22:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种研磨工具,其特征在于,所述研磨工具包括:

一基座,所述基座具有一工作面以及形成在所述基座内的一流体通道,所述流体通道具有贯穿所述工作面的一出口侧;

一多孔隙层,所述多孔隙层设置在所述流体通道的所述出口侧;以及

一多孔洞研磨层,所述多孔洞研磨层设置在所述多孔隙层的一侧,使得所述多孔隙层夹设在所述基座与所述多孔洞研磨层之间。

2.根据权利要求1所述的研磨工具,其特征在于,所述多孔洞研磨层具有一蜂巢孔洞结构。

3.根据权利要求1所述的研磨工具,其特征在于,所述多孔洞研磨层具有多个孔洞结构,所述多个孔洞结构独立地具有一环形或多边形的孔洞形状。

4.根据权利要求3所述的研磨工具,其特征在于,所述环形包括圆形或椭圆形;所述多边形包括三角形、四边形、五边形、六边形、或八边形。

5.根据权利要求2所述的研磨工具,其特征在于,所述多孔洞研磨层包括一金属材质。

6.根据权利要求5所述的研磨工具,其特征在于,所述金属材质为铝。

7.根据权利要求1所述的研磨工具,其特征在于,所述多孔洞研磨层包括一结合层及多个研磨颗粒。

8.根据权利要求7所述的研磨工具,其特征在于,所述结合层包括一金属电镀材料、一金属烧结材料、一树脂材料、或一陶瓷材料。

9.根据权利要求8所述的研磨工具,其特征在于,所述金属电镀材料包括镍、铜、或铬。

10.根据权利要求7所述的研磨工具,其特征在于,所述研磨颗粒包括钻石、氧化铝、碳化硅、或立方氮化硼。

11.根据权利要求10所述的研磨工具,其特征在于,所述研磨颗粒为导电性钻石。

12.根据权利要求1所述的研磨工具,其特征在于,所述基座为一圆盘、一圆轮、或一棒体。

13.根据权利要求1所述的研磨工具,其特征在于,所述流体通道供一流体通过,并使该流体经由该多孔隙层而流动至该多孔洞研磨层的一研磨表面。

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