一种旋转式多位阻蒸舟的制作方法

文档序号:19160788发布日期:2019-11-16 01:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种旋转式多位阻蒸舟,其特征是:包括电源、旋转盘、下公用电极和换位电极;在旋转盘的顶面中心位置处,同轴设置有一个环形的上公用电极;在旋转盘的顶面边缘位置处,设置有若干个分电极,若干个分电极以环形路径均匀分布,该环形路径与旋转盘同轴;在每个分电极与上公用电极之间悬置有一个阻蒸舟,在每个分电极的下方设置有一个导电柱,导电柱竖向穿设在旋转盘上,若干个导电柱以环形路径均匀分布,该环形路径与旋转盘同轴;在所述旋转盘的底面中心位置处,同轴设置有一个环形的开关电极,所述开关电极通过导电棒与上公用电极连接,导电棒竖向穿设在旋转盘上;所述旋转盘的底部中心与一个转动轴上端连接固定,转动轴下端与一个伺服电机传动连接;所述下公用电极和换位电极分别设置在转动轴的两侧,下公用电极位于环形的开关电极下方,换位电极位于导电柱的下方,下公用电极的下端与一个升降气缸一的活塞杆连接固定,换位电极的下端与一个升降气缸二的活塞杆连接固定;下公用电极的下方设置有接线柱一,换位电极的下方设置有接线柱二;所述电源、接线柱一、下公用电极、开关电极、导电棒、上公用电极、阻蒸舟、分电极、导电柱、换位电极、接线柱二依序构成电源回路;所述伺服电机与电源电连接;所述升降气缸一、二与气泵连通。

2.如权利要求1所述的一种旋转式多位阻蒸舟,其特征是:所述下公用电极包括圆柱形接触头、导电棒二和固定底座,所述圆柱形接触头底部与导电棒二的顶部采用转向球头连接,导电棒二的底端与固定底座固定连接;所述圆柱形接触头、导电棒二、固定底座和接线柱一依序串联;还在圆柱形接触头与固定底座之间设置有分流器。

3.如权利要求1所述的一种旋转式多位阻蒸舟,其特征是:所述换位电极包括圆柱形接触头二、导电棒三和固定底座二,所述圆柱形接触头二底部与导电棒三的顶部采用转向球头连接,导电棒三的底端与固定座二固定连接;所述圆柱形接触头二、导电棒三、固定底座二和接线柱二依序串联;还在圆柱形接触头二与固定底座二之间设置有分流器二。

4.如权利要求1所述的一种旋转式多位阻蒸舟,其特征是:所述旋转盘内部设置有水冷腔,所述导电柱、导电棒均与水冷腔接触;所述转动轴为空心转动轴,其上端为进水口二与水冷腔连通,其下端开设有出水口,并在出水口上套设一个引流腔,引流腔上开设有出水口二,引流腔与转动轴内部连通,并通过密封轴承一转动连接;在转动轴的外侧,位于出水口的上方套设有水冷管,水冷管的内壁与转动轴外壁之间不接触形成水冷通道,水冷管上端与旋转盘固定连接并与水冷腔连通,水冷管的中段通过密封轴承二与一个密封安装管连接,水冷管的下端与转动轴之间密封并固定,在水冷管的下端套设一个进水腔,进水腔与水冷管通过密封轴承三转动连接,进水腔上设有进水口与外部的进水管连通,并且进水腔与水冷管连通。

5.如权利要求4所述的一种旋转式多位阻蒸舟,其特征是:所述旋转盘、换位电极、下公用电极以及转动轴的上段设置在真空镀膜机的镀膜室内,所述升降气缸一的活塞推杆、所述升降气缸二的活塞推杆、所述密封安装管分别通过密封件安装在真空镀膜室的底壁的相应的安装孔内,且所述升降气缸一的活塞推杆、所述升降气缸二的活塞推杆分别通过滑动密封轴承与相应的安装孔内的密封件密封连接。

6.如权利要求1所述的一种旋转式多位阻蒸舟,其特征是:所述阻蒸舟采用钨片制作,形状为舟形。

7.如权利要求1所述的一种旋转式多位阻蒸舟,其特征是:所述分电极、导电柱、阻蒸舟的数量相等,且为6个。


技术总结
本发明创造涉及真空镀膜技术领域,提出一种旋转式多位阻蒸舟。包括电源、旋转盘、下公用电极和换位电极;在旋转盘的顶面中心位置处,在旋转盘的顶面边缘位置处,设置有若干个分电极,在每个分电极与上公用电极之间悬置有一个阻蒸舟,在每个分电极的下方设置有一个导电柱,在所述旋转盘的底面中心位置处,同轴设置有一个环形的开关电极,开关电极通过导电棒与上公用电极连接,旋转盘的底部中心与一个转动轴上端连接固定,转动轴下端与一个伺服电机传动连接。本发明创造与传统的单位阻蒸舟相比较,可实现对多种不同的膜料进行加热、蒸发,采用一次抽真空,多工位旋转,从而达到工件多次镀膜的目的,提高了镀膜效率,简化了镀膜操作。

技术研发人员:任海宾;党亚军
受保护的技术使用者:南阳光驰科技有限公司
技术研发日:2019.08.22
技术公布日:2019.11.15
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1