直径大于300mm真空热压铍材的制备方法及铍材与流程

文档序号:20201197发布日期:2020-03-27 20:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种直径大于300mm的真空热压铍材的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:

步骤一、制备铍的重量含量大于99%、平均粒径为10~14μm的铍粉末;

步骤二、将所述铍粉末装入内径大于300mm石墨模具烘烤后放入真空热压炉内进行加压烧结;

步骤三、将加压烧结后的铍粉末冷却至室温后脱模,得到直径大于300mm的真空热压铍材。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述铍粉末中的杂质总重量含量低于1%。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,步骤二中,所述烘烤的温度为180~220℃;所述烘烤的时间大于8小时。

4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述烘烤的时间为10~15小时。

5.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,步骤二中,所述加压烧结的工艺条件为:

真空度不低于8×10-2帕,升温速度小于150℃/h,保温温度为1100~1150℃,保压压力为15~25mpa/cm2,保温保压时间为2~8小时,保温保压结束后断电随炉冷却。

6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述升温速度为100~140℃/h,所述保温温度为1120~1140℃,保压压力为18~22mpa/cm2,保温保压时间为4~6小时。

7.一种直径大于300mm的真空热压铍材,其特征在于,所述真空热压铍材采用权利要求1~6中任意一项所述的制备方法制备的。

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