一种微孔薄膜表面沉积装置及方法与流程

技术总结
本申请公开了一种微孔薄膜表面沉积工装置及方法，涉及二次电池用隔膜制造领域。本申请通过在箱体内划分若干不同的区域，并在不同区域中通入特定气体，使微孔薄膜在穿过箱体的移动过程中，第一通气管、第一通气管对微孔薄膜表面的不同部分同时进行通气，即可实现一种连续、高效的ALD处理方式。

技术研发人员：王晓明;魏凤杰
受保护的技术使用者：江苏卓高新材料科技有限公司
技术研发日：2019.10.15
技术公布日：2020.02.14