一种Al-Sc-X多元合金靶材及其制备方法与流程

文档序号:19749087发布日期:2020-01-21 19:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种al-sc-x多元合金靶材,其特征在于,由以下重量百分比计的组分组成:50%~98%al,1%~48%sc,1%~49%x,其中所述x为si、mg、ti、v、cr、mn、co、ni、cu、y、nb、mo、ta、w和ag中的一种或多种。

2.一种如权利要求1所述的al-sc-x多元合金靶材的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

s1:取al粉、sc粉和x粉在保护气体保护下进行混合,得混合金属粉末,所述al的纯度为99.9%以上,所述sc的纯度为99.9%以上,所述x粉的纯度为99.9%以上;

s2:将步骤s1所述混合金属粉末装入石墨模具中预压制,所述预压制的压力为1mpa~10mpa;

s3:将步骤s2中所述装有混合金属粉末的石墨模具在烧结炉中进行热压烧结,烧结温度为500℃~1200℃,烧结压力为10mpa~150mpa,烧结时间为10min~180min;

s4:将步骤s3所述的热压烧结后装有混合金属粉末的石墨模具降温至50℃以下、卸载压力、破真空及脱模,得到al-sc-x合金靶材。

3.根据权利要求2所述的al-sc-x多元合金靶材的制备方法,其特征在于,步骤s1所述al粉的粒度范围为2μm~100μm,所述sc粉的粒度范为10μm~200μm,所述x粉的粒度范围为2μm~100μm。

4.根据权利要求2所述的al-sc-x多元合金靶材的制备方法,其特征在于,步骤s1所述保护气体为氮气或惰性气体。

5.根据权利要求2所述的al-sc-x多元合金靶材的制备方法,其特征在于,所述步骤s2还可以为:将步骤s1所述金属粉末装入钢制模具中压制成型得到粉末坯料,压制的压力为10mpa~100mpa,然后再将所述粉末坯料转移至石墨模具中进行预压制。

6.根据权利要求2所述的al-sc-x多元合金靶材的制备方法,其特征在于,步骤s3所述热压烧结前先将所述烧结炉进行密封和抽真空,所述烧结炉的真空度为6.7×10-2~6.7×10-3pa。

7.根据权利要求6所述的al-sc-x多元合金靶材的制备方法,其特征在于,步骤s3所述烧结炉中充有惰性气体,所述充惰性气体和抽真空交替进行三次以上。

8.根据权利要求2所述的al-sc-x多元合金靶材的制备方法,其特征在于,步骤s4所述降温速度为2℃/min~20℃/min。

9.一种如权利要求1所述的al-sc-x多元合金靶材或如权利要求2-8所述的制备方法制备得到的al-sc-x多元合金靶材在真空溅射镀膜技术上的应用。

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