一种ITO旋转靶绑定设备的制作方法

文档序号:20728355发布日期:2020-05-12 18:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:包括用于加热旋转靶背管(10)的背管内加热装置(20)、升降平台(60)和工装定位装置,背管内加热装置(20)固定于地面,升降平台(60)滑动安装于背管内加热装置(20)的一侧,背管内加热装置(20)包括加热管(21)和底座(22),底座(22)固定于地面,加热管(21)竖直安装于底座(22);

工装定位装置包括工装底盘(31)、用于限定背管(10)端头至第一节ito靶材距离的定位环(40)、拉杆(12)和端盖(50),加热管(21)穿过工装底盘(31),工装底盘(31)的一端活动放置于底座(22),工装底盘(31)的另一端安装有定位环(40),背管(10)的一端插入至定位环(40),背管(10)的另一端安装有端盖(50),工装底盘(31)的边缘设置有底盘孔(32),端盖(50)的边缘设置有端盖孔(51),端盖孔(51)与底盘孔(32)的位置相对应,拉杆(12)的两端分别安装于位置对应的端盖孔(51)和底盘孔(32)。

2.根据权利要求1所述的一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:所述工装底盘(31)的底面设置有一保护限位部(35),保护限位部(35)的形状与所述加热管(21)的形状相匹配,保护限位部(35)与加热管(21)间隙配合,保护限位部(35)在竖直方向比所述背管(10)的内壁距离更近于所述加热管(21)外壁。

3.根据权利要求2所述的一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:所述工装底盘(31)的上部向内凹陷形成一定位安装部,所述定位环(40)活动卡合放置于定位安装部。

4.根据权利要求3所述的一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:所述定位环(40)的下部的外侧壁向中部内缩形成一卡位部(42),卡位部(42)卡位放置于所述定位安装部,定位环(40)上部的内侧壁向外扩展形成一背管放置平台(41),背管放置平台(41)在竖直方向设置设定高度,所述背管(10)的一端活动放置于背管放置平台(41),背管(10)的外侧壁抵贴于背管放置平台(41)的内侧壁。

5.根据权利要求4所述的一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:所述定位安装部包括安装部内侧壁(33),所述卡位部(42)的外侧壁抵贴安装于安装部内侧壁(33),卡位部(42)的轮廓形状与定位安装部的形状相匹配。

6.根据权利要求5所述的一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:所述定位安装部包括定位环放置平台(34),定位环放置平台(34)位于所述安装部内侧壁(33)与所述保护限位部(35)之间,定位环放置平台(34)在径向方向形成有一设定深度,所述定位环(40)的下部位于定位环放置平台(34)内。

7.根据权利要求6所述的一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:所述端盖(50)的底部开设有一背管安装部(52),背管安装部(52)的内壁轮廓与所述背管(10)的外壁轮廓相匹配。

8.根据权利要求7所述的一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:所述端盖(50)的中部开设有一端盖通孔(53),端盖通孔(53)与所述加热管(21)的外壁间隙配合,端盖(50)设置有吊环部(54),吊环部(54)固定焊接于端盖(50)或吊环部(54)螺接于端盖孔(51)。

9.根据权利要求8所述的一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:所述加热管(21)内部设置有加热元件和温度控制模块,加热元件电连接温度控制模块。

10.根据权利要求9所述的一种ito旋转靶绑定设备,其特征在于:所述升降平台(60)设置有滑轨(61)和平台部(62),平台部(62)滑动连接于滑轨(61),平台部(62)中部开设有平台口(63),所述加热管(21)位于平台口(63)内。


技术总结
本实用新型公开了一种ITO旋转靶绑定设备,包括背管内加热装置、升降平台和工装定位装置,背管内加热装置固定于地面,升降平台滑动安装于背管内加热装置的一侧,背管内加热装置包括加热管和底座,底座固定于地面,加热管竖直安装于底座;工装定位装置包括工装底盘、定位环、拉杆和端盖,加热管穿过工装底盘,工装底盘的一端活动放置于底座,工装底盘的另一端安装有定位环,背管的一端插入至定位环,背管的另一端安装有端盖,工装底盘的边缘设置有底盘孔,端盖的边缘设置有端盖孔,端盖孔与底盘孔的位置相对应,拉杆的两端分别安装于位置对应的端盖孔和底盘孔。本ITO旋转靶绑定设备,ITO靶材绑定质量稳定,绑定效果好,生产效率高。

技术研发人员:陈明恒
受保护的技术使用者:东莞市欧莱溅射靶材有限公司
技术研发日:2019.08.21
技术公布日:2020.05.12
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