一种ITO旋转靶绑定设备的制作方法

本实用新型涉及ito旋转靶绑定设备技术领域，尤其是涉及一种ito旋转靶绑定设备。

背景技术：

ito旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕固定的条状磁铁组件旋转，可360度均匀刻蚀靶面，具有利用率高，镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。ito薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，被广泛应用于平面相似等领域。ito是一种n型氧化物半导体-氧化铟锡，ito的材料脆硬，ito旋转靶材在绑定过程中由于背管与变形、绑定焊料的流动性不佳导致焊合率低、靶材受热不均等多个因素影响ito旋转靶材绑定的质量不稳定，ito旋转靶材的绑定直接影响厚度镀膜工艺的稳定性和成膜的质量等。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种ito旋转靶绑定设备，ito靶材绑定质量稳定，绑定效果好，生产效率高。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种ito旋转靶绑定设备，包括用于加热旋转靶背管的背管内加热装置、升降平台和工装定位装置，背管内加热装置固定于地面，升降平台滑动安装于背管内加热装置的一侧，背管内加热装置包括加热管和底座，底座固定于地面，加热管竖直安装于底座；工装定位装置包括工装底盘、用于限定背管端头至第一节ito靶材距离的定位环、拉杆和端盖，加热管穿过工装底盘，工装底盘的一端活动放置于底座，工装底盘的另一端安装有定位环，背管的一端插入至定位环，背管的另一端安装有端盖，工装底盘的边缘设置有底盘孔，端盖的边缘设置有端盖孔，端盖孔与底盘孔的位置相对应，拉杆的两端分别安装于位置对应的端盖孔和底盘孔。

进一步的技术方案中，所述工装底盘的底面设置有一保护限位部，保护限位部的形状与加热管的形状相匹配，保护限位部与加热管间隙配合，保护限位部在竖直方向比所述背管的内壁距离更近于所述加热管外壁。

进一步的技术方案中，所述工装底盘的上部向内凹陷形成一定位安装部，所述定位环活动卡合放置于定位安装部。

进一步的技术方案中，所述定位环的下部的外侧壁向中部内缩形成一卡位部，卡位部卡位放置于所述定位安装部，定位环上部的内侧壁向外扩展形成一背管放置平台，背管放置平台在竖直方向设置设定高度，所述背管的一端活动放置于背管放置平台，背管的外侧壁抵贴于背管放置平台的内侧壁。

进一步的技术方案中，所述定位安装部包括安装部内侧壁，所述卡位部的外侧壁抵贴安装于安装部内侧壁，卡位部的轮廓形状与定位安装部的形状相匹配。

进一步的技术方案中，所述定位安装部包括定位环放置平台，定位环放置平台位于所述安装部内侧壁与所述保护限位部之间，定位环放置平台在径向方向形成有一设定深度，所述定位环的下部位于定位环放置平台内。

进一步的技术方案中，所述端盖的底部开设有一背管安装部，背管安装部的内壁轮廓与所述背管的外壁轮廓相匹配。

进一步的技术方案中，所述端盖的中部开设有一端盖通孔，端盖通孔与所述加热管的外壁间隙配合，端盖设置有吊环部，吊环部固定焊接于端盖或吊环部螺接于端盖孔。

进一步的技术方案中，所述加热管内部设置有加热元件和温度控制模块，加热元件电连接温度控制模块。

进一步的技术方案中，所述升降平台设置有滑轨和平台部，平台部滑动连接于滑轨，平台部中部开设有平台口，所述加热管位于平台口内。

采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：

1.本实用新型的ito旋转靶绑定设备，ito旋转靶的背管与靶材管受热均匀，变形量小，ito旋转靶绑定焊合率高，ito旋转靶绑定质量稳定。

2.本实用新型的ito旋转靶绑定设备，操作简单方便，提高生产效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的背管、靶材管、工装定位装置和背管内加热装置的组装结构示意图。

图2是本实用新型的结构剖视图。

图3是本实用新型的图2的a处放大图。

图4是本实用新型的图2的b处放大图。

图5是本实用新型的工装底盘结构示意图。

图6是本实用新型的定位环结构示意图。

图7是本实用新型的拉杆结构示意图。

图8是本实用新型的端盖焊接吊环部的结构示意图。

图9是本实用新型的具有端盖通孔的端盖结构示意图。

图中：10-背管、11-靶材管、12-拉杆、13-密封圈；

20-背管内加热装置、21-加热管、22-底座；

31-工装底盘、32-底盘孔、33-安装部内侧壁、34-定位环放置平台、35-保护限位部；

40-定位环、41-背管放置平台、42-卡位部；

50-端盖、51-端盖孔、52-背管安装部、53-端盖通孔、54-吊环部；

60-升降平台、61-滑轨、62-平台部、63-平台口。

具体实施方式

以下仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。

一种ito旋转靶绑定设备，图1-图9所示，包括用于加热旋转靶背管10的背管内加热装置20、升降平台60和工装定位装置，背管内加热装置20固定于地面，升降平台60滑动安装于背管内加热装置20的一侧，背管内加热装置20包括加热管21和底座22，底座22固定于地面，加热管21竖直安装于底座22；工装定位装置包括工装底盘31、用于限定背管10端头至第一节ito靶材距离的定位环40、拉杆12和端盖50，加热管21穿过工装底盘31，工装底盘31的一端活动放置于底座22，工装底盘31的另一端安装有定位环40，背管10的一端插入至定位环40，背管10的另一端安装有端盖50，工装底盘31的边缘设置有底盘孔32，端盖50的边缘设置有端盖孔51，端盖孔51与底盘孔32的位置相对应，拉杆12的两端分别安装于位置对应的端盖孔51和底盘孔32。

ito的材料脆硬，ito旋转靶材在绑定过程中由于背管10与变形、绑定焊料的流动性不佳导致焊合率低、靶材受热不均等多个因素影响ito旋转靶材绑定的质量不稳定，ito旋转靶材的绑定直接影响厚度镀膜工艺的稳定性和成膜的质量等。本实用新型的ito旋转靶绑定设备，背管10通过工装底盘31固定于加热管21，加热管21插入背管10内，对背管10内部进行加热，且该加热管21内的温度根据实际需要进行及时调节，能在ito靶材绑定的不同阶段的背管10温度进行及时调整，以减少背管10的变形量，以及有利于绑定焊料流动性的及时调整。绑定好的ito旋转靶整管安装于工装定位装置内进行移动，操作简单，且有利于ito靶材整体性保护，移动方便，提高生产效率。

更为具体的，工装底盘31的底面设置有一保护限位部35，保护限位部35的形状与加热管21的形状相匹配，保护限位部35与加热管21间隙配合，保护限位部35在竖直方向比背管10的内壁距离更近于加热管21外壁。设置保护限位部35是为了将背管10与加热管21之间保持设定距离，防止背管10直接接触加热管21而使背管10受热过高或受热不均而产生变形。

工装底盘31、定位环40和端盖50的上下位置均以安装好后的结构状态为基准。

工装底盘31的上部向内凹陷形成一定位安装部，定位环40活动卡合放置于定位安装部。更为具体的，定位安装部包括安装部内侧壁33，卡位部42的外侧壁抵贴安装于安装部内侧壁33，卡位部42的轮廓形状与定位安装部的形状相匹配。定位环40活动卡合放置于定位安装部，此时定位环40可竖直往上抽出，定位环40卡合后，定位环40不能再往下活动且定位环40的外壁抵贴于定位安装部，防止定位环40在绑定过程中移动，影响绑定效果。

朝向圆心的方向为向内，方向相反为向外方向。

定位环40的下部的外侧壁向中部内缩形成一卡位部42，(外侧壁中部内缩的意思是外侧壁向圆心方向缩进)卡位部42卡位放置于定位安装部，定位环40上部的内侧壁向外扩展形成一背管放置平台41，背管放置平台41在竖直方向设置设定高度，背管10的一端活动放置于背管放置平台41，背管10的外侧壁抵贴于背管放置平台41的内侧壁。背管放置平台41在竖直方向的设定高度为背管10插入定位环40的高度，同时也是限定第一节ito靶材的底面距离插入定位环40的背管10端面的高度，在定位环40的顶面放置密封圈13后再放入第一节ito靶材便可以开始ito旋转靶的绑定。定位环40为连接背管10与工装底盘31之间的部件，因工装底盘31的材质为铝合金，铝合金的材质较硬，容易刮伤背管10，定位环40选用石墨材质，定位环40的材质较软，有利于保护背管10，防止背管10刮伤，另一方面通过设定背管放置平台41的高度限制背管10的端面与第一节ito靶材的距离。

定位安装部包括定位环放置平台34，定位环放置平台34位于安装部内侧壁33与保护限位部35之间，定位环放置平台34在径向方向形成有一设定深度，定位环40的下部位于定位环放置平台34内。定位放置平台设置有一定深度，用于有足够空间容纳定位环40和背管10。

工装底盘31、定位环40、背管10、ito靶材和端盖50同轴安装。端盖50的底部开设有一背管安装部52，背管安装部52的内壁轮廓与背管10的外壁轮廓相匹配。背管安装部52与背管放置平台41的位置相对应。背管10安装于工装底盘31，且在直接在工装底盘31上进行绑定，ito靶材也在绑定过程中陆续套入加热管21后在工装底盘31的基础上进行绑定，ito靶材绑定完后形成ito旋转靶材，在背管10的顶端安装端盖50，再用拉杆12将工装底盘31和端盖50进行拉紧固定，用吊起装置通过端盖50将整个ito旋转靶材整管吊起移动，有利于靶材整体性的保护，移动方便。

如图8-图9所示，端盖50的中部开设有一端盖通孔53，端盖通孔53与加热管21的外壁间隙配合，端盖50设置有吊环部54，吊环部54固定焊接于端盖50或吊环部54螺接于端盖孔51。在绑定时，端盖50中开设端盖通孔53，加热管21可穿过端盖通孔53，使绑定靶材的长度可短于加热管21，适用性更广。

加热管21内部设置有加热元件和温度控制模块，加热元件电连接温度控制模块。能对加热温度及时控温，能及时调整绑定过程中的加热温度以减少靶材绑定的变形，减少因温度骤变而产生的应力，同时及时调整靶材绑定焊料的流动性，调整灵活性强。

升降平台60设置有滑轨61和平台部62，平台部62滑动连接于滑轨61，平台部62的中部开设有平台口63，加热管21位于平台口63内。加热管21位于平台口63内，背管10和ito靶材竖直放置进行绑定，操作人员可根据绑定时放置的ito靶材的高度进行调节平台部62的高度。操作人员站在平台部62上，到接近平台口63的位置进行靶材绑定。

在对ito旋转靶材进行绑定时，将工装底盘31套入加热管21后，工装底盘31活动放置于底座22上。定位环40套套入加热管21后，定位环40卡位放置于工装底盘31。再将背管10套入加热管21后，背管10放置于定位环40的背管放置平台41。将密封圈13套入加热管21，密封圈13放置于定位环40的顶面，将第一节靶材管11套入加热管21后，第一节靶材管11放置于密封圈13上。对ito靶材进行绑定是需要将多节靶材管11绑定在背管10上，在相邻的靶材管11之间均放置有密封圈13。在放置密封圈13和靶材管11时，操作人员通过站在升降平台60上，操作升降平台60的升降进行对密封圈13和靶材管11的放置。在绑定过程中需要加热的工序变启动背管内加热装置20进行加热。在绑定程序完成后，将背管10卡位安装于背管安装部52，或将加热管21穿过端盖通孔53后，再将背管10卡位安装于背管安装部52，然后将拉杆12的两端分别对应安装于底盘孔32和端盖孔51，拉杆12将工装底盘31和端盖50进行拉紧，形成一完整的吊装工装。当然，拉杆12可以设置多个，对应的，底盘孔32和端盖孔51的数量分别也设置与拉杆12数量同样多。或相对的两侧安装吊环部54，另外对应的两侧安装拉杆12。或端盖孔51和底盘孔32分别设置4个，也设置有4条拉杆12分别对应安装，在端盖50上焊接有吊环部54。再通过一些吊装装置对吊装工装进行移走。

本实用新型的ito旋转靶绑定设备，ito旋转靶的背管10与靶材管11受热均匀，变形量小，ito旋转靶绑定焊合率高，ito旋转靶绑定质量稳定，操作简单方便，提高生产效率。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。