一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机的制作方法

本发明涉及一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机。

背景技术：

真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上。在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，而在磁控溅射镀膜设备中，磁场的设置尤为重要。目前普遍采用平面磁控溅射阴极(简称“平面阴极”)，平面阴极均是采用在磁靴中安装磁铁的方法来获得加速磁场。

平面阴极在长时间使用后，其表面的温度会上升从而影响镀膜效果，产生色道缺陷，而传统的水冷方式只能在短时间降温，而当阴极体使用一段时间后，当温度上升至一定程度时，传统水冷装置的散热能力就显得捉襟见肘了。

技术实现要素：

本发明的目的是为了解决以上现有技术的不足，提供一种连接方便的一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机。

一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，包括底座和设于底座上方的阴极体，底座下方设有铜背板，铜背板的下方设有散热铜管，散热铜管的头部设有进水口，散热铜管的尾部设有出水口，散热铜管以s型阵列均匀分布在铜背板的表面，散热铜管的一端与固定在铜背板上的散热鳍片相连，散热鳍片的另一端设有抽风式散热器，抽风式散热器与散热鳍片之间设有包裹着散热鳍片的硅胶套。

作为进一步改进，铜背板的四角设有固定螺丝，铜背板通过螺丝固定在底座上。

作为进一步改进，铜背板与底座之间设有导热硅脂。

作为进一步改进，散热铜管与铜背板之间的连接方式为焊接。

作为进一步改进，散热鳍片的材料为铜。

作为进一步改进，散热鳍片与铜背板和散热铜管的连接方式为焊接。

有益效果：

本发明设计巧妙，采用了风冷和水冷两种方式同时对平面阴极进行散热，在散热铜管里的水流带走一部分热量的同时，热量还会通过铜背板与散热铜管被传导到散热鳍片上，再通过抽风式散热器被吹走，大大提升了散热效果，从而提升了镀膜效果，避免了色道缺陷的产生。

附图说明

图1是一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机的散热部分示意图；

图2是散热部分的侧视图；

1.抽风式散热器2.硅胶套3.散热鳍片4.铜背板5.散热铜管6.进水口

7.出水口8.阴极体9.底座

具体实施方式

为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。

如图1所示，一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，包括抽风式散热器1、硅胶套2、散热鳍片3、铜背板4、散热铜管5、进水口6、出水口7、阴极体8和底座9。

一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，包括底座9和设于底座9上方的阴极体8，底座9下方设有铜背板4，铜背板4的四角设有固定螺丝，铜背板4通过螺丝固定在底座9上，铜背板4与底座9之间设有导热硅脂，铜背板4的下方设有散热铜管5，散热铜管5与铜背板4之间的连接方式为焊接，散热铜管5的头部设有进水口6，散热铜管5的尾部设有出水口7，散热铜管5以s型阵列均匀分布在铜背板4的表面，散热铜管5的一端与固定在铜背板4上的散热鳍片3相连，散热鳍片3与铜背板4和散热铜管5的连接方式为焊接，散热鳍片3的材料为铜，散热鳍片3的另一端设有抽风式散热器1，抽风式散热器1与散热鳍片3之间设有包裹着散热鳍片3的硅胶套2。

本发明采用了风冷和水冷两种方式同时对平面阴极进行散热，在散热铜管5里的水流带走一部分热量的同时，热量还会通过铜背板4与散热铜管5被传导到散热鳍片3上，再通过抽风式散热器1被吹走，大大提升了散热效果，从而提升了镀膜效果，避免了色道缺陷的产生。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

1.一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，包括底座和设于底座上方的阴极体，其特征在于，底座下方设有铜背板，铜背板的下方设有散热铜管，散热铜管的头部设有进水口，散热铜管的尾部设有出水口，散热铜管以s型阵列均匀分布在铜背板的表面，散热铜管的一端与固定在铜背板上的散热鳍片相连，散热鳍片的另一端设有抽风式散热器，抽风式散热器与散热鳍片之间设有包裹着散热鳍片的硅胶套。

2.根据权利要求1所述的一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，其特征在于，铜背板的四角设有固定螺丝，铜背板通过螺丝固定在底座上。

3.根据权利要求1所述的一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，其特征在于，铜背板与底座之间设有导热硅脂。

4.根据权利要求1所述的一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，其特征在于，散热铜管与铜背板之间的连接方式为焊接。

5.根据权利要求1所述的一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，其特征在于，散热鳍片的材料为铜。

6.根据权利要求1所述的一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，其特征在于，散热鳍片与铜背板和散热铜管的连接方式为焊接。

技术总结
本发明公开了一种可减少镀膜后产生色道缺陷的真空镀膜机，包括底座和设于底座上方的阴极体，底座下方设有铜背板，铜背板的下方设有散热铜管，散热铜管的头部设有进水口，散热铜管的尾部设有出水口，散热铜管以S型阵列均匀分布在铜背板的表面，散热铜管的一端与固定在铜背板上的散热鳍片相连，散热鳍片的另一端设有抽风式散热器，抽风式散热器与散热鳍片之间设有包裹着散热鳍片的硅胶套。本发明采用了风冷和水冷两种方式同时对平面阴极进行散热，大大提升了散热效果，从而提升了镀膜效果，避免了色道缺陷的产生。

技术研发人员：匡国庆
受保护的技术使用者：镇江市德利克真空设备科技有限公司
技术研发日：2020.08.19
技术公布日：2020.10.20