专利名称：一种新型超高真空环境下使用的光学狭缝装置的制作方法
技术领域：
本发明属于光学精密机械技术领域，涉及一种对高真空环境下使用的光学狭缝装置的改进。
光学狭缝广泛应用于光谱仪器中，是单色器系统的一个重要部件，其运动精度和分辨率要求很高。光学狭缝运动状态的好坏直接影响整台仪器的光谱分辨本领。在超高真空领域，当真空度为10-5-10-8帕时，由于运动机构不允许油层润滑，在常规环境中正常使用的狭缝机构无法在超高真空环境下应用。
本发明的目的在于解决常规光学狭缝运动机构在超高真空环境下易于卡死，运动不灵活，无法在超高真空环境下应用等缺点，提供一种在高真空环境下使用的光学狭缝装置。
本发明的详细内容如图1所示它包括测微螺杆1、焊接波纹管2、真空壳体3、密珠直线导轨付4、楔形滑块5、弹性平行四边形机构6、狭缝缝片7、滚动推杆8，测微螺杆1与焊接波纹管2固定连接，焊接波纹管2与真空壳体3固定连接在一起，密珠直线导轨4的运动件一端与焊接波纹管2相连，密珠直线导轨4的另一端与楔形滑块5相连，楔形滑块5的斜边同滚动推杆8接触连接，狭缝缝片7和滚动推杆8安装在弹性平行四边形机构6的一个活动边上，弹性平行四边形机构6的另一边安装在真空壳体3的基座上。
本发明的动态工作过程测微螺杆1通过焊接波纹管2推动楔形滑块5运动，楔形滑块5由密珠直线导轨付4支撑，楔形滑块5精密上下运动。楔形滑块5上下运动通过其斜边推动滚动推杆7的横向运动，带动四边形机构6上的狭缝缝片7横向移动。横向移动的运动精度由弹性四边形机构6来保证。
本发明的积极效果本发明采用弹性平行四边形机构来装夹狭缝狭缝片，能保证狭缝缝片在无横向导轨的情况下，精密连续横向平移，克服常规条件下支撑光学缝片的导轨付在超高真空条件下易于发生爬行、断续、抱死等现象。采用密珠直线导轨付，保证楔形滑块精密顺畅上下运动，并可与超高真空环境兼容。在光学狭缝装置中采用密珠直线导轨付和弹性平行四边形机构配合使用，可使得光学狭缝缝片开口精度、开口对称性达到微米量级。这些对于常规狭缝在超高真空环境下，很难实现。密珠直线导轨付具有过盈配合、无间隙、相对滚动运动、磨损量小、寿命长等特点。
图1是本发明的结构示意图。
本发明的最佳实施例如图1所示。
测微螺杆1选用的材料为1Cr18NiTi不锈钢材料，由长春光机所加工制成；焊接波纹管2选用的材料为1Cr18NiTi不锈钢，由沈阳科学仪器研制中心加工；真空壳体3选用的材料为1Cr18NiTi不锈钢，由沈阳科学仪器研制中心加工；密珠直线导轨付4选用的材料为38CrMoAl，由长春光机所加工；楔形滑块5选用的材料为2Cr13，由长春光机所加工；弹性平行四边形机构6选用的材料为2Cr13材料，由长春光机所加工；狭缝缝片7选用的材料为2Cr13，由长春光机所加工；滚动推杆8选用的材料为2Cr13，由长春光机所加工。焊接波纹管2与真空壳体3由氩弧焊焊接在一起。测微螺杆1与焊接波纹管2由螺钉连接。
权利要求1.一种新型高真空环境下使用的光学狭缝装置，它包括测微螺杆1、焊接波纹管2、真空壳体3、楔形滑块5、狭缝缝片7、滚动推杆8，其特征在于测微螺杆1与焊接波纹管2固定连接，焊接波纹管2与真空壳体3固定连接在一起，密珠直线导轨4的运动件一端与焊接波纹管2相连，密珠直线导轨4的另一端与楔形滑块5相连，楔形滑块5的斜边同滚动推杆8接触连接，狭缝缝片7和滚动推杆8安装在弹性平行四边形机构6的一个活动边上，弹性平行四边形机构6的另一边安装在真空壳体3的基座上。
专利摘要本发明属于光学精密机械技术领域,涉及一种对高真空环境下使用的光学狭缝装置的改进。它包括测微螺杆、波纹管、真空壳体、直线导轨副、楔形滑块、平行四边形机构、狭缝缝片、滚动推杆,采用平行四边形机构装夹狭缝缝片保证狭缝缝片在横向导轨的情况下精密连续横向平移。采用直线导轨副保证楔形滑块精密运动并可与超高真空环境兼容。采用直线导轨副和平行四边形机构配合使用使得狭缝缝片开口精度、开口对称性达到微米量级。
文档编号G01J3/00GK2405203SQ99256949
公开日2000年11月8日 申请日期1999年12月16日 优先权日1999年12月16日
发明者卢启鹏 申请人:中国科学院长春光学精密机械研究所