一种蒸发炉及双面镀膜装置的制作方法

本实用新型属于蒸发镀膜技术领域，特别涉及一种蒸发炉及双面镀膜装置。

背景技术：

现有的蒸发镀膜常用单面镀膜方式，在需要双面镀膜的场合，需要增加复杂的换面设备才能进行双面镀膜，势必增加设备占地面积和提高制造成本。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种结构简单的蒸发炉及双面镀膜装置，在现有单面镀膜装置上进行改造就可以实现双面镀膜，占用体积小，制造成本低。

本实用新型是这样实现的，提供一种蒸发炉，包括炉体和蒸发坩埚，蒸发坩埚设置在炉体内，炉体的顶面密闭，在炉体内设有加热丝，在炉体的底面设有炉体开孔，在蒸发坩埚的底面也设有与炉体开孔同轴的坩埚通孔，坩埚通孔位于待蒸镀部件上方，在蒸发坩埚内设有盛装蒸镀材料的坩埚容腔，位于坩埚容腔内的蒸镀材料的蒸发气体通过坩埚通孔和炉体开孔后向下沉积到部件表面并蒸镀沉积成所需要的镀层。

进一步地，在坩埚容腔内设有对蒸镀材料进行搅拌的搅拌装置。

进一步地，所述搅拌装置包括磁力控制系统和由多个磁力座和弹簧圈组成的磁力旋转座，弹簧圈套接在磁力座的外缘，在每个磁力座底部设置安装孔，在安装孔的底部设置有磁铁，对应地在蒸发坩埚上设置凸起的磁力棒，磁力座通过安装孔活动地套接在磁力棒上，在磁力棒底部所对应的炉体内设置磁力柱，磁力控制系统通过磁力柱变换磁力棒的极性，以驱动磁力旋转座绕其所在的磁力棒转动。

进一步地，在蒸发坩埚底部所处位置的炉体上设置可开启和闭合的源炉底盖，炉体开孔设置在源炉底盖上。

进一步地，在蒸发坩埚的外周缘设置外螺纹，在与其对应的炉体上设置与外螺纹配合的内螺纹。

进一步地，在坩埚通孔处设置多孔金属过滤层。

进一步地，炉体外壁的材料为不锈钢。

进一步地，磁力座的材料氮化锆，弹簧圈的材料为不锈钢。

本实用新型是这样实现的，提供一种双面镀膜装置，其使用了如前所述的蒸发炉。

进一步地，所述蒸发炉位于待蒸镀部件的上方，与位于待蒸镀部件下方的另一蒸发装置一起同时对待蒸镀部件的上下两面进行镀膜。

进一步地，所述蒸发炉与蒸发装置位于同一蒸镀腔室内。

与现有技术相比，本实用新型的一种蒸发炉及双面镀膜装置，蒸发炉包括炉体和蒸发坩埚，蒸发坩埚设置在炉体内，炉体的顶面密闭，在炉体内设有加热丝，在炉体的底面设有炉体开孔，在蒸发坩埚的底面也设有与炉体开孔同轴的坩埚通孔，坩埚通孔位于待蒸镀部件上方，在蒸发坩埚内设有盛装蒸镀材料的坩埚容腔，位于坩埚容腔内的蒸镀材料的蒸发气体通过坩埚通孔和炉体开孔后向下沉积到部件表面并蒸镀沉积成所需要的镀层。本实用新型的蒸发炉设置在待蒸镀部件上方，对待蒸镀部件的上表面进行镀膜，克服现有单面镀膜方式中只能对蒸镀部件的下表面进行镀膜的缺陷，占用体积小，制造成本低，对现有的单面镀膜装置进行改造就可以实现双面镀膜。

附图说明

图1为本实用新型的蒸发炉的立体示意图；

图2为图1中的炉体的立体示意图；

图3为图1中搅拌装置的平面示意图；

图4为图3中的磁力座与弹簧圈组合状态的俯视图；

图5为本实用新型的双面镀膜装置平面示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请同时参照图1至图4所示，图中的箭头方向指示的是物料流向。本实用新型一种蒸发炉的较佳实施例，包括炉体1和蒸发坩埚2，蒸发坩埚2设置在炉体1内。炉体1的顶面密闭，在炉体1内设有加热丝（图中未示出）。

在炉体1的底面设有炉体开孔3，在蒸发坩埚2的底面也设有与炉体开孔3同轴的坩埚通孔4。坩埚通孔4位于待蒸镀部件上方，在蒸发坩埚2内设有盛装蒸镀镀层材料的坩埚容腔5，位于坩埚容腔5内的蒸镀镀层材料的蒸发气体通过坩埚通孔4和炉体开孔3后向下沉积到部件表面并蒸镀沉积成所需要的镀层。

炉体1外壁的材料为不锈钢，其内填充有耐热保温材料。加热丝的材质为氮化钽。

在坩埚通孔4处设置多孔金属过滤层（图中未示出），蒸镀材料的蒸发气体通过多孔金属过滤层过滤后沉积到部件表面。多孔金属过滤层的孔径大小可替换。

在坩埚容腔5内设有对蒸镀材料进行搅拌的搅拌装置6。所述搅拌装置6包括磁力控制系统（图中未示出）和由多个磁力座61和弹簧圈62组成的磁力旋转座63。弹簧圈62套接在磁力座61的外缘，多个磁力旋转座63组成磁力旋转阵列。在每个磁力座61底部设置安装孔64，在安装孔64的底部设置有磁铁（图中未示出），对应地在蒸发坩埚2上设置凸起的磁力棒65，磁力座61通过安装孔64活动地套接在磁力棒65上。在磁力棒65底部所对应的炉体1内设置磁力柱66。磁力控制系统通过磁力柱66变换磁力棒65的极性，以驱动磁力旋转座63绕其所在的磁力棒65转动。磁力座61底部的安装孔64与蒸发坩埚上的磁力棒65以及炉体1内的磁力柱66同轴。旋转的磁力旋转座63充分搅动蒸镀材料，提高蒸镀材料的蒸发率。

磁力座61的材料氮化锆，弹簧圈62的材料为不锈钢。氮化锆材料是一种耐高温材料，吸热后具有长期保温的效果，因此可以使环绕在其周围的蒸镀材料长久保持稳定的熔融态，使蒸镀速率更稳定。当磁力旋转阵列高速运动时，熔融态的镀膜材料被快速蒸发，并从蒸发坩埚2的坩埚通孔4沉积到部件表面。

在蒸发坩埚2底部所处位置的炉体1上设置可开启和闭合的源炉底盖7，炉体开孔3设置在源炉底盖7上。

在蒸发坩埚2的外周缘设置外螺纹（图中未示出），在与其对应的炉体1上设置与外螺纹配合的内螺纹8，蒸发坩埚2通过螺纹副旋入和旋出炉体1便于向蒸发坩埚2内加入蒸镀镀层的原料。

本实用新型还公开一种双面镀膜装置，其使用了如前所述的蒸发炉。

请同时参照图1和图5所示，图中的箭头方向指示的是物料流向，所述蒸发炉a位于待蒸镀部件d的上方，与位于待蒸镀部件d下方的另一蒸发装置b一起同时对待蒸镀部件d的上下两面进行镀膜。

所述蒸发炉a与蒸发装置b位于同一蒸镀腔室c内。蒸发装置b包括盛装蒸镀材料的下坩埚b1，下坩埚b1位于待蒸镀部件d下方。

本实用新型在现有单面镀膜装置上进行改造，在原有蒸镀腔室c内增设蒸发炉a，对待蒸镀部件d的上表面进行镀膜，就可以实现双面镀膜，占用体积小，制造成本低。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种蒸发炉，其特征在于，包括炉体和蒸发坩埚，蒸发坩埚设置在炉体内，炉体的顶面密闭，在炉体内设有加热丝，在炉体的底面设有炉体开孔，在蒸发坩埚的底面也设有与炉体开孔同轴的坩埚通孔，坩埚通孔位于待蒸镀部件上方，在蒸发坩埚内设有盛装蒸镀材料的坩埚容腔，位于坩埚容腔内的蒸镀材料的蒸发气体通过坩埚通孔和炉体开孔后向下沉积到部件表面并蒸镀沉积成所需要的镀层。

2.如权利要求1所述的一种蒸发炉，其特征在于，在坩埚容腔内设有对蒸镀材料进行搅拌的搅拌装置。

3.如权利要求2所述的一种蒸发炉，其特征在于，所述搅拌装置包括磁力控制系统和由多个磁力座和弹簧圈组成的磁力旋转座，弹簧圈套接在磁力座的外缘，在每个磁力座底部设置安装孔，在安装孔的底部设置有磁铁，对应地在蒸发坩埚上设置凸起的磁力棒，磁力座通过安装孔活动地套接在磁力棒上，在磁力棒底部所对应的炉体内设置磁力柱，磁力控制系统通过磁力柱变换磁力棒的极性，以驱动磁力旋转座绕其所在的磁力棒转动。

4.如权利要求3所述的一种蒸发炉，其特征在于，在蒸发坩埚底部所处位置的炉体上设置可开启和闭合的源炉底盖，炉体开孔设置在源炉底盖上。

5.如权利要求3所述的一种蒸发炉，其特征在于，炉体外壁的材料为不锈钢，磁力座的材料氮化锆，弹簧圈的材料为不锈钢。

6.如权利要求1所述的一种蒸发炉，其特征在于，在蒸发坩埚的外周缘设置外螺纹，在与其对应的炉体上设置与外螺纹配合的内螺纹。

7.如权利要求1所述的一种蒸发炉，其特征在于，在坩埚通孔处设置多孔金属过滤层。

8.一种双面镀膜装置，其特征在于，其使用了如权利要求1至7中任意一项所述的蒸发炉。

9.如权利要求8所述的一种双面镀膜装置，其特征在于，所述蒸发炉位于待蒸镀部件的上方，与位于待蒸镀部件下方的另一蒸发装置一起同时对待蒸镀部件的上下两面进行镀膜。

10.如权利要求8所述的一种双面镀膜装置，其特征在于，所述蒸发炉与蒸发装置位于同一蒸镀腔室内。

技术总结
本实用新型涉及一种蒸发炉，包括炉体和蒸发坩埚，蒸发坩埚设置在炉体内，炉体的顶面密闭，在炉体内设有加热丝，在炉体的底面设有炉体开孔，在蒸发坩埚的底面也设有与炉体开孔同轴的坩埚通孔，坩埚通孔位于待蒸镀部件上方，在蒸发坩埚内设有盛装蒸镀材料的坩埚容腔，位于坩埚容腔内的蒸镀材料的蒸发气体通过坩埚通孔和炉体开孔后向下沉积到部件表面并蒸镀沉积成所需要的镀层。本实用新型还公开一种使用该蒸发炉的双面镀膜装置。本实用新型对现有的单面镀膜装置进行改造就可以实现双面镀膜，占用体积小，制造成本低。

技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：杭州纤纳光电科技有限公司
技术研发日：2020.04.14
技术公布日：2020.11.24