技术特征：
1.一种管式气相沉积炉，其特征在于：包括管体(101)、进料口(102)、气孔(103)、加热箱(201)、连接板(301)和底座(401)，管体(101)两端均设有进料口(102)和气孔(103)，加热箱(201)滑动连接在管体(101)上，管体(101)连接在连接板(301)上，连接板(301)转动连接在底座(401)上。2.根据权利要求1所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括挡片(104)、固定螺栓(105)和固定环(302)，管体(101)上可拆卸连接有两个挡片(104)，多个固定螺栓(105)分别螺纹连接在两个挡片(104)上，两个固定环(302)均固定连接在连接板(301)上，两个固定环(302)上设有多个螺纹孔，管体(101)能够穿过两个固定环(302)。3.根据权利要求2所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括减速电机(303)和丝杠(304)，丝杠(304)固定连接在减速电机(303)的输出轴上，丝杠(304)转动连接在两个固定环(302)上，加热箱(201)螺纹连接在丝杠(304)上。4.根据权利要求3所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括限位条(305)，两个限位条(305)固定连接在连接板(301)上，加热箱(201)滑动连接在两个限位条(305)上。5.根据权利要求4所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括分隔板(107)，管体(101)内中部固定连接有分隔板(107)。6.根据权利要求5所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括均分板(106)，多个均分板(106)均固定连接在管体(101)内。7.根据权利要求6所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括滑槽(306)和传动部(403)，连接板(301)上设置有两个滑槽(306)，两个传动部(403)分别滑动连接在两个滑槽(306)内。8.根据权利要求7所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括液压缸(402)，两个传动部(403)分别固定连接在两个液压缸(402)上，两个液压缸(402)均固定连接在连接板(301)上。9.根据权利要求8所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括固定部(405)，连接板(301)上连接有两个固定部(405)，两个固定部(405)能够插入加热箱(201)下方。10.根据权利要求9所述的一种管式气相沉积炉，其特征在于：还包括气缸(404)，两个气缸(404)固定连接在连接板(301)上，两个固定部(405)固定连接在两个气缸(404)的伸缩杆上。
技术总结
本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是一种管式气相沉积炉。本实用新型提供一种管式气相沉积炉，其有益效果为可以实现使待加工物体均匀分布在管内，无法使得气体与待加工物体充分接触。一种管式气相沉积炉，包括管体、进料口、气孔、加热箱、连接板和底座，管体两端均设有进料口和气孔，加热箱滑动连接在管体上，管体连接在连接板上，连接板转动连接在底座上。一种管式气相沉积炉还包括挡片、固定螺栓和固定环，管体上可拆卸连接有两个挡片，多个固定螺栓分别螺纹连接在两个挡片上，两个固定环均固定连接在连接板上，两个固定环上设有多个螺纹孔，管体能够穿过两个固定环。管体能够穿过两个固定环。管体能够穿过两个固定环。
技术研发人员：董家海
受保护的技术使用者：浙江诺华陶瓷有限公司
技术研发日：2021.07.07
技术公布日：2021/11/30