技术特征：
1.一种气相沉积炉，包括滑块(9)、转轴(10)、伸缩杆(11)和夹板(12)，其特征在于：所述滑块(9)上转动连接由转轴(10)，转轴(10)上固接有伸缩杆(11)，伸缩杆(11)上固接有夹板(12)。2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉，其特征在于：所述伸缩杆(11)上套接有拉簧。3.根据权利要求2所述的一种气相沉积炉，其特征在于：所述伸缩杆(11)设置有两个，两个伸缩杆(11)分别固接在转轴(10)的两端上。4.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉，其特征在于：还包括滑道(7)和控制轴(8)，滑道(7)上转动连接有控制轴(8)，控制轴(8)上螺纹连接有滑块(9)，滑块(9)滑动连接在滑道(7)内。5.根据权利要求4所述的一种气相沉积炉，其特征在于：还包括箱体(1)、挡板(2)和抽取管(4)，箱体(1)上滑动连接有挡板(2)，箱体(1)内设置有抽取管(4)，抽取管(4)上连接有真空泵，箱体(1)上固接有滑道(7)。6.根据权利要求5所述的一种气相沉积炉，其特征在于：还包括加热器(13)和控制槽(14)，加热器(13)固接在箱体(1)上，控制槽(14)固接在箱体(1)上，转轴(10)转动连接在控制槽(14)上。7.根据权利要求4所述的一种气相沉积炉，其特征在于：还包括滑槽(3)，滑槽(3)设置有两个，两个滑槽(3)分别设置在箱体(1)的两端上。8.根据权利要求7所述的一种气相沉积炉，其特征在于：还包括支撑板(5)和夹块(6)，支撑板(5)上滑动连接有夹块(6)，夹块(6)设置有两个，两个夹块(6)分别滑动连接在支撑板(5)的两端上，支撑板(5)滑动连接在滑槽(3)上。9.根据权利要求8所述的一种气相沉积炉，其特征在于：所述两个夹块(6)上均设置有拉簧。10.根据权利要求9所述的一种气相沉积炉，其特征在于：所述支撑板(5)设置有两个，两个支撑板(5)分别滑动连接在两个滑槽(3)上。
技术总结
本实用新型涉及沉积炉领域，更具体的说是一种气相沉积炉，包括包括箱体、挡板、滑槽、抽取管、加热器和控制槽，挡板滑动连接在箱体上，滑槽固接在箱体上，滑槽设置有两个，两个滑槽分别设置在箱体的两端上，箱体上设置有抽取管，抽取管上连接有真空本，箱体上设置有加热器，箱体上设置有控制槽，还包括支撑板和夹块，滑槽上滑动连接有支撑板，支撑板的两端上均滑动连接有夹块，两个夹块上均套接有拉簧，支撑板设置有两个，两个支撑板分别滑动连接在两个滑槽上，通过两个夹块将被覆基板进行固定通过抽取管将箱体内抽真空，使用加热器将箱体内温度升高使待镀材料烘干，待镀材料气化后在箱体内飞行至被覆基板的表面使被覆基板表面镀膜。内飞行至被覆基板的表面使被覆基板表面镀膜。内飞行至被覆基板的表面使被覆基板表面镀膜。
技术研发人员：董家海
受保护的技术使用者：浙江诺华陶瓷有限公司
技术研发日：2021.07.22
技术公布日：2021/12/21