一种晶圆加工用多工位切面抛光装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工领域，具体是一种晶圆加工用多工位切面抛光装置。


背景技术：

2.晶圆切面抛光机主要是用于对晶圆切割后的切面进行抛光的设备，通过将切割完成的晶圆的切面与高速转动抛光辊表面相贴合，从而使高速转动的抛光辊能够将晶圆的切面抛光至光滑。
3.一般的，抛光机在使用时，只能对晶圆的一面进行抛光，再对晶圆的另一面进行抛光，效率低下，因此本实用新型提出了一种晶圆加工用多工位切面抛光装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于：为了解决传统的抛光机效率低的问题，提供一种晶圆加工用多工位切面抛光装置。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆加工用多工位切面抛光装置，包括主体，所述主体的顶端设置有主电机，所述主体的内侧设置有上抛光轮与下抛光轮，所述上抛光轮位于下抛光轮的上方，所述主体的内壁设置有升降机构，所述下抛光轮的外壁设置有夹持机构，所述升降机构包括有丝杆、拉杆与活动齿轮，所述拉杆位于主体的顶端内壁过程至主体的外部，所述拉杆的一端连接有活动齿轮，所述活动齿轮的内壁设置有丝杆，所述夹持机构包括有定位环、限位杆与限位槽，所述定位环位于下抛光轮的外壁，所述限位槽位于定位环的内壁，所述限位杆位于限位槽的内侧。
6.作为本实用新型再进一步的方案：所述升降机构还包括有位于主电机一端连接的套筒，所述套筒的内壁设置有升降杆，所述升降杆的外壁设置有连杆，所述套筒的一端外壁设置有履带，所述履带的一端内侧套接有驱动齿轮。
7.作为本实用新型再进一步的方案：所述夹持机构还包括有转动环与驱动电机，所述转动环位于定位环的内壁，所述转动环的内侧连接有贯穿至定位环外部的抵块，所述驱动电机位于下抛光轮的顶端与其转动连接。
8.作为本实用新型再进一步的方案：所述定位环的内壁设置有与转动环转动轨迹相匹配的凹槽，所述抵块的外壁呈斜面状态。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述抵块的一端与转动环的内侧转动连接，所述限位槽的内壁设置有与限位杆外壁相匹配的卡槽，所述卡槽的数量设置有多个，多个卡槽均匀分布在限位槽的内侧。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述升降杆的外壁设置有限位杆，所述套筒的内壁设置有与升降杆外壁移动轨迹相匹配的滑槽。
11.作为本实用新型再进一步的方案：所述连杆的内壁设置有与丝杆外壁相匹配的螺纹，所述活动齿轮的外壁与驱动齿轮的外壁相啮合，所述活动齿轮的内壁设置有与丝杆外壁相匹配的滑槽。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、通过设置升降机构，通过转动拉杆，使拉杆一侧外壁的限位杆与主体的顶端内壁对接，再给予拉杆向下的压力，使与其一端连接的活动齿轮与驱动齿轮的外壁啮合，此时启动主电机，主电机工作带动套筒、升降杆与上抛光轮转动，同时使位于套筒外壁的履带传动，履带传动带动驱动齿轮转动，驱动齿轮转动带动活动齿轮转动，活动齿轮转动带动丝杆转动，丝杆转动带动连杆沿着丝杆的外壁螺纹移动，连杆移动带动升降杆与上抛光轮移动，直到移动至指定位置，再给予拉杆向上的拉力，使活动齿轮移动，不再与驱动齿轮啮合，上抛光轮不再移动，此时上抛光轮与下抛光轮将对物料进行打磨抛光，达到了对物料两边同时进行抛光处理的目的；
14.2、通过设置夹持机构，通过给予限位杆向上的推力，限位杆将移出限位槽的内壁卡槽，此时给予限位杆向左或右的推力，限位杆移动将带动转动环移动，转动环移动将带动位于其内侧的抵块移动，使抵块的一端转动，抵块的另一端外壁沿着定位环的内壁凹槽移动，使抵块的一端与物料的外壁相接触，此时给予限位杆向下的压力，使其进入限位槽的内壁卡槽，使转动环与抵块不易移动，达到了对不同大小的物料进行夹持的目的。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图；
16.图2为本实用新型的升降机构的结构示意图；
17.图3为本实用新型的夹持机构的结构示意图；
18.图4为本实用新型的抵块结构的平面示意图。
19.图中：1、主体；2、主电机；3、上抛光轮；4、下抛光轮；5、升降机构；501、套筒；502、升降杆；503、连杆；504、丝杆；505、活动齿轮；506、拉杆；507、驱动齿轮；508、履带；6、夹持机构；601、定位环；602、驱动电机；603、转动环；604、抵块；605、限位杆；606、限位槽。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。
22.请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种晶圆加工用多工位切面抛光装置，包括主体1，主体1的顶端设置有主电机2，主体1的内侧设置有上抛光轮3与下抛光轮4，上抛光轮3位于下抛光轮4的上方，主体1的内壁设置有升降机构5，下抛光轮4的外壁设置有夹持机构6，升降机构5包括有丝杆504、拉杆506与活动齿轮505，拉杆506位于主体1的顶端内壁过程至主体1的外部，拉杆506的一端连接有活动齿轮505，活动齿轮505的内壁设置有丝杆504，夹持机构6包括有定位环601、限位杆605与限位槽606，定位环601位于下抛光轮4的外壁，限位槽606位于定位环601的内壁，限位杆605位于限位槽606的内侧。
23.请着重参阅图1
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2，升降机构5还包括有位于主电机2一端连接的套筒501，套筒501的内壁设置有升降杆502，升降杆502的外壁设置有连杆503，套筒501的一端外壁设置有履带508，履带508的一端内侧套接有驱动齿轮507，通过此结构可使上抛光轮3可在升降杆502的作用下移动。
24.请着重参阅图3
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4，夹持机构6还包括有转动环603与驱动电机602，转动环603位于定位环601的内壁，转动环603的内侧连接有贯穿至定位环601外部的抵块604，驱动电机602位于下抛光轮4的顶端与其转动连接，通过此结构可对物料在抵块604的作用下进行夹持。
25.请着重参阅图3，定位环601的内壁设置有与转动环603转动轨迹相匹配的凹槽，抵块604的外壁呈斜面状态，通过此结构可使抵块604可在转动环603的转动下，沿着定位环601的内壁凹槽移动。
26.请着重参阅图3，抵块604的一端与转动环603的内侧转动连接，限位槽606的内壁设置有与限位杆605外壁相匹配的卡槽，卡槽的数量设置有多个，多个卡槽均匀分布在限位槽606的内侧，通过此结构给予限位杆605向上的推力，限位杆605将移出限位槽606的内壁卡槽，此时给予限位杆605向左或右的推力，限位杆605移动将带动转动环603移动，转动环603移动将带动位于其内侧的抵块604移动，使抵块604的一端转动，抵块604的另一端外壁沿着定位环601的内壁凹槽移动，使抵块604的一端与物料的外壁相接触，此时给予限位杆605向下的压力，使其进入限位槽606的内壁卡槽，使转动环603与抵块604不易移动。
27.请着重参阅图2，升降杆502的外壁设置有限位杆，套筒501的内壁设置有与升降杆502外壁移动轨迹相匹配的滑槽，通过此结构可使升降杆502可沿着套筒501的内壁移动。
28.请着重参阅图2，连杆503的内壁设置有与丝杆504外壁相匹配的螺纹，活动齿轮505的外壁与驱动齿轮507的外壁相啮合，活动齿轮505的内壁设置有与丝杆504外壁相匹配的滑槽，通过此结构可转动拉杆506，使拉杆506一侧外壁的限位杆与主体1的顶端内壁对接，再给予拉杆506向下的压力，使与其一端连接的活动齿轮505与驱动齿轮507的外壁啮合，此时启动主电机2，主电机2工作带动套筒501、升降杆502与上抛光轮3转动，同时使位于套筒501外壁的履带508传动，履带508传动带动驱动齿轮507转动，驱动齿轮507转动带动活动齿轮505转动，活动齿轮505转动带动丝杆504转动，丝杆504转动带动连杆503沿着丝杆504的外壁螺纹移动，连杆503移动带动升降杆502与上抛光轮3移动，直到移动至指定位置，再给予拉杆506向上的拉力，使活动齿轮505移动，不再与驱动齿轮507啮合，上抛光轮3不再移动，达到了对上抛光轮3进行移动的目的。
29.本实用新型的工作原理是：使用此装置时，通过转动拉杆506，使拉杆506一侧外壁的限位杆与主体1的顶端内壁对接，再给予拉杆506向下的压力，使与其一端连接的活动齿轮505与驱动齿轮507的外壁啮合，此时启动主电机2，主电机2工作带动套筒501、升降杆502
与上抛光轮3转动，同时使位于套筒501外壁的履带508传动，履带508传动带动驱动齿轮507转动，驱动齿轮507转动带动活动齿轮505转动，活动齿轮505转动带动丝杆504转动，丝杆504转动带动连杆503沿着丝杆504的外壁螺纹移动，连杆503移动带动升降杆502与上抛光轮3移动，直到移动至指定位置，再给予拉杆506向上的拉力，使活动齿轮505移动，不再与驱动齿轮507啮合，上抛光轮3不再移动，达到了对上抛光轮3进行移动的目的，通过给予限位杆605向上的推力，限位杆605将移出限位槽606的内壁卡槽，此时给予限位杆605向左或右的推力，限位杆605移动将带动转动环603移动，转动环603移动将带动位于其内侧的抵块604移动，使抵块604的一端转动，抵块604的另一端外壁沿着定位环601的内壁凹槽移动，使抵块604的一端与物料的外壁相接触，此时给予限位杆605向下的压力，使其进入限位槽606的内壁卡槽，使转动环603与抵块604不易移动。
30.以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。