技术特征：
1.一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：包括由上至下相互连通的生长腔室(1)和连通腔室(2)、设于生长腔室(1)内的水冷基台(3)，设于水冷基台(3)上用于放置金刚石晶体(4)的螺纹钼台(5)，以及设于连通腔室(2)内并与水冷基台(3)相连用于微波传递的波导管(6)；生长腔室(1)外设有水冷腔壁(7)，生长腔室(1)底部设有炉门(8)，生长腔室(1)与炉门(8)连接处设有双槽密封结构，炉门(8)上开设有用于抽真空的排气口(9)，双槽密封结构和排气口(9)连接有真空泵(10)。2.根据权利要求1所述的一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：双槽密封结构包括由内至外依次套装于炉门(8)内壁并与水冷腔壁(7)密封贴合的内密封圈(11)和外密封圈(12)。3.根据权利要求2所述的一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：炉门(8)上分别开设有用于内密封圈(11)嵌装的第一槽体(13)，以及用于外密封圈(12)嵌装的第二槽体(14)，第一槽体(13)和第二槽体(14)之间设有与外界相连通的低压缝隙区(15)。4.根据权利要求3所述的一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：低压缝隙区(15)通过第一管道(16)与真空泵(10)相连。5.根据权利要求1所述的一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：排气口(9)通过第二管道(17)与真空泵(10)相连，第二管道(17)上设有主抽气阀(18)。6.根据权利要求5所述的一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：从排气口(9)接出设有接入第二管道(17)的第三管道(19)，第三管道(19)上设有调压阀(20)。7.根据权利要求1所述的一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：炉门(8)内侧面设有与水冷基台(3)相连的石英环(21)。8.根据权利要求1所述的一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：水冷腔壁(7)上开设有若干个观察口(22)。9.根据权利要求8所述的一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：观察口(22)采用耐热玻璃制成。10.根据权利要求1所述的一种微波等离子腔体双密封炉门结构，其特征在于：螺纹钼台(5)顶部设有等离子体(23)。
技术总结
本实用新型公开了一种微波等离子腔体双密封炉门结构，解决现有多模非圆柱谐振腔(碟形腔)MPCVD装置密封尺寸过大、密封性能欠佳的技术问题。本实用新型包括由上至下相互连通的生长腔室和连通腔室、设于生长腔室内的水冷基台，设于水冷基台上用于放置金刚石晶体的螺纹钼台，以及设于连通腔室内并与水冷基台相连用于微波传递的波导管；生长腔室外设有水冷腔壁，生长腔室底部设有炉门，生长腔室与炉门连接处设有双槽密封结构，炉门上开设有用于抽真空的排气口，双槽密封结构和排气口连接有真空泵。本实用新型结构简单、设计科学合理，使用方便，通过双槽密封结构，增强了腔体的密封性能，减少了金刚石的污染。减少了金刚石的污染。减少了金刚石的污染。
技术研发人员：袁稳 郑怡 李兵
受保护的技术使用者：成都稳正科技有限公司
技术研发日：2021.09.17
技术公布日：2022/4/1