专利名称：双重加热多功能离子轰击炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及离子轰击炉，尤其是涉及双重加热多功能离子轰击炉。
国内离子氮化炉六十年代研究，七十年代实用推广。当时的离子氮化炉均采用水冷夹层钟罩。主要缺点是工作处理温度570℃左右，与水夹层钟罩之间温差较大，工件辐射热被冷却水带走。当工件大小不一时，同炉处理的工件温度有明显差异。炉体经改进后，包括钟罩和钟罩底座组成的真空腔真空腔内壁面依次设有保温层(硅酸铝纤维)，辅助电加热器，阳极，在真空腔中间设有阴极(在阴极工作台上放工件)，阳极和阴极间接有可调直流电源，辅助加热器接有可调交流电流。该炉子电阻丝极容易烧断，操作不便。
本实用新型的目的是提供一种控制容易，操作方便的双重加热多功能离子轰击炉。
以下结合附图
加以说明。
附图是双重加热多功能离子轰击炉示意图。
双重加热多功能离子轰击炉包括钟罩和钟罩底座1，组成的真空腔，真空腔内壁依次设有保温层4，辅助电加热器3，阳极6，在真空腔中间设有阴极及阴极工作台5，阴极与阳极间接有可调直流电源9，辅助加热器接有可调交流电源8。可调交流电源的控制电压为35～60V，电流为200～500A，阴极外套有氧化铝瓷管，其间隙内填充有氧化铝颗粒。钟罩由钟罩盖1和钟罩体2两部份组成。
工作时，工件置于真空腔内的阴极工作台上，在接通辅助加热器电源的同时，启动真空泵，工件受热后沾在工件表面上的挥发性物质发生挥发并由真空泵抽出，减少起辉打弧时间，这是预热脱气。待真空度达到要求后，启动直流电源起辉，并通入氢气，被电离的氢形成氢离子，受到直流电场的加速轰击工件表面，夺取工件表面氧化膜中的氧，从而获得净洁的活性表面，称为表面净化。真空炉内处于高温低气压。在高压直流电场作用下，使N2、H2、C3H6分别发生电离和反应，主要形成氮离子，碳离子，氮氢分子离子，碳氢分子离子…，这些离子轰击净洁的活性表面，离子在阴极上获得电子变成活性原子或者分解出活性原子渗入工件，这就是渗入反应。处理结束后，可以随炉自然冷却，可以充液氮快冷，也可以充氮开盖直接油降或水降，趁热装入下一炉工件。
本实用新型的优点是不仅温度均匀，工作接受热辐射及离子轰击，所以温度高达1000℃，可以进行离子渗碳(930℃)，离子碳氮共渗(850℃)等多种功能。把钟罩分成钟罩盖和钟罩体两部分，便于渗碳后充氮气开钟罩盖取出工件直接淬火，避免渗碳后冷却，再加热淬火情况，从而节约能源。所用阴极既能防止无孔不入的微碳粉入侵，又能承受热膨胀，使用寿命长。
权利要求1.一种双重加热多功能离子轰击炉，它包括钟罩和钟罩底座[7]组成的真空腔，真空腔体内壁面依次设有保温层[4]，辅助电加热器[3]，阳极[6]，在真空腔中间设有阳极及阴极工作台[5]，阳极与阴极接有可调直流电源[9]，辅助加热器接有可调交流电源[8]，其特征在所说的可调交流电源控制电压为35～60V，电流为200～500A，阴极外套有氧化铝瓷管，其间填充有氧化铝颗粒，钟罩由钟罩盖[1]和钟罩体[2]两部分组成。
专利摘要本实用新型公开了一种双重加热多功能离子轰击炉，它包括钟罩、盖、钟罩体和钟罩底座组成的真空腔，真空腔体内壁面依次设有保温层，辅助电加热器，阳极，在真空腔中间设有阳极及阴极工作台，阳极与阴之间接有可调直流电源，辅助加热器接有可调交流电源，可调交流电源的控制电压为35～60V，电流为200～500A。本实用新型的优点是不仅温度均匀，工件接受热辐射及离子轰击，所以温度可高达1000℃，可以进行离子渗碳，离子碳氮共渗等多种功能。
文档编号C23C8/20GK2163815SQ93219478
公开日1994年5月4日 申请日期1993年7月22日 优先权日1993年7月22日
发明者高文龙 申请人:浙江大学