。外壳250环绕高温盖体模块220，但外壳250可具有任何所需的形状。本文所示和描述的外壳形状仅为示范性的，且其它形状可在本发明的范围内。
[0034]高温盖体模块220可为单个整体部件，或可由一些部件组成。例如，图2所示的高温盖体模块包括喷头230及气源231。喷头可包括多个孔，以允许气体从喷头230流动至晶片160上的处理区域117 (如图4所示)。本领域技术人员将了解高温盖体模块220中可包括其它部件。为方便描述，附图(除图2)中，将高温盖体模块220作为单个部件显示。
[0035]高温盖体模块220的形状及设计可根据所涉及的特定部件而具有任何适当的形状。附图所示的形状仅是一个可能形状的表示，而不应将附图所示的形状作为对本发明范围的限制。高温盖体模块220具有底表面221，所述底表面221可被设置为，例如，邻近处理腔室100的处理配件(例如处理衬里133)。高温盖体模块220还包括顶表面222，如下文所述，顶表面222可与外壳250相互作用。
[0036]外壳250位于高温盖体模块220的周围。也就是说，外壳250环绕高温盖体模块220的外边缘，以最小化处理期间高温盖体模块220曝露于大气的区域。外壳250包括中空筒状壁251，中空筒状壁251具有下端252及上端253，下端252被设置成邻近处理腔室主体 112。
[0037]弹性密封O形环225设置在中空筒状壁251的上端253与高温盖体模块220的顶表面222之间。图2所示的O形环225与中空筒状壁251的内表面254接触。O形环225在外壳250的大气侧与内部区域216之间形成密封，所述内部区域216在外壳250与高温盖体模块220之间。
[0038]外壳250为柔性的，以允许高温盖体模块220在外壳250内移动。例如，当高温盖体模块220下方的压力低于大气压力时，模块将向下移动。外壳250允许一定程度的移动，同时保持外壳250的初始形状，以便在压力平衡时，高温盖体模块220返回至原始位置。高温盖体模块220的移动量可以不同。在一些实施方式中，高温盖体模块220从模块220的原始位置移动的距离可长达约I英寸。在一个或更多个实施方式中，高温盖体模块220可在以下范围内移动:约0.1英寸至约I英寸的范围内，或约0.15英寸至约0.5英寸的范围内，或约0.2英寸至约0.4英寸的范围内。
[0039]高温盖体模块220除相对于外壳250垂直移动外，高温盖体模块220也可由于加热而膨胀。如果高温盖体模块220处于高温下，并且外壳相对较冷，温差将导致高温盖体模块220相对于外壳250膨胀。在一些实施方式中，高温盖体模块220的膨胀引起高温盖体模块220的外边缘触碰或接触外壳250的内表面254。在一些实施方式中，加热后高温盖体模块220的膨胀并不在高温盖体模块220与外壳250之间形成额外的接触点。
[0040]图3表不外壳250的另一实施方式，在所述实施方式中，中空筒状壁251由若干部分组成。此处，中空筒状壁包括外中空筒状壁261及内中空筒状壁263。下环状部262与外中空筒状壁261及内中空筒状壁263接触。上环状部264连接至内中空筒状壁263。在一些实施方式中，弹性密封O形环225设置在上环状部264的下壁265与高温盖体模块220的顶表面222之间。
[0041]在图3所示的实施方式中，外中空筒状壁261、下环状部262、内中空筒状壁263及上环状部264是整体形成的。意思是，这些个部件是作为单件结构形成的。
[0042]图4表示处理腔室100的实施方式，处理腔室100包括腔室主体及腔室盖体200。腔室主体包括筒状腔室壁112，筒状腔室壁112具有顶表面114，顶表面114封闭处理区域117。处理区域117包括晶片支撑件145 (如图所示的晶片支撑件145支撑晶片160)，和环绕晶圆支撑件145的处理衬里133。腔室盖体200包括高温盖体模块220，高温盖体模块220具有底表面221，所述底表面221设置为邻近处理衬里133的顶表面115。在位于处理衬里133的顶表面115与高温盖体模块220的底表面221之间有缝隙290。
[0043]图4的实施方式具有外壳250，其中下环状部262、内中空筒状壁263及上环状部264是整体形成的，而外中空筒状壁261为独立部件。本领域技术人员将理解，根据组成外壳250部分的数量或顺序，整体形成及独立部分有其它配置。例如，外筒状壁261、下环状部262及内筒状壁263可为整体形成，而上环状部264为独立的。在一些实施方式中，外壳250由一个不同的部件(例如，图2的圆顶形状)，或两个、三个、四个(例如图4)、五个、六个、七个、八个、九个或更多个不同的部分组成，任何数量的这些不同部分可整体形成。
[0044]如图4所示，在外中空筒状壁261为独立部件的情况下，O形环270设置在外中空筒状壁261的顶端271与下环状部262的下表面272之间。这个O形环270可使得外壳250的各部分能够分别弯曲，而不会破坏处理区域与大气之间的密封。
[0045]外壳250的厚度或外壳的各部分的厚度可以不同，以使弯曲更容易或更难。在一些实施方式中，如图4所示，外壳250的下环状部262比上环状部264更薄。因此，当高温盖体模块220向下移动时，外壳250围绕下环状部262弯曲。这表示下环状部262部分可弯曲，或通过O形环270到外筒状壁261的连接可移动或弯曲，或到内筒状壁的连接可移动或弯曲。
[0046]当处理区域117未处于减少的压力(decreased pressure)下时，在高温盖体模块220与处理衬里133之间有缝隙290。这允许将盖体置放于腔室之上，而没有在处理衬里133或高温盖体模块220底表面221产生刮擦或凹痕的风险。也就是说，当处理区域117处于大气压力下时，高温盖体模块220的底表面221不触碰处理衬里133的顶表面115。如图5所示，当处理区域117处于减小的压力下时，外壳250弯曲以允许高温盖体模块220在外壳250内移动，以接触处理衬里133的顶表面115。这时，缝隙290变得很小至不存在，以便高温盖体220与处理衬里133之间有直接接触，以增强处理腔室内的加热均匀性。
[0047]图6表示根据本发明的一个或更多个实施方式的部分外壳250的横截面透视图。在这里，外壳250为包括下环状部262、内中空筒状壁柱263及上环状部264的整体部件。图示的外连接区域273在下环状部262的外边缘周围。图示的外连接区域273具有多个孔295，通过所述孔295，外壳250可连接到腔室的顶部或连接到外筒状壁261的顶部。所述上环状部中也有多个孔296，所述孔296可用于将外壳连接到高温盖体模块220的顶表面。
[0048]虽然上述内容是针对本发明的实施方式，但是在不背离本发明的基本范围的情况下，可设计本发明的其它与进一步的实施方式，且本发明的范围由以下专利申请范围所界定。
【主权项】
1.一种盖体组件，所述盖体组件包括: 高温盖体模块，所述高温盖体模块具有底表面及顶表面，所述底表面设置成邻近处理腔室的处理配件； 外壳，所述外壳在所述高温盖体模块周围，所述外壳包括中空筒状壁，所述中空筒状壁具有下端及上端，所述下端将设置成邻近处理腔室主体；以及 弹性密封O形环，所述弹性密封O形环设置在所述外壳的所述中空筒状壁的所述上端与所述高温盖体模块的所述顶表面之间， 其中，所述外壳为柔性的，以允许所述高温盖体模块在所述外壳内移动。2.一种处理腔室，所述处理腔室包括: 腔室主体，所述腔室主体包括具有顶表面的筒状腔室壁，所述筒状腔室壁封闭处理区域，所述处理区域包括晶片支撑件及围绕所述晶片支撑件的处理衬里； 腔室盖体，所述腔室盖体包括: 高温盖体模块，所述高温盖体模块具有底表面及顶表面，所述底表面设置成邻近所述处理衬里的顶表面， 外壳，所述外壳在所述高温盖体模块的周围，所述外壳包括中空筒状壁，所述中空筒状壁具有下端及上端，所述下端邻近所述筒状腔室壁的所述顶表面；及 弹性密封O形环，所述弹性密封O形环设置在所述外壳的所述中空筒状壁的所述上端与所述高温盖体模块的所述顶表面之间；以及 O形环，所述O形环设置在所述筒状腔室壁的所述顶表面与所述外壳的所述中空筒状壁的所述下端之间， 其中，当所述处理区域处于大气压力下时，所述高温盖体模块的所述底表面并不触碰所述处理衬里的所述顶表面，而当所述处理区域处于减小的压力下时，所述外壳弯曲以允许所述高温盖体模块在所述外壳内移动，以接触所述处理衬里的所述顶表面。3.如权利要求1或2所述装置，其中所述外壳的所述中空筒状壁包括外中空筒状壁、内中空筒状壁、与所述外中空筒状壁及所述内中空筒状壁接触的下环状部，及连接至所述内中空筒状壁的上环状部。4.如权利要求3所述的装置，其中所述弹性密封O形环设置在所述上环状部的下壁与所述高温盖体的所述顶表面之间。5.如权利要求3所述的装置，其中所述外中空筒状壁、所述下环状部、所述内中空筒状壁及所述上环状部是整体形成的。6.如权利要求5所述的装置，其中所述下环状部比所述外中空筒状壁、所述内中空筒状壁及所述上环状部更薄。7.如权利要求3所述的装置，其中所述下环状部、所述内中空筒状壁及所述上环状部是整体形成的，而所述外中空筒状壁是独立的。8.如权利要求7所述的装置，进一步包括O形环，所述O形环设置在所述外中空筒状壁的顶端与所述下环状部的下表面之间。9.如权利要求1或2所述的装置，其中所述外壳具有足够的柔性，以允许所述高温盖体模块在所述外壳内的移动长达约I英寸。10.如权利要求1或2所述的装置，其中所述高温盖体模块包括喷头组件，所述喷头组件包括位于底表面上的多个孔。11.如权利要求1或2所述的装置，其中，当加热时，所述高温盖体模块的膨胀并不在所述高温盖体模块与所述外壳之间形成额外的接触点。
【专利摘要】本文公开了用于处理腔室的盖体组件及包括盖体组件的处理腔室。盖体组件包括高温盖体模块及外壳。高温盖体模块设置成邻近处理腔室的处理衬里。柔性外壳设置在高温盖体模块的周围，且使用弹性环连接到所述高温盖体模块。
【IPC分类】C23C16/44, H01L21/205, C23C16/00
【公开号】CN105143502
【申请号】CN201480013391
【发明人】利克尔·杜鲁坎, 乔尔·M·休斯顿, 吴典晔, 高建德, 张镁
【申请人】应用材料公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2014年3月11日
【公告号】US20140252015, WO2014164743A1