研磨装置、研磨构件的加工方法、研磨构件的修正方法、形状加工用切削工具以及表面修 ...的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及研磨装置、研磨构件的加工方法、研磨构件的修正方法、形状加工用切削工具以及表面修正用工具。
【背景技术】
[0002]如专利文献I所记载那样，当利用研磨构件对被研磨加工物(被研磨加工的对象物)的被研磨部进行研磨时，研磨构件的研磨面的形状逐渐变化。因此，通常，进行修正研磨面而使研磨面恢复到原来的形状的、所谓的修整(dressing)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开平11 一 188590号公报
【发明内容】
[0006]发明要解决的问题
[0007]另外，以往进行的修整大多以修正平面状的研磨面为目的，基本上未考虑到对与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的各种形状的研磨面进行修整。
[0008]本发明是鉴于这样的实际情况而做出的，其目的在于，提供能够容易对具有与平面状不同的形状的研磨面进行形状加工、形状修正的研磨装置、研磨构件的加工方法、研磨构件的修正方法。本发明的目的还在于提供在上述研磨装置和加工方法中使用的、用于对研磨面的形状进行加工的形状加工用切削工具，或者在上述研磨装置和修正方法中使用的、用于将研磨面修正为与被研磨部的形状相匹配的形状的表面修正用工具。
[0009]用于解决问题的方案
[0010]用于解决上述问题的研磨装置包括:研磨构件，其具有呈与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状的研磨面;形状加工用切削工具或表面修正用工具，该形状加工用切削工具或表面修正用工具具有与所述被研磨部的形状相同的形状，该形状加工用切削工具用于将所述研磨面加工成与所述被研磨部的形状相匹配的形状，该表面修正用工具用于将所述研磨面修正为与所述被研磨部的形状相匹配的形状；以及接触机构，其用于使所述形状加工用切削工具或表面修正用工具接触于所述研磨面。
[0011]在该结构中，研磨构件具有呈与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状的研磨面。因而，即使被研磨加工物的被研磨部为例如曲面、三角形等那样的与平面状不同的形状，也能够对该被研磨部进行研磨。
[0012]在此，在该结构中，利用接触机构使形状加工用切削工具或表面修正用工具接触于研磨面，其中，形状加工用切削工具或表面修正用工具具有与被研磨部的形状相同的形状，形状加工用切削工具用于将研磨面加工成与所述被研磨部的形状相匹配的形状，表面修正用工具用于将所述研磨面修正为与所述被研磨部的形状相匹配的形状。因而，通过将具有与被研磨加工物的被研磨部的形状相同的形状的形状加工用切削工具或表面修正用工具的形状复制到形状加工用切削工具或表面修正用工具所接触的研磨面上，从而能够将研磨面修正或加工成与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状。如上所述，研磨构件的研磨面成为与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状，但该研磨面的形状和形状加工用切削工具或表面修正用工具的形状成为一个为凹、另一个为凸的关系，因此，能够容易对具有与平面状不同的形状的研磨面进行形状加工或形状修正。
[0013]此外，被研磨加工物的被研磨部的形状和形状加工用切削工具或表面修正用工具的形状不必完全相同，在实用上不产生问题的前提下，彼此的形状也可以稍微不同。
[0014]另外，形状加工用切削工具指的是能够对研磨构件的研磨面适当地进行加工的工具，只要其具有硬度比所述研磨构件的研磨面的硬度高的加工部即可，并不受特别限制，作为具体例，能够使用研磨球(pel let)、电镀砂轮等带固定磨粒的加工工具、以及端铣刀、车刀等切削加工用工具。
[0015]另外，表面修正用工具指的是能够调整研磨构件的表面或将附着于研磨构件的表面的污垢、附着物等去除的工具，作为具体例，能够使用所述带固定磨粒的加工工具、硬质的刷子等。
[0016]另外，在上述研磨装置中，优选的是，每经过规定周期，利用所述接触机构使形状加工用切削工具或表面修正用工具接触于研磨面。根据该结构，由于每经过规定周期对研磨面进行加工或修正，因此能够适当地维持对被研磨加工物进行研磨时的研磨精度。
[0017]另外，在上述研磨装置中，优选的是，通过使具有与所述被研磨部的形状不同的形状的研磨构件表面接触于所述形状加工用切削工具或表面修正用工具，从而形成所述研磨构件的呈与所述被研磨部的形状相匹配的形状的研磨面。
[0018]根据该结构，能够在该研磨装置上形成与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状的研磨面。因此，与将预先形成有呈同被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状的研磨面的研磨构件安装于研磨装置的情况相比，能够高精度地形成这样的研磨面的形状。
[0019]另外，优选的是，所述研磨装置包括用于自下方使所述研磨构件旋转的马达，优选的是，所述研磨装置包括平台，该平台能在其上表面载置有研磨构件的状态下与所述研磨构件一体地旋转。根据这些结构，能够获得轴振动等较少的稳定的研磨构件的旋转，因此能够进行更高精度的加工。
[0020]另外，通过在所述研磨装置中使用具有与被研磨部的形状相同的形状的、用于将研磨面加工成与被研磨部的形状相匹配的形状的形状加工用切削工具或用于将所述研磨面修正为与所述被研磨部的形状相匹配的形状的表面修正用工具，从而能够容易对具有与平面状不同的形状的研磨面进行形状加工或修正。
[0021]另外，在用于解决上述问题的研磨构件的加工或修正方法中，使具有与被研磨部的形状相同的形状的形状加工用切削工具或表面修正用工具接触于具有研磨面的研磨构件的所述研磨面，所述研磨面呈与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状，所述加工用切削工具用于将所述研磨面加工成与被研磨部的形状相匹配的形状，所述表面修正用工具用于将所述研磨面修正为与所述被研磨部的形状相匹配的形状。
[0022]在该方法中，准备了具有呈与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状的研磨面的研磨构件。因而，即使被研磨加工物的被研磨部为例如曲面、三角形等那样的与平面状不同的形状，也能够对该被研磨部进行研磨。
[0023]在此，在该方法中，使具有与被研磨部的形状相同的形状的、用于将研磨面加工成与所述被研磨部的形状相匹配的形状的形状加工用切削工具或用于将所述研磨面修正为与所述被研磨部的形状相匹配的形状的表面修正用工具接触于研磨面。因而，通过将具有与被研磨加工物的被研磨部的形状相同的形状的形状加工用切削工具或表面修正用工具的形状复制到形状加工用切削工具或表面修正用工具所接触的研磨面上，从而能够将研磨面修正或加工成与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状。如上所述，研磨构件的研磨面成为与被研磨加工物的被研磨部的形状相匹配的形状，但该研磨面的形状和形状加工用切削工具或表面修正用工具的形状成为一个为凹、另一个为凸的关系。因此，能够容易对具有与平面状不同的形状的研磨面进行形状修正。
[0024]发明的效果
[0025]根据本发明，能够容易对具有与平面状不同的形状的研磨面进行形状加工或形状修正。
【附图说明】
[0026]图1是表示一实施方式的研磨装置的概略结构的俯视图。
[0027]图2是表示该实施方式的研磨装置的概略结构的侧视图。
[0028]图3是表示在该实施方式中使形状加工用切削工具或表面修正用工具接触于研磨构件时的状态的研磨装置的局部侧视图。
[0029]图4是表示在该实施方式中使形状加工用切削工具或表面修正用工具离开研磨构件时的状态的研磨装置的局部侧视图。
[0030]图5是表示该实施方式的变形例中的研磨装置的概略结构的俯视图。
[0031]图6是表示该实施方式的其他变形例中的形状加工用切削工具的构造的侧视图。
[0032]图7的(A)是表示该实施方式的其他变形例中的形状加工用切削工具的构造的侧视图。图7的(B)是C—C剖面图。
[0033]图8是表示该实施方式的其他变形例中的表面修正用工具的构造的侧视图。
[0034]图9是表示该实施方式的其他变形例中