一种新型真空设备观察窗挡板机构的制作方法

文档序号:9179935阅读:427来源:国知局
一种新型真空设备观察窗挡板机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜设备领域,具体涉及到一种新型真空设备观察窗挡板机构。
【背景技术】
[0002]在真空镀膜行业中,需要对真空室内的工作情况进行观察,罐体同外部的连接有玻璃观察窗。在工作过程中,罐体内存在污染,会把玻璃观察窗镀上一层膜,影响玻璃的透明度,逐渐从外面无法看到里面的情况,因此需要经常处理玻璃观察窗,导致玻璃的表面受到损伤,时间久了需要更换,影响工作效率。因此需要一种挡板,可以在不需要观察真空室的时候把玻璃挡住,减少真空室的污染源对玻璃的污染,保持玻璃的清洁。

【发明内容】

[0003]本实用新型目的针对于镀膜室内的观察窗设计了一种新型真空设备观察窗挡板机构,解决上述问题的不足。
[0004]本实用新型是通过以下方式实现的一种新型真空设备观察窗挡板机构,圆形挡板固定在连接板的左端,且圆形挡板的直径至少10mm,圆形挡板的大小要大于观察窗的直径,连接板上设有轴套孔,连接板的右端固定着存放箱,存放箱的上端设有球冠,在存放箱内固定着磁铁I,螺栓通过轴套孔将连接板安装在真空室内的真空隔板上,在螺栓与轴承套孔之间设有轴承,所以连接板可以通过轴承进行旋转,则圆形挡板位于观察窗的下方,存放箱通过球冠与真空室壁接触,球冠的球面与真空室壁接触,这样以后通过减少接触面积达到减少摩擦阻力的效果,在真空室外的真空室壁上设有把手,且把手与存放箱相对应,所述的把手内部固定着磁铁II,通过把手内的磁铁II与存放箱中的磁铁I相互吸引,来控制连接板的旋转。
[0005]本实用新型的有益效果为适用于真空室门体是不锈钢的材料,减少真空室观察窗清理的频次,能够清晰的看到真空室的工作状况,随时了解真空室反应变化,提高工作效率。在降低了生产成本的同时也降低工人的劳动强度。而且结构简单,操作方便不需要再在真空的罐体打孔,因此减少了漏气的可能性。
【附图说明】
[0006]图1为整体示意图;
[0007]图2为挡板结构示意图;
[0008]图3为挡板侧视图;
[0009]如图1至图3所述,圆形挡板(I),连接板(2 ),轴承孔(3 ),存放箱(4 ),球冠(5 ),磁铁I (6),螺栓(7),真空室壁(8),观察窗(9),把手(10),磁铁(II)。
【具体实施方式】
[0010]—种新型真空设备观察窗挡板机构,圆形挡板(I)固定在连接板(2)的左端,且圆形挡板(I)的直径至少10mm,连接板(2)上设有轴套孔(3),连接板(2)的右端固定着存放箱(4 ),存放箱(4 )的上端设有球冠(5 ),在存放箱(4 )内固定着磁铁1(6),螺栓(7 )通过轴套孔(3)将连接板(2)安装在真空室内的真空室壁(8)上,在螺栓(7)与轴承套孔(3)之间设有轴承,所以连接板(2)可以通过轴承进行旋转,则圆形挡板(I)位于观察窗(9)的下方,存放箱(4 )通过球冠(5 )与真空室壁(8 )接触,球冠(5 )的球面与真空室壁(8 )接触,这样以后通过减少接触面积达到减少摩擦阻力的效果,在真空室外的真空室壁(8)上设有把手
(10),且把手(10)与存放箱(4)相对应,所述的把手(10)内部固定着磁铁II (11),通过把手
(10)内的磁铁II (11)与存放箱(4)中的磁铁I (6)相互吸引,来控制连接板(2)的旋转。
【主权项】
1.一种新型真空设备观察窗挡板机构,其特征在于,圆形挡板(I)固定在连接板(2)的左端,且圆形挡板(I)的直径要至少10mm,连接板(2)上设有轴套孔(3),连接板(2)的右端固定着存放箱(4 ),存放箱(4 )的上端设有球冠(5 ),在存放箱内(4 )固定着磁铁1(6),螺栓(7)通过轴套孔(3)将连接板(2)安装在真空室内的真空隔板(8)上,则圆形挡板(I)位于观察窗(9)的下方,存放箱(4)通过球冠(5)与真空室壁(8)接触,在真空室外的真空室壁(8 )上设有把手(10 ),且把手(10 )与存放箱(4 )相对应,所述的把手(10 )内部固定着磁铁II (11)。
【专利摘要】一种新型真空设备观察窗挡板机构,属于真空镀膜设备领域,主要由圆形挡板,连接板,存放箱以及把手组成,结构简单,造价低,给镀膜过程中的观察以及后期清理带来了很多便利,在降低了生产成本的同时也降低工人的劳动强度。
【IPC分类】C23C14/52
【公开号】CN204849017
【申请号】CN201520488614
【发明人】金云华, 李抚龙, 何奋, 刘敏
【申请人】爱蓝天高新技术材料(大连)有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月9日
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