专利名称：观察窗挡板装置及具有该观察窗挡板装置的腔体观察窗的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空腔机械领域，特别涉及一种观察窗挡板装置及具有该观察窗挡板 装置的腔体观察窗。
背景技术：
真空或高真空蒸镀过程中，需要对真空腔体内部蒸镀情况进行观察，腔体外连接 有观察窗，观察窗一般为一玻璃块。但由于腔体内存在污染源，该污染然扩散到玻璃块上会降低玻璃块的能见度，影 响观察效果。因此，急需一种观察窗挡板装置，使到当不需要观察时把玻璃块与腔体隔绝，从而 保持玻璃块观察时的清晰度。
发明内容
本发明的目的是提供一种观察窗挡板装置，包括挡板旋转机构以及挡板，所述挡 板旋转机构还包括法兰座、中心轴、内磁体固定环、外磁体固定环以及具有一腔体的隔套， 所述隔套固接于所述法兰座上，所述法兰座开设有贯通自身的第一通孔，所述中心轴插设 于所述第一通孔中并且所述中心轴两端伸出所述法兰座，所述中心轴的两端分别为磁体承 载端以及固接所述挡板的挡板承载端，所述磁体承载端容置于所述腔体内，所述内磁体固 定环固接于所述磁体承载端上，所述挡板固接于所述挡板承载端上，所述内磁体固定环上 至少固接有两个内磁体，所述外磁体固定环旋转的套设于所述隔套上，所述外磁体固定环 对应所述内磁体处固接若干个与所述内磁体极性相反的外磁体。所述法兰座包括法兰基座以及与所述法兰基座固接的凸筒，所述第一通孔贯穿所 述基座以及所述凸筒。所述隔套包括隔套基座以及与所述隔套基座固接的凸轴，所述腔体开设于所述隔
套基座内。所述隔套螺钉固接于所述法兰座上，所述法兰座与所述隔套之间设有密封圈。所述磁体承载端外侧开设有插槽，所述内磁体固定环固套于所述插槽上。所述凸轴上固套有轴承，所述外磁体固定环固套于所述轴承上从而使所述外磁体 固定旋转的套设于所述隔套上。本发明还提供一种腔体观察窗，包括具有通孔的法兰组合、玻璃体、连接管、以及观察窗挡板装置，所述玻璃体嵌设于所述法兰组合的外端，所述法兰组合的内端与所述连 接管的一端固接，所述连接管的另一端与腔体接通，所述观察窗挡板装置固设于所述法兰 组合上，所述观察窗挡板装置包括挡板旋转机构以及挡板，所述挡板旋转机构还包括法兰 座、中心轴、内磁体固定环、外磁体固定环以及具有一腔体的隔套，所述隔套固接于所述法 兰座上，所述法兰座开设有贯通自身的第一通孔，所述中心轴插设于所述通孔中并且所述 中心轴两端伸出所述法兰座，所述中心轴的两端分别为磁体承载端以及固接所述挡板的挡板承载端，所述磁体承载端容置于所述腔体内，所述内磁体固定环固接于所述磁体承载端 上，所述挡板固接于所述挡板承载端上，所述内磁体固定环上至少固接有两个内磁体，所述 外磁体固定环旋转的套设于所述隔套上，所述外磁体固定环对应所述内磁体处固接若干个 与所述内磁体极性相反的外磁体，所述通孔对应所述玻璃体的内侧具有与所述挡板形状大 小匹配的挡孔部分，所述挡板承载端伸进所述法兰组合对应所述挡孔部分与腔体之间的通 孔，所述挡板闭合时挡住所述挡孔部分。所述法兰组合包括第一法兰、第二法兰以及第三法兰，所述第二法兰一端固接所 述第一法兰，另一端与所述第三法兰的一端固接，所述挡孔部分设于所述第二法兰内，所述 观察窗挡板装置固设于所述第二法兰上，所述挡板承载端伸到所述第二法兰对应所述挡孔 部分与腔体之间的通孔。所述玻璃体嵌设于所述第一法兰内以挡住所述通孔，所述第一法兰、第二法兰对 应所述玻璃体的边缘的两侧分别延伸有第一凸缘、第二凸缘，所述第一凸缘与所述玻璃体 之间设有密封圈，所述第二凸缘与所述玻璃体之间设有密封圈以及中心环，所述密封圈设 于第一法兰的内壁以及所述中心环之间并抵顶所述第一法兰的内壁以及所述中心环。
所述第二凸缘之间形成所述挡孔部分，所述中心轴的挡板承载端伸进第二法兰对 应所述第二凸缘与腔体之间的通孔。与现有技术相比，本发明观察窗挡板装置的挡板设于观察窗玻璃体与腔体之间的 通孔处，不需要观察时，旋转挡板挡住通孔，防止玻璃体被腔体内的污染源污染而影响观察 效果。通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明 的实施例。
图1为本发明腔体观察窗与腔体连通的剖视示意图。图2为本发明腔体观察窗的剖视结构图。图3为图1中沿剖面线A-A的剖视图。图4为本发明观察窗挡板装置的剖视结构图。图5为本发明观察窗挡板装置的挡板旋转机构的剖视示意图。图6为图5所示挡板旋转机构的法兰基座的剖视示意图。图7为图5所示挡板旋转机构的隔套的剖视示意图。图8为图5所示挡板旋转机构的外磁体固定环的剖视示意图。图9为图5所示挡板旋转机构的内磁体固定环的剖视示意图。图10为图5所示挡板旋转机构的中心轴的结构示意图。
具体实施例方式如图1、图2所示，该腔体观察窗100通过连接管40与腔体50连接，该腔体观察窗 100包括具有通孔的法兰组合10、玻璃体20、以及观察窗挡板装置30，玻璃体20嵌设于法 兰组合10的外端，法兰组合10的内端与连接管40的一端固接，连接管40的另一端与腔体 50连通，观察窗挡板装置30固设于法兰组合10上。
参考图3至图5，观察窗挡板装置30包括挡板旋转机构31以及挡板32。挡板旋 转机构31包括法兰座311、中心轴312、内磁体固定环313、内磁体314、外磁体固定环315、 外磁体316以及隔套317。结合图6，法兰座311包括法兰基座311a以及与法兰基座一体成型的凸筒311b。 法兰座311设有贯穿法兰基座311a以及凸筒311b的第一通孔3111。法兰基座设有垫圈容 置槽3112。结合图7，隔套317包括隔套基座317a以及与隔套基座317a —体成型的凸轴 317b。隔套基座317a内开设有腔体3171。隔套基座317a以及法兰基座311a对应开有螺孔 33，螺钉34旋合于螺孔33内从而使隔套基座317a与法兰基座311a固接。法兰基座311a 与隔套基座317a之间设有密封圈318，密封圈318容置于垫圈容置槽3112中。结合图5、图7以及图8，轴承319固套于凸轴317b上，外磁体固定环315固套于 轴承319上从而使外磁体固定环315旋转的套设于隔套317上。具体地，外磁体固定环315 外端具有一卡孔3151，轴承319卡设于该卡孔3151内；凸轴317b对应轴承的外侧套设有 轴用挡圈35，卡孔3151对应轴承319的外侧套设有孔用挡圈36，从而把轴承319固设于卡 孔3151内。外磁体固定环315外侧开设有若干个第一容置槽3152，外磁体316固设于第一 容置槽3152内。结合图4、图9以及图10，中心轴312的两端分别为磁体承载端3121以及固接挡 板32的挡板承载端3122。中心轴312插设于法兰座311的第一通孔3111中。中心轴312 的磁体承载端3121伸出法兰基座311a并容置于腔体3171中；磁体承载端3121开设有插 槽3123，内磁体固定环313固套于插槽3123上，本实施例中，内磁体固定环313通过键联接 固套于插槽3123上。内磁体固定环313上对应外磁体316处设有若干个第二容置槽3131。 第二容置槽3131内固置有与外磁体316极性相反的内磁体314。中心轴312的挡板承载端 3122伸出凸筒31b并与挡板32螺钉固接。参考图2，法兰组合10包括第一法兰11、第二法兰12以及第三法兰13，第二法兰 12—端固接第一法兰11，另一端与第三法兰13的一端固接。本实施例中，第一法兰11、第 二法兰12以及第三法兰13通过螺钉14彼此固接。第二法兰12具有与挡板32形状大小 匹配的挡孔部分121，观察窗挡板装置30固设于第二法兰12上，挡板承载端3121伸到挡孔 部分121的内侧。当挡板42闭合时挡住挡孔部分121。第一法兰11、第二法兰12对应玻璃体20的边缘的两侧分别延伸有第一凸缘112、第二凸缘122，玻璃体20嵌设于第一凸缘112与第二凸缘122之间。第一凸缘112与玻璃 体20之间设有密封垫片15 ；第二凸缘122与玻璃体20之间设有密封圈16以及中心环17， 密封圈16设于第一法兰11的内壁以及中心环17之间并抵顶第一法兰11的内壁以及中心 环16。第二凸缘112之间空间形成挡孔部分121，中心轴32的挡板承载端伸进第二凸缘 112的内侧。挡板32的大小和形状与挡孔部分121相配合，当挡板32闭合时挡住挡孔部分 121。本实施例中，挡板32以及挡孔部分121均为类扇形。旋转外磁体固定环315，由于异性相吸引同性排斥，内磁体314跟着旋转，同时带 动中心轴312进而带动挡板32旋转，根据观察需要可实现挡板32的开启与关闭。不需观 察腔体50内部情况时，关闭挡板32，防止玻璃体20被腔体50内的污染源污染而影响观察 效果。
需要注意的是，若干个内磁体314极性可交错分布，如S-N-S-N等，也可全部均为S 或N ；若干个外磁体316也可交错分布，如N-S-N-S，也可全部为N或S，与对应的内磁体314 极性相反；挡板旋转机构31可为本实施例的采用磁环传动原理的挡板旋转机构，还可为其 它形式的挡板旋转机构，只要可使中心轴转动即可；内磁体固定环313可通过键联接固套 于插槽3123上，也可通过其它固定方式固套于插槽3123上。以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施 例，而应当涵盖各种根据本实施例的本质进行的修改、等效组合。
权利要求
一种观察窗挡板装置，其特征在于包括挡板旋转机构以及挡板，所述挡板旋转机构还包括法兰座、中心轴、内磁体固定环、外磁体固定环以及具有一腔体的隔套，所述隔套固接于所述法兰座上，所述法兰座开设有贯通自身的第一通孔，所述中心轴插设于所述第一通孔中并且所述中心轴两端伸出所述法兰座，所述中心轴的两端分别为磁体承载端以及固接所述挡板的挡板承载端，所述磁体承载端容置于所述腔体内，所述内磁体固定环固接于所述磁体承载端上，所述挡板固接于所述挡板承载端上，所述内磁体固定环上至少固接有两个内磁体，所述外磁体固定环旋转的套设于所述隔套上，所述外磁体固定环对应所述内磁体处固接若干个与所述内磁体极性相反的外磁体。
2.如权利要求1所述的观察窗挡板装置，其特征在于所述法兰座包括法兰基座以及 与所述法兰基座固接的凸筒，所述第一通孔贯穿所述基座以及所述凸筒。
3.如权利要求1所述的观察窗挡板装置，其特征在于所述隔套包括隔套基座以及与 所述隔套基座固接的凸轴，所述腔体开设于所述隔套基座内。
4.如权利要求1所述的观察窗挡板装置，其特征在于所述隔套螺钉固接于所述法兰 座上，所述法兰座与所述隔套之间设有密封圈。
5.如权利要求1所述的观察窗挡板装置，其特征在于所述磁体承载端外侧开设有插 槽，所述内磁体固定环固套于所述插槽上。
6.如权利要求3所述的观察窗挡板装置，其特征在于所述凸轴上固套有轴承，所述外 磁体固定环固套于所述轴承上从而使所述外磁体固定旋转的套设于所述隔套上。
7.一种腔体观察窗，包括具有通孔的法兰组合、玻璃体、连接管、以及观察窗挡板装置， 所述玻璃体嵌设于所述法兰组合的外端，所述法兰组合的内端与所述连接管的一端固接， 所述连接管的另一端与腔体接通，所述观察窗挡板装置固设于所述法兰组合上，其特征在 于所述观察窗挡板装置包括挡板旋转机构以及挡板，所述挡板旋转机构还包括法兰座、 中心轴、内磁体固定环、外磁体固定环以及具有一腔体的隔套，所述隔套固接于所述法兰座 上，所述法兰座开设有贯通自身的第一通孔，所述中心轴插设于所述通孔中并且所述中心 轴两端伸出所述法兰座，所述中心轴的两端分别为磁体承载端以及固接所述挡板的挡板承 载端，所述磁体承载端容置于所述腔体内，所述内磁体固定环固接于所述磁体承载端上，所 述挡板固接于所述挡板承载端上，所述内磁体固定环上至少固接有两个内磁体，所述外磁 体固定环旋转的套设于所述隔套上，所述外磁体固定环对应所述内磁体处固接若干个与所 述内磁体极性相反的外磁体，所述通孔对应所述玻璃体的内侧具有与所述挡板形状大小匹 配的挡孔部分，所述挡板承载端伸进所述法兰组合对应所述挡孔部分与腔体之间的通孔， 所述挡板闭合时挡住所述挡孔部分。
8.如权利要求7所述的腔体观察窗，其特征在于所述法兰座包括法兰基座以及与所 述法兰基座固接的凸筒，所述第一通孔贯穿所述基座以及所述凸筒。
9.如权利要求7所述的腔体观察窗，其特征在于所述隔套包括隔套基座以及与所述 隔套基座固接的凸轴，所述腔体开设于所述隔套基座内。
10.如权利要求7所述的腔体观察窗，其特征在于所述隔套螺钉固接于所述法兰座 上，所述法兰座与所述隔套之间设有密封圈。
11.如权利要求7所述的腔体观察窗，其特征在于所述磁体承载端外侧开设有插槽， 所述内磁体固定环固套于所述插槽上。
12.如权利要求9所述的腔体观察窗，其特征在于所述凸轴上固套有轴承，所述外磁 体固定环固套于所述轴承上从而使所述外磁体固定旋转的套设于所述隔套上。
13.如权利要求7所示的腔体观察窗，其特征在于所述法兰组合包括第一法兰、第二 法兰以及第三法兰，所述第二法兰一端固接所述第一法兰，另一端与所述第三法兰的一端 固接，所述挡孔部分设于所述第二法兰内，所述观察窗挡板装置固设于所述第二法兰上，所 述挡板承载端伸到所述第二法兰对应所述挡孔部分与腔体之间的通孔。
14.如权利要求7所示的腔体观察窗，其特征在于所述玻璃体嵌设于所述第一法兰内 以挡住所述通孔，所述第一法兰、第二法兰对应所述玻璃体的边缘的两侧分别延伸有第一 凸缘、第二凸缘，所述第一凸缘与所述玻璃体之间设有密封圈，所述第二凸缘与所述玻璃体 之间设有密封圈以及中心环，所述密封圈设于第一法兰的内壁以及所述中心环之间并抵顶 所述第一法兰的内壁以及所述中心环。
15.如权利要求7所示的腔体观察窗，其特征在于所述第二凸缘形成所述挡孔部分， 所述中心轴的挡板承载端伸进第二法兰对应所述第二凸缘与腔体之间的通孔。
全文摘要
本发明公开了一种观察窗挡板装置，包括挡板旋转机构以及挡板，挡板旋转机构还包括法兰座、中心轴、内磁体固定环、外磁体固定环以及具有一腔体的隔套，隔套固接于法兰座上，法兰座开设有贯通自身的第一通孔，中心轴插设于第一通孔中并且中心轴两端伸出法兰座，中心轴的两端分别为磁体承载端以及固接挡板的挡板承载端，磁体承载端容置于腔体内，内磁体固定环固接于磁体承载端上，挡板固接于挡板承载端上，内磁体固定环上至少固接有两个内磁体，外磁体固定环旋转的套设于隔套上，外磁体固定环对应内磁体处固接若干个与内磁体极性相反的外磁体。该挡板设于观察窗玻璃体与腔体之间，不需要观察时，旋转挡板挡住通孔，防止玻璃体被腔体内的污染源污染。
文档编号C23C14/24GK101831610SQ20101010755
公开日2010年9月15日 申请日期2010年1月29日 优先权日2010年1月29日
发明者刘惠森, 叶宗锋, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良, 郭远伦 申请人:东莞宏威数码机械有限公司