胶层5提供侧向剪切支撑力防止抛光垫表面翘曲、起边以及发皱等。但利用压敏胶层5时会存在上述的问题。
[0032]因此，为了能实现抛光垫体2与抛光大盘I的有效连接固定，更换方便，有效减少对抛光大盘I的损伤概率，提高抛光效率，本实用新型包括抛光垫体2;所述抛光垫体2上设置具有吸附能力的吸附体，抛光垫体2能通过吸附体与抛光大盘I固定连接。
[0033]具体地，抛光垫体2可以才有现有常用的结构形式，吸附体固定在抛光垫体2与抛光大盘I的接触面上，抛光垫体2通过吸附体能与抛光大盘I间保持固定连接，满足对晶片进行抛光的要求;所述吸附体通过吸附能力与抛光大盘I连接，与现有抛光垫体2通过压敏胶层5与抛光大盘I间的粘结固定不同，在实现将抛光垫体2与抛光大盘I间有效连接的同时，也能实现快速更换所需的抛光垫体2，减少对抛光大盘I的损伤概率。
[0034]进一步地，所述吸附体包括真空吸附胶膜6，所述真空吸附胶膜6与抛光垫体2固定成一体或通过胶膜粘附层18与抛光垫体2连接。
[0035]如图4所示，为真空吸附胶膜6与抛光垫体2间采用一体式连接，抛光垫体2与真空吸附胶膜6间不可拆分，真空吸附胶膜6可以采用橡胶、聚酯化合物等材料制成，真空吸附胶膜6与抛光大盘I连接的表面为纯平面，即真空吸附胶膜6与抛光大盘I接触的表面具有较高的平整度。如图5所示，所述真空吸附胶膜6上设有若干吸附凹槽7，真空吸附胶膜6的厚度为I ΟΟμπι?5mm。具体实施时，吸附凹槽7的直径为I Ομπι?5mm，吸附凹槽7的深度为。
[0036]如图6所示，使用时，直接把抛光垫体2平铺在抛光大盘I上，赶出所有真空吸附胶膜6与抛光大盘I之间的气泡，提高真空吸附胶膜6与抛光大盘I间的吸附力，然后用滚轮在抛光垫体2上进行压合，或者直接用样片进行试抛，使抛光垫体2跟抛光大盘I紧密连接，确保对晶片的抛光要求。通过抛光垫体2通过真空吸附胶膜6的真空吸附能力与抛光大盘I紧密连接，能实现快速更换不同的抛光垫体2，且在更换抛光垫体2时不会造成对抛光大盘I的损伤。
[0037]如图7所示，抛光垫体2与真空吸附胶膜6间还可以采用可分离的结构形式，即真空吸附胶膜6通过胶膜粘附层18与抛光垫体2连接固定。胶膜吸附层18能提供真空吸附胶膜6与抛光垫体2间的较高的吸附力，使得真空吸附胶膜6与抛光垫体2间能紧密连接。此时，真空吸附胶膜6贴在抛光大盘I上，真空吸附胶膜6可以通过真空吸附方式与抛光大盘I紧密连接，或真空吸附胶膜6通过压敏胶粘结在抛光大盘I上。当真空吸附胶膜6通过压敏胶粘结在抛光大盘I上时，在更换抛光垫体2时，需要使得真空吸附胶膜6仍然保留在抛光大盘I上，SP通过真空吸附胶膜6与抛光大盘I间长期连接，能够有效减少对抛光大盘I的损伤，提高抛光垫体2的更换效率。
[0038]在需要更换抛光垫体2时，可以撕掉真空吸附胶膜6，直接把整个抛光垫体I与抛光大盘I分离，也可以只是撕掉真空吸附胶膜6上的胶膜粘附层18以及抛光垫体2，真空吸附胶膜6仍然黏在抛光大盘I上，更换时，只需把具有胶膜粘附层18的抛光垫体2与真空吸附胶膜6重新连接即可。真空吸附胶膜6与胶膜粘附层18可以采用相同或不同的材料。
[0039]进一步地，所述吸附体包括磁力吸附膜，所述磁力吸附膜的厚度为ΙΟΟμπι?lcm。
[0040]本实用新型实施例中，所述吸附体还可以采用具有磁性的磁力吸附膜，磁力吸附膜可以与抛光垫体2直接固定呈一体或可分离的连接形式，磁力吸附膜能通过磁性作用力与抛光大盘I紧密连接，磁力吸附膜与抛光大盘I相接触的表面为纯平面，即磁力吸附膜与抛光大盘I相接触的表面具有较高的平整度。抛光垫体2与抛光大盘I通过磁力吸附膜连接时，所述磁力吸附膜提供的磁性作用力能够确保对晶片的正常抛光过程，具体为本技术领域人员所熟知，此处不再赘述。
[0041]使用时，直接把抛光垫体2平铺在抛光大盘I上，赶出所有磁力吸附膜与抛光大盘I之间的气泡，使磁力吸附膜与抛光大盘I间相互吸附，然后用滚轮在抛光垫体2上进行压合，或者直接用样片进行试抛，使抛光垫体2与抛光大盘I紧密接触。所述磁力吸附膜可以是聚酯化合物添加磁性颗粒组成，也可以是橡胶添加磁性粉末或颗粒组成，磁力吸附膜的具体材料组成为本技术领域人员所熟知，此处不再赘述;所述抛光大盘I应是可以被磁性吸附的金属大盘。
[0042]进一步地，所述磁力吸附膜包括用于与抛光垫体2固定连接的磁力吸附上膜8以及能与所述磁力吸附上膜8相互吸附的磁力吸附下膜9，所述磁力吸附下膜9真空吸附或胶粘在抛光大盘I上，所述磁力吸附上膜8与抛光垫体2固定成一体或通过磁力膜粘附层10与抛光垫体2连接。
[0043]如图8所示，所述磁力吸附膜可以采用磁力吸附上膜8以及磁力吸附下膜9的形式，磁力吸附上膜8与磁力吸附下膜9能相互分离，而当磁力吸附上膜8与磁力吸附下膜9吸附结合在一起时，磁力吸附上膜8与磁力吸附下膜9间具有较大的磁性作用力。磁力吸附下膜9贝占在抛光大盘I上，磁力吸附下膜9可以通过磁力直接吸附在抛光大盘I上，也可以是真空吸附的或是用压敏胶粘在抛光大盘I上。磁力吸附下膜9通过压敏胶粘结在抛光大盘I上时，在更换不同的抛光垫体2时，需要使得磁力吸附下膜9仍然保留在抛光大盘I上，避免使用压敏胶带来的问题。而在经过相当长的时间需要去除磁力吸附下膜9以及压敏胶时，也能够有效减少对抛光大盘I的损伤，提高抛光垫体2的更换效率。
[0044]在需要对抛光垫体2进行更换时，可以撕掉与抛光大盘I紧密接触的磁力吸附下膜9，从而能实现抛光垫体2与抛光大盘I的分离与更换；当然，也可以保留抛光大盘I上的磁力吸附下膜9，仅更换磁力吸附上膜8以及与所述磁力吸附上膜8连接的抛光垫体2;此时，抛光大盘I可以是能被磁性吸附的金属大盘，也可以是陶瓷等普通材质，具体可以根据需要进行选择确定。
[0045]如图9所示，磁力吸附上膜8还可以通过磁力膜粘附层10与抛光垫体2紧密连接，所述磁力膜粘附层10可以采用压敏胶、真空吸附胶膜等形式，磁力吸附上膜8与磁力吸附下膜9的配合形式、以及磁力吸附下膜9与抛光大盘I间的配合可以参考上述说明，此处不再赘述。当需要更换不同的抛光垫体2时，可以磁力吸附上膜8、磁力膜粘附层10以及抛光垫体2同时撕掉，也可以保留磁力吸附上膜8，只需要将所需更换的抛光垫体2利用磁力膜粘附层1粘结在磁力吸附上膜8上即可。
[0046]如图9所示，所述吸附体包括绒毛吸附上膜19以及与所述绒毛吸附上膜19相对应的绒毛吸附下膜13，所述绒毛吸附上膜19固定在抛光垫体2上，绒毛吸附下膜13固定在抛光大盘I上，在绒毛吸附上膜19上设置上层绒毛11，绒毛吸附下膜13上设置于上层绒毛11匹配的下层绒毛12，绒毛吸附上膜19与绒毛吸附下膜13间通过上层绒毛11与下层绒毛12间相互接触产生的横向剪切力紧密连接。
[0047]本实用新型实施例中，所述上层绒毛11、下层绒毛12的高度为ΙΟμπι?1mm，上层绒毛
11、下层绒毛12的材料包括有机纤维或聚酯。当上层绒毛11与下层绒毛12间相互接触时，上层绒毛11、下层绒毛12间能产生较大的横向剪切力，所述横向剪切力能确保绒毛吸附上膜19与绒毛吸附下膜13在抛光过程中的不分离，即达到抛光垫体2与抛光大盘I间连接的