专利名称：一种三氯氢硅合成湿法除尘系统喷淋液净化装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于多晶硅生产技术领域，涉及一种三氯氢硅喷淋液净化装置。
背景技术：
三氯氢硅的合成是整个多晶硅生产系统的重要原料来源，在三氯氢硅的合成环节中，伴随着三氯氢硅的产生还会生成硅氯高聚物、硅渣、三氯化铝等易燃易爆物质，这些物质会缓慢的在管道和设备中沉积下来，特别是三氯化铝，在低于其升华温度时，会凝结成三氯化铝固体。这些凝结下来的三氯化铝以及沉积下来的硅渣、硅氯高聚物等杂质，会严重堵塞管道和设备。目前普遍采用的杂质处理方法是在三氯氢硅合成炉之后增加一套湿法除尘系统， 利用四氯化硅喷淋液体对三氯氢硅合成气进行喷淋，将合成气中的硅氯高聚物、硅渣等洗涤下来，同时，合成气中的三氯化铝还会溶解在四氯化硅喷淋液中，使湿法除尘系统处理后的合成气中含有的杂质减少，避免了合成气后续处理系统堵塞。湿法除尘后的喷淋液再通过精馏纯化，将所携带的硅氯高聚物、硅渣以及溶解的三氯化铝等杂质进行浓缩分离，并以釜液的形式排出废液废渣处理系统，进行无害化处理，分离后的喷淋液又循环进湿法除尘系统进行喷淋。然而，由于喷淋液精馏纯化系统设备过于复杂和庞大，处理能力有限，釜液中杂质浓度较低时，会造成大量四氯化硅浪费，加重了废液废渣处理系统的处理量，会使多晶硅生产的物耗增加，增加了生产成本；釜液中杂质含量较高时，杂质依然会导致釜液排放管道、 再沸器堵塞，进而堵塞整个喷淋液精馏纯化系统。硅氯高聚物、硅渣以及三氯化铝等杂质所形成的混合物，其化学性质非常活泼，一旦接触空气就会发生燃烧或爆炸，在处理湿法除尘后喷淋液精馏纯化系统堵塞时，存在着极大的危险性。
实用新型内容本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题，提供一种三氯氢硅喷淋液净化装置。该装置构思巧妙、成本低廉，有效的将大部分杂质进行分离，防止三氯氢硅合成湿法除尘喷淋液精馏纯化系统堵塞。为实现上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种三氯氢硅喷淋液净化装置，包括沉降罐和带有夹套的废液渣储罐，沉降罐的上部连接有喷淋液输入管，沉降罐的下部连接有上清液输出管，沉降罐的底部通过杂质输出管连通废液渣储罐的顶部，废液渣储罐的底部连接有残渣输出管，所述杂质输出管和残渣输出管上均设置有双阀门。作为优选方式，所述沉降罐的下部为锥形封头。所述沉降罐的顶部连接有第一氮气输入管，所述废液渣储罐的顶部连接有第二氮气输入管。所述第二氮气输入管上设置有双阀门。[0011]由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是本实用 新型构思巧妙、成本低廉，有效的将大部分杂质进行分离，防止三氯氢硅合成湿法除尘喷淋液精馏纯化系统堵塞。
图1是本实用新型结构示意图。图中标记1第一氮气输入管、2喷淋液输入管、3沉降罐、4上清液输出管、5第二氮气输入管、6废液渣储罐、7残渣输出管。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。实施例如图1所示，一种三氯氢硅喷淋液净化装置，包括沉降罐3和带有夹套的废液渣储罐6，所述沉降罐3的顶部连接有第一氮气输入管1，沉降罐3的上部连接有喷淋液输入管2，沉降罐3的下部连接有上清液输出管4，沉降罐3的底部通过杂质输出管连通废液渣储罐6的顶部，所述废液渣储罐6的顶部连接有第二氮气输入管5，废液渣储罐6的底部连接有残渣输出管7，所述杂质输出管、第二氮气输入管5和残渣输出管7上均设置有双阀门。所述沉降罐3的下部为锥形封头。本装置共设有两套，一套静置，另一套中的上清液送往喷淋液精馏纯化系统，交替进行。工作原理如下三氯氢硅合成湿法除尘后的喷淋液从上部进入沉降罐3，静置，所得上清液从沉降罐3下部出口经管道送往喷淋液精馏纯化系统，沉淀物从沉降罐3底部经杂质输出管汇集于废液渣储罐6 ；同时向废液渣储罐6的夹套中通入冷却水，降低喷淋液的温度，静置，沉淀物从废液渣储罐6底部经残渣输出管7送往喷淋液精馏纯化工序。废液渣储罐6出现堵塞时，经第一氮气输入管1和第二氮气输入管5送入高压氮气，吹扫疏通。当高压氮气无法将管道吹通时，向废液渣储罐6的夹套中通入热水，将储罐内的液体蒸干后，对废液渣储罐6进行拆洗。将储罐内的液体蒸干，因为蒸干的是喷淋液， 最大限度的降低了喷淋液的损耗，减少了环境污染的压力以及节约了物料确保了安全，若没有这个夹套，无法蒸干的话，大量的喷淋液水解，物料消耗较大，处理起来也比较危险，若处理不当还会带来环境的污染。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种三氯氢硅合成湿法除尘系统喷淋液净化装置，其特征在于包括沉降罐(3)和带有夹套的废液渣储罐(6)，沉降罐(3)的上部连接有喷淋液输入管(2)，沉降罐(3)的下部连接有上清液输出管(4)，沉降罐(3)的底部通过杂质输出管连通废液渣储罐(6)的顶部， 废液渣储罐(6 )的底部连接有残渣输出管(7 )，所述杂质输出管和残渣输出管(7 )上均设置有双阀门。
2.如权利要求1所述的一种三氯氢硅合成湿法除尘系统喷淋液净化装置，其特征在于所述沉降罐(3)的下部为锥形封头。
3.如权利要求1所述的一种三氯氢硅合成湿法除尘系统喷淋液净化装置，其特征在于所述沉降罐(3)的顶部连接有第一氮气输入管(1)，所述废液渣储罐(6)的顶部连接有第二氮气输入管(5)。
4.如权利要求3所述的一种三氯氢硅合成湿法除尘系统喷淋液净化装置，其特征在于所述第二氮气输入管(5)上设置有双阀门。
专利摘要本实用新型公开了一种三氯氢硅合成湿法除尘系统喷淋液净化装置，包括沉降罐和带有夹套的废液渣储罐，所述沉降罐的顶部连接有第一氮气输入管，沉降罐的上部连接有喷淋液输入管，沉降罐的下部连接有上清液输出管，沉降罐的底部通过杂质输出管连通废液渣储罐的顶部，所述废液渣储罐的顶部连接有第二氮气输入管，废液渣储罐的底部连接有残渣输出管，所述杂质输出管、第二氮气输入管和残渣输出管上均设置有双阀门。本实用新型构思巧妙、成本低廉，有效的将大部分杂质进行分离，防止三氯氢硅合成湿法除尘喷淋液精馏纯化系统堵塞。
文档编号C01B33/107GK201997233SQ20112004050
公开日2011年10月5日 申请日期2011年2月17日 优先权日2011年2月17日
发明者唐猷成, 师贤华, 王恒孝, 蒲晓东, 黎展荣 申请人:四川新光硅业科技有限责任公司