一种进抽气两用石英管及扩散装置的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种进抽气两用石英管及扩散装置。

背景技术：

现有技术中的太阳能电池喷淋扩散时，进气由置于炉管上方、开口位于炉管中部的进气管(如图2所示)通入，进气管通过炉管上部尾管插入，抽气则由置于炉管下方、开口靠近炉口的抽气管(如图1所示)抽取，抽气管通过炉管下部尾管插入。现有技术中的进抽气系统(如图4所示)，一方面由于气流是由炉管中部通入再由炉口部位抽出，容易导致炉管内气流不均匀，例如靠近抽气口的气流量偏低，导致扩散后硅片方块电阻均匀度变差，进而影响到电池片性能；另一方面此种进抽气系统由于进气需要一种石英管，抽气又需要另一种石英管，在使用过程中便需分别进行采购与安装，使用不方便。

技术实现要素：

本实用新型的第一个目的在于提供一种进抽气两用石英管，其既可以作为进气管使用，也可以作为抽气管使用，装配时不需要区分，使得安装更加方便，同时使得扩散气体的流动更加均匀，可以有效改善方块电阻的均匀度，提升电池片的性能。

本实用新型的第二个目的在于提供一种包含上述的进抽气两用石英管的扩散装置，其进抽气两用石英管既可以作为进气管使用，也可以作为抽气管使用，装配时不需要区分，使得安装更加方便，同时使得扩散气体的流动更加均匀，可以有效改善方块电阻的均匀度，提升电池片的性能。

为达第一个目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种进抽气两用石英管，包括管体，管体的前端设置有球碗结构，管体的后端封闭，管体的中部沿其轴向设置有若干个气孔，若干个气孔的直径沿管体的轴向从前到后呈阶梯型增大，相邻的两个气孔的间距沿管体的轴向从前到后呈阶梯型减小。

其中，气孔的直径为0.1～1mm，相邻的两个气孔的间距为3～12mm。

其中，管体的壁厚为2～3mm，管体的中部的长度为1300～1700mm。

其中，管体的中部沿其轴向设置有若干个等长度的孔区，每个孔区均设置有若干个等直径且等间距分布的气孔，沿管体的轴向的后一个孔区的气孔的直径大于前一个孔区的气孔的直径，沿管体的轴向的后一个孔区的相邻的两个气孔的间距小于前一个孔区的相邻的两个气孔的间距，若干个孔区的若干个气孔形成若干个气孔。

其中，孔区的数量为三个，三个孔区沿管体的轴向从前到后依次为第一孔区、第二孔区和第三孔区。

其中，第一孔区(12)的所述气孔的直径范围为0.1mm-0.4mm，包括0.1mm和0.4mm，所述第二孔区(13)的所述气孔的直径范围为0.4mm-0.7mm，不包括0.4mm和0.7mm，所述第三孔区(14)的所述气孔的直径范围为0.7mm-1mm，包括0.7mm和1mm。

其中，第一孔区的气孔的直径为0.2mm，第二孔区的气孔的直径为0.5mm，第三孔区的气孔的直径为0.8mm。

其中，第一孔区(12)的相邻的两个所述气孔的间距范围为9mm-12mm，包括9mm和12mm，所述第二孔区(13)的相邻的两个所述气孔的间距范围为6mm-9mm，不包括6mm和9mm，所述第三孔区(14)的相邻的两个所述气孔的间距范围为3mm-6mm，包括3mm和6mm。

其中，第一孔区的相邻的两个气孔的间距为10mm，第二孔区的相邻的两个气孔的间距为7mm，第三孔区的相邻的两个气孔的间距为4mm。

为达第二个目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种扩散装置，包括炉管，炉管的上部尾管和下部尾管中均设置有上述的进抽气两用石英管。

本实用新型的有益效果：一种进抽气两用石英管，包括管体，管体的前端设置有球碗结构，管体的后端封闭，管体的中部沿其轴向设置有若干个气孔，若干个气孔的直径沿管体的轴向从前到后呈阶梯型增大，相邻的两个气孔的间距沿管体的轴向从前到后呈阶梯型减小。本实用新型的进抽气两用石英管既可以作为进气管使用，也可以作为抽气管使用，装配时不需要区分，使得安装更加方便；扩散气体经由作为进气管的进抽气两用石英管的气孔进入，再经由作为抽气管的进抽气两用石英管的气孔流出，且气孔的直径及相邻的两个气孔的间距的不同，可减少因气孔位置不同而影响其进气或抽气能力，使得扩散气体的流动更加均匀，可以有效改善方块电阻的均匀度，提升电池片的性能。

附图说明

图1是现有技术的抽气管的结构示意图。

图2是现有技术的进气管的结构示意图。

图3是本实用新型的进抽气两用石英管的结构示意图。

图4是现有技术的扩散装置的结构示意图。

图5是本实用新型的扩散装置的结构示意图。

附图标记如下：

1-管体；11-球碗结构；12-第一孔区；13-第二孔区；14-第三孔区；

2-炉管；21-上部尾管；22-下部尾管；3-硅片。

具体实施方式

下面结合图3和图5并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图3所示，一种进抽气两用石英管，包括管体1，管体1的前端设置有球碗结构11，管体1的后端封闭，管体1的中部沿其轴向设置有若干个气孔，若干个气孔的直径沿管体1的轴向从前到后呈阶梯型增大，相邻的两个气孔的间距沿管体1的轴向从前到后呈阶梯型减小。本实用新型的进抽气两用石英管既可以作为进气管使用，也可以作为抽气管使用，装配时不需要区分，使得安装更加方便；扩散气体经由作为进气管的进抽气两用石英管的气孔进入，再经由作为抽气管的进抽气两用石英管的气孔流出，且气孔的直径及相邻的两个气孔的间距的不同，可减少因气孔位置不同而影响其进气或抽气能力，使得扩散气体的流动更加均匀，改善方块电阻的均匀度，提升电池片的性能。

优选地，气孔的直径为0.1mm～1mm，相邻的两个气孔的间距为3mm～12mm，管体1的壁厚为2mm～3mm，管体1的中部的长度为1300～1700mm。本实施例中，管体1的壁厚为2.5mm，管体1的中部的长度为1500mm。在其他实施例中，管体1的壁厚也可以为2mm、2.2mm、2.6mm、2.8mm或3mm等其他数值，管体1的中部的长度也可以为1300mm、1400mm、1600mm或1700mm等其他数值。

优选地，管体1的中部沿其轴向设置有若干个等长度的孔区，每个孔区均设置有若干个等直径且等间距分布的气孔，沿管体1的轴向的后一个孔区的气孔的直径大于前一个孔区的气孔的直径，沿管体1的轴向的后一个孔区的相邻的两个气孔的间距小于前一个孔区的相邻的两个气孔的间距，若干个孔区的若干个气孔形成若干个气孔。管体1的中部沿其轴向设置有若干个等长度的孔区，每个孔区均设置有若干个等直径且等间距分布的气孔，可以提高加工的便利性。

本实施例中，如图3所示，孔区的数量为三个，三个孔区沿管体1的轴向从前到后依次为第一孔区12、第二孔区13和第三孔区14。在其他实施例中，孔区的数量可根据需要设置，例如孔区的数量可以为两个、四个、五个或六个等。

优选地，第一孔区12的所述气孔的直径范围为0.1mm-0.4mm，包括0.1mm和0.4mm，所述第二孔区13的所述气孔的直径范围为0.4mm-0.7mm，不包括0.4mm和0.7mm，所述第三孔区14的所述气孔的直径范围为0.7mm-1mm，包括0.7mm和1mm。本实施例中，第一孔区12的气孔的直径为0.2mm，第二孔区13的气孔的直径为0.5mm，第三孔区14的气孔的直径为0.8mm。在其他实施例中，第一孔区12的气孔的直径也可以为0.1mm、0.3mm或0.4mm等，第二孔区13的气孔的直径也可以为0.45mm、0.55mm、0.6mm或0.65mm等，第三孔区14的气孔的直径也可以为0.7mm、0.9mm或1mm等。

优选地，第一孔区12的相邻的两个所述气孔的间距范围为9mm-12mm，包括9mm和12mm，所述第二孔区13的相邻的两个所述气孔的间距范围为6mm-9mm，不包括6mm和9mm，所述第三孔区14的相邻的两个所述气孔的间距范围为3mm-6mm，包括3mm和6mm。本实施例中，第一孔区12的相邻的两个气孔的间距为10mm，第二孔区13的相邻的两个气孔的间距为7mm，第三孔区14的相邻的两个气孔的间距为4mm。在其他实施例中，第一孔区12的相邻的两个气孔的间距也可以为9mm、11mm或12mm等，第二孔区13的相邻的两个气孔的间距也可以为6.5mm、7.5mm、8mm或8.5mm等，第三孔区14的相邻的两个气孔的间距也可以为3mm、5mm或6mm等。

如图5所示，一种扩散装置，包括炉管2，炉管2的上部尾管21和下部尾管22中均设置有上述的进抽气两用石英管。本实用新型的进抽气两用石英管既可以作为进气管使用，也可以作为抽气管使用，装配时不需要区分，使得安装更加方便；扩散气体经由作为进气管的进抽气两用石英管的气孔进入，通过硅片3后再经由作为抽气管的进抽气两用石英管的气孔流出，且气孔的直径及相邻的两个气孔的间距的不同，可减少因气孔位置不同而影响其进气或抽气能力，使得扩散气体的流动更加均匀，改善方块电阻的均匀度，提升电池片的性能。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。