太阳能电池扩散用石英炉的制作方法

本实用新型涉及一种太阳能电池扩散用石英炉。

背景技术：

晶硅太阳能电池生产工艺流程中，扩散工艺过程形成PN结，此工艺过程需要高的洁净度和长时间的高温通气体源过程，通常采用石英炉，炉管为石英材质，一端为炉尾，相对的另一端为炉口。硅片是相邻垂直在炉管内进行扩散。传统的石英炉如附图1至附图3所示，进气管2是短管，管体为光管（不带孔），连接在炉管1的炉尾的中心处（自进气插管11插入），尾气管3是长管，管体也为光管（不带孔），插入炉管内下方（自尾气插管12插入）。在扩散工艺运行过程中，气体源从炉尾进入炉管内，随气流往炉口进行扩散，废气从炉口处进入尾气管往外排出，这样导致硅片整面得不到均匀的扩散；扩散工艺结束后，硅片中间的方块电阻明显高于四边，很不均匀。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池扩散用石英炉，改善硅片扩散方块电阻的均匀性。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种太阳能电池扩散用石英炉，它包括炉管、自炉管的炉尾插入炉管内的进气管和尾气管，进气管和尾气管均平行于炉管的轴向设置。进气管插入炉管内的上部，尾气管插入炉管内的下部，进气管和尾气管的长度相同，进气管和尾气管上均开设有均匀分布的多个小孔，且从炉尾至炉口，小孔的尺寸由小变大。

进一步地，从炉尾至炉口，多个小孔分为若干组，每组中的小孔尺寸相同，且从炉尾至炉口，各组的小孔尺寸由小变大。

进一步地，进气管和尾气管均采用石英材料。

进一步地，炉管的炉尾处具有进气插管和尾气插管，进气管自进气插管插入炉管内，尾气管自尾气插管插入炉管内。

更进一步地，进气管和尾气管的一端均具有卡接部，进气管的卡接部和尾气管的卡接部分别与进气插管的端口和尾气插管的端口相卡接。

进一步地，尾气管有两根。

由于采用上述技术方案，本实用新型太阳能电池扩散用石英炉，相较现有技术，改进了进气管的长度及连接位置，同时将进气管和尾气管都改进为带有不同尺寸小孔的长管，这样扩散工艺运行过程中，气体源是从炉管内上方喷淋而下，废气在下方进入尾气管排出，使气体源在硅片整面都能得到均匀的扩散。从而改进了硅片扩散方块电阻的均匀性，进而提高太阳能电池转换效率。

附图说明

附图1为背景技术中太阳能电池扩散用石英炉的炉管的剖面结构示意图；

附图2为背景技术中太阳能电池扩散用石英炉的进气管的剖面结构示意图；

附图3为背景技术中太阳能电池扩散用石英炉的尾气管的剖面结构示意图；

附图4为本实用新型太阳能电池扩散用石英炉的炉管的剖面结构示意图；

附图5为本实用新型太阳能电池扩散用石英炉的炉管的侧视结构示意图

附图6为本实用新型太阳能电池扩散用石英炉的进气管的剖面结构示意图；

附图7为本实用新型太阳能电池扩散用石英炉的尾气管的剖面结构示意图；

图中标号为：

1、炉管；11、进气插管；12、尾气插管；2、进气管；3、尾气管；4、小孔；5、卡接部。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解。

从附图4至附图7的结构示意图可以看出，本实施例中的太阳能电池扩散用石英炉，它包括炉管1、自炉管1的炉尾插入炉管1内的进气管2和尾气管3，进气管2和尾气管3均平行于炉管1的轴向设置。本实施例中，尾气管3有两根。

进气管2插入炉管1内的上部，尾气管3插入炉管1内的下部，进气管2和尾气管3的长度相同，进气管2和尾气管3上均开设有均匀分布的多个小孔4，且从炉尾至炉口，小孔4的尺寸由小变大。

如附图4和附图5本实施例中，炉管1的炉尾处具有进气插管11和尾气插管12，进气管2自进气插管11插入炉管1内，尾气管3自尾气插管12插入炉管1内。

在一种更为优选的实施方案中，进气管2和尾气管3的一端均具有卡接部5，进气管2的卡接部5和尾气管3的卡接部5分别与进气插管11的端口和尾气插管12的端口相卡接。

如附图6和附图7所示的本实施例中，从炉尾至炉口，多个小孔4分为若干组，每组中的小孔4尺寸相同，且从炉尾至炉口，各组的小孔4尺寸由小变大。

在一种更为优选的实施方案中，进气管2和尾气管3均采用石英材料。

本太阳能电池扩散用石英炉，改进了进气管2的长度及连接位置，同时将进气管2和尾气管3都改进为带有不同尺寸小孔4的长管，这样扩散工艺运行过程中，气体源是从炉管1内上方喷淋而下，废气在下方进入尾气管3排出，使气体源在硅片整面都能得到均匀的扩散，从而改进了硅片扩散方块电阻的均匀性，进而提高太阳能电池转换效率。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。