一种坩埚加热系统的制作方法

本实用新型涉及长晶领域，具体地涉及一种坩埚加热系统。

背景技术：

长晶(例如蓝宝石长晶、碳化硅长晶)过程需要在一定的温度下进行，需要对坩埚进行加热，且一般情况下，需要将坩埚放入加热装置中，加热装置设置在坩埚的外周。加热装置的加热体大多易碎，经不起碰撞，这就给坩埚放入过程造成一定难度。

现有技术中多采用在坩埚周围勒绳子的方式，将坩埚放入或取出。但是该种方式经常会把加热装置的加热体碰断，且这种方式不牢固，容易使得坩埚坠落，具有一定的危险性。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的在加热装置中放入或取出坩埚时存在的过程繁琐、危险的缺陷，提供一种坩埚加热系统。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种坩埚加热系统，该系统包括坩埚、加热部件和抽真空装置，所述加热部件设置在所述坩埚的外周，所述坩埚包括坩埚本体和坩埚盖，所述坩埚盖的顶部设置有吊环，所述坩埚和所述抽真空装置连通，通过所述抽真空装置对所述坩埚抽真空。

优选地，所述坩埚盖上设置有抽真空孔，所述抽真空装置的抽气口与所述坩埚盖上的抽真空孔连通，以对所述坩埚抽真空。

优选地，所述坩埚盖和吊环通过吊环支架连接。

优选地，吊环设置于坩埚盖的顶部中间位置。

优选地，所述坩埚盖设置有密封圈，所述密封圈用于密封坩埚本体和坩埚盖的接触面。

优选地，所述抽真空装置为真空泵。

优选地，所述加热部件为加热线圈。

优选地，所述加热部件的外周还设置有保温层。

本实用新型通过设置抽真空装置，对坩埚进行抽真空，实现坩埚本体和坩埚盖的连接，且通过在坩埚盖的顶部设置吊环，可以通过吊装机实现坩埚的取出或放入，该种方式不但操作简单，且安全实用，克服了现有技术中容易将加热装置的加热部件损坏，且操作危险的缺陷。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型提供的一种具体实施方式的坩埚加热系统的示意图；

图2是本实用新型提供的一种具体实施方式的坩埚盖和抽真空装置的示意图；

图3是本实用新型提供的一种具体实施方式的坩埚盖的示意图。

附图标记说明

11-坩埚本体 21-坩埚盖 2-加热部件

3-抽真空装置 22-抽真空孔 23-吊环

24-吊环支架 25-密封圈 4-保温层

具体实施方式

以下对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

本实用新型提供了一种坩埚加热系统，如图1和图2所示，该系统包括坩埚、加热部件2和抽真空装置3，所述加热部件2设置在所述坩埚的外周，所述坩埚包括坩埚本体11和坩埚盖21，所述坩埚盖21的顶部设置有吊环23，所述坩埚和所述抽真空装置3连通，通过所述抽真空装置3对所述坩埚抽真空。

本实用新型通过设置抽真空装置3对所述坩埚抽真空，并通过在坩埚盖21的顶部设置有吊环23，可以实现坩埚的取出或放入，该种方式不但操作简单，且安全实用。例如，通过吊装机勾住所述吊环23，实现坩埚的取出或放入。

本实用新型对所述吊环23的具体形状没有特别的限定，可以为本领域常规使用的各种吊环，只要能够用于吊装使用即可。

根据本实用新型的一种优选实施方式，所述坩埚盖21和吊环23通过吊环支架24连接。采用该种优选实施方式，更有利于增加吊环的承重。本领域技术人员可以根据本实用新型说明的内容选择适当的吊环支架，本实用新型对此不做任何限定。根据本实用新型的一种具体实施方式，所述吊环支架24包括上部与吊环23接触和下部与坩埚盖21接触的竖直部分以及与所述竖直部分连接的稳固部分，所述稳固部分的底部与坩埚盖21接触。

根据本实用新型的一种优选实施方式，所述吊环23设置于坩埚盖21的顶部中间位置。

根据本实用新型的一种优选实施方式，所述坩埚盖21上设置有抽真空孔22，所述抽真空装置3的抽气口与所述坩埚盖21上的抽真空孔22连通，以对所述坩埚抽真空。通过在所述坩埚盖21上设置抽真空孔，更加便于坩埚的取出和放入，增加操作简便性。

如图3所示，根据本实用新型的一种优选实施方式，所述坩埚盖21设置有密封圈25，所述密封圈25用于密封坩埚本体11和坩埚盖21的接触面。通过抽真空装置，对坩埚进行抽真空，配合坩埚盖顶部的吊环，实现简便的坩埚的取出和放入，优选在坩埚盖21上设置密封圈25，进一步提高坩埚本体和坩埚盖之间的密封以及结合力，使得坩埚的取出和放入更加安全。所述密封圈25可以设置在坩埚盖21的内部，且与坩埚本体11接触。本领域技术人员根据上述描述能够清楚密封圈25的设置，在此不再赘述。本实用新型对所述密封圈25的具体材料没有特别的限定，只要能够起到密封作用即可，例如可以为硅胶密封圈。

本实用新型中，对所述抽真空装置3的选择没有特别的限定，只要能达到对所述坩埚抽真空的目的即可，例如所述抽真空装置3可以为真空泵。优选情况下，通过所述抽真空装置3对所述坩埚抽真空，使得所述坩埚中的真空度(绝对压力)小于1×10^-2Pa。该种优选实施方式可以更进一步提高坩埚本体11和坩埚盖的结合力。

本实用新型中，对所述加热部件2的选择没有特别的限定，只要能达到加热效果即可，可以为本领域的常规选择。优选情况下，所述加热部件2为加热线圈。所述加热线圈有助于提高加热部件2的加热效率，并使坩埚(特别是坩埚本体11)受热均匀。

为了将坩埚体系与外界隔开，以保证所述加热线圈的加热效率，所述加热部件2的外周还设置有保温层4。所述保温层4可以为本领域常规的选择，只要能达到保温效果即可，在此不再赘述。

以下说明本实用新型的一种具体实施方式。

如图1、图2和图3所示，该坩埚加热系统包括坩埚、加热部件2和抽真空装置3，所述坩埚包括坩埚本体11和坩埚盖21，所述坩埚盖21上设置有抽真空孔22和密封圈25，所述抽真空装置3(真空泵)的抽气口与所述坩埚盖21上的抽真空孔22连通，对所述坩埚抽真空至1×10^-2Pa，密封圈和抽真空操作使得坩埚本体11和坩埚盖21紧密连接。坩埚盖21的顶部中间位置设置有吊环23，吊环23和坩埚盖21通过吊环支架24连接，吊环支架24包括上部与吊环23接触和下部与坩埚盖21接触的竖直部分以及与所述竖直部分连接的稳固部分，所述稳固部分的底部与坩埚盖21接触。坩埚的外围设置有加热部件2(加热线圈)，加热部件2的外周还设置有保温层。通过使用起吊装置(例如吊装机)的挂钩勾住坩埚盖21上吊环23，可以实现埚的取出或放入，该种方式不但操作简单，且安全实用，克服了现有技术中容易将加热装置的加热部件损坏，且操作危险的缺陷。

以上详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。