一种铌酸锂法腐蚀装置的制作方法

本实用新型涉及腐蚀装置技术领域，具体涉及一种铌酸锂法腐蚀装置。

背景技术：

铌酸锂(LiNbO3)是一种铌、锂和氧的化合物，其晶体具有钙钛矿型结构，在微波技术中用于调Q开关、光电调制、倍频、光参量振荡，掺加一定量的铁和其他金属杂质的铌酸锂基片，为一种具有压电、铁电、电光、非线性光学、热电等多性能材料，在微声技术中用于表面波、体波、换能器元件，还可作全息记录介质材料。

铌酸锂基片制备过程中，常常需要对其进行表面腐蚀处理；目前，在腐蚀处理铌酸锂基片时，大多数装置在腐蚀效率低，取放铌酸锂基片不方便；而且腐蚀后的铌酸锂基片，有时需要借助人工去洗去铌酸锂基片表面的腐蚀液体，增加了工作人员的工作强度。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种铌酸锂法腐蚀装置，该装置取放基片样品更方便，提高了腐蚀效率，而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体，减少了工作人员的工作强度。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种铌酸锂法腐蚀装置，所述腐蚀装置包括装置本体、驱动机构、样品放置机构及通风机构，所述装置本体为一壳体，其内设有容纳腔，所述容纳腔分别设置有腐蚀槽及清水槽；所述装置本体上设有取放样门，用于取放基片样品；所述驱动机构与所述样品放置机构固定连接，用于驱动所述样品放置机构在所述容纳腔内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述通风机构包括抽风机及通风管道，所述通风管道设于所述装置本体内，并连接所述抽风机。

在本实用新型中，优选的，所述驱动机构包括电动推杆、第一电机及第二电机，所述电动推杆固定安装在所述容纳腔内，其输出端连接一活动板；所述活动板面向所述腐蚀槽的一侧开设有凹槽，所述第一电机设于所述凹槽内，且其输出端通过联轴器与一丝杆固定连接；所述丝杆上通过螺纹连接一滑块，所述滑块能够沿所述丝杆长度方向上移动；所述滑块面向所述腐蚀槽的一侧安装有所述第二电机，所述第二电机的输出轴与一搅拌杆固定连接，所述搅拌杆远离所述第二电机的一侧与所述样品放置机构固定连接。

在本实用新型中，优选的，所述搅拌杆上设有若干搅拌叶。

在本实用新型中，优选的，所述样品放置机构包括固定架及锁紧装置，所述固定架包括定位盘及定位杆，所述定位杆一端与所述定位盘固定连接，其另一端与所述搅拌杆固定连接；所述定位杆上设有滑槽；所述锁紧装置包括夹块及夹片，所述夹片与所述夹块固定连接，且所述夹块滑动插接于所述滑槽内，所述滑槽内设有一弹性件，所述弹性件抵持所述夹块。

在本实用新型中，优选的，所述定位盘上设有穿孔。

在本实用新型中，优选的，所述腐蚀装置还包括一滤篮，所述滤篮与所述搅拌杆固定连接，所述样品放置机构置于所述滤篮内。

在本实用新型中，优选的，所述清水槽内设置有用于清洗基片样品的若干喷淋头。

在本实用新型中，优选的，所述装置本体上还设有观察窗，所述观察窗的材质采用透明有机玻璃。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型提供了一种铌酸锂法腐蚀装置，通过电动推杆、第一电机及第二电机的共同作用，实现样品放置机构在水平方向上移动及竖直方向上移动，可以实现基片样品分别进入腐蚀槽及清水槽，不需要借助人工的情况下进行腐蚀与清洗过程；第二电机带动搅拌杆及搅拌叶转动使基片样品腐蚀的更加充分，节约了大量的时间；取放样门用于取放基片样品，更加安全方便，降低了工作人员的工作强度；该装置取放基片样品更方便，提高了腐蚀效率，而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体，减少了工作人员的工作强度。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施方式中铌酸锂法腐蚀装置的结构示意图。

图2为本实施方式中铌酸锂法腐蚀装置的剖视图。

图3为本实施方式中铌酸锂法腐蚀装置中样品放置机构的主视图。

图4为本实施方式中铌酸锂法腐蚀装置中样品放置机构的俯视图。

附图中主要元件符号说明：1-装置本体、2-驱动机构、201-电动推杆、202-第一电机、203-第二电机、204-活动板、205-凹槽、206-丝杆、207-滑块、208-搅拌杆、209-搅拌叶、3-样品放置机构、31-固定架、311-定位盘、312-定位杆、3111-穿孔、32-锁紧装置、321-夹块、322-夹片、323-弹性件、4-通风机构、5-容纳腔、6-腐蚀槽、7-清水槽、8-取放样门、9-滤篮、10-喷淋头、11-观察窗、12-控制按钮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

实施例1：请同时参见图1至图2，一种铌酸锂法腐蚀装置包括装置本体1、驱动机构2、样品放置机构3及通风机构4，所述装置本体1为一壳体，其内设有容纳腔5，所述容纳腔5分别设置有腐蚀槽6及清水槽7，腐蚀槽6内装有腐蚀液，清水槽7内装有清洗液或清水；所述清水槽7内设置有用于清洗基片样品的若干喷淋头10，喷淋头10外接水泵及储水设备，能够对腐蚀后的基片样品进行清洗；所述装置本体1上设有取放样门8，用于取放基片样品；所述装置本体1上还设有观察窗11，所述观察窗11的材质采用透明有机玻璃，便于工作人员对所述腐蚀装置内部情况进行观察；

所述驱动机构2与所述样品放置机构3固定连接，用于驱动所述样品放置机构3在所述容纳腔5内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述驱动机构2包括电动推杆201、第一电机202及第二电机203，在本实施方式中，电动推杆201采用型号为DT50050Ⅰ电动推杆，第一电机202及第二电机203均采用型号为YEJ90L-41.5KE型号的抱闸电机，相应的可以理解，在其他实施方式中，电动推杆201、第一电机202及第二电机203均可以采用其他适用型号；所述电动推杆201固定安装在所述容纳腔5内，其输出端连接一活动板204；所述活动板204面向所述腐蚀槽6的一侧开设有凹槽205，所述第一电机202设于所述凹槽205内，且其输出端通过联轴器与一丝杆206固定连接；所述丝杆206上通过螺纹连接一滑块207，所述滑块207能够沿所述丝杆206长度方向上移动；所述滑块207面向所述腐蚀槽6的一侧安装有所述第二电机203，所述第二电机203的输出轴与一搅拌杆208固定连接，所述搅拌杆208远离所述第二电机203的一侧与所述样品放置机构3固定连接。进一步的，所述搅拌杆208上设有若干搅拌叶209第二电机带动搅拌杆及搅拌叶转动使基片样品腐蚀的更加充分，节约了大量的时间；通过电动推杆201、第一电机202及第二电机203的共同作用，实现样品放置机构3在水平方向上移动及竖直方向上移动，可以实现基片样品分别进入腐蚀槽6及清水槽7，不需要借助人工的情况下进行腐蚀与清洗过程。

所述通风机构4包括抽风机401及通风管道402，所述通风管道402设于所述装置本体1内，并连接所述抽风机401；通风机构4能够对该装置进行通风换气，更加安全。电动推杆201、第一电机202、第二电机203及抽风机401通过外接电路与外接电源连接，并且分别连接控制按钮12，控制按钮12能够分别控制电动推杆201、第一电机202、第二电机203及抽风机401处于通电或者断电状态。

实施例2：请同时参见图1至图4，一种铌酸锂法腐蚀装置，与实施例1区别仅在于：所述样品放置机构3包括固定架31及锁紧装置32，所述固定架31包括定位盘311及定位杆312，所述定位杆312一端与所述定位盘311固定连接，其另一端与所述搅拌杆208固定连接；所述定位杆312上设有滑槽33；所述锁紧装置32包括夹块321及夹片322，所述夹片322与所述夹块321固定连接，且所述夹块321滑动插接于所述滑槽33内，所述滑槽33内设有一弹性件323，所述弹性件323抵持所述夹块321，夹块321在弹性件323的弹力作用下压制基片样品，防止其在腐蚀与清洗过程中移动，所述弹性件323可以采用弹簧；进一步的，所述定位盘311上设有穿孔3111；腐蚀液能够穿过穿孔3111，对基片样品双面进行腐蚀；同理，清洗基片样品时，清洗液也能对基片样品双面进行清洗，清洗更干净。

在本实施方式中，所述腐蚀装置还包括一滤篮9，所述滤篮9与所述搅拌杆208固定连接，所述样品放置机构3置于所述滤篮9内，滤篮9上设有滤篮门，能够方便取放基片样品；滤篮9的设置能够防止基片样品在腐蚀或者清洗过程中掉落至腐蚀槽及清水槽中。

工作原理：将电动推杆201、第一电机202、第二电机203及抽风机401通过外接电路与外接电源连接，其按下第一电机202的控制按钮12，使样品放置机构3处于取放样门8处，打开取放样门8及滤篮9上的滤篮门，将夹片322上移，并将待腐蚀的基片样品夹持在夹片322间，在弹性件323的弹力作用下压制基片样品，防止其移动；再次按下第一电机202的控制按钮12使基片样品处于腐蚀槽6上方，按下电动推杆201的控制按钮12，使样品放置机构3下降至腐蚀槽6内，对其进行腐蚀过程，按下第二电机203的控制按钮12，第二电机203带动搅拌杆208转动；待腐蚀结束后，第二电机203停止工作，分别再启动电动推杆201、第一电机202使样品放置机构3下降至清水槽7内，对其进行清洗，喷淋头10对基片样品进行喷洗，使得清洗更加全面；过程中，如需要通风，按下抽风机401的的控制按钮12，抽风机401工作对装置进行通风换气，更加安全；如此完成，基片样品的腐蚀和清洗过程。该装置取放基片样品更方便，提高了腐蚀效率，而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体，减少了工作人员的工作强度。

上述说明是针对本实用新型较佳可行实施例的详细说明，但实施例并非用以限定本实用新型的专利申请范围，凡本实用新型所提示的技术精神下所完成的同等变化或修饰变更，均应属于本实用新型所涵盖专利范围。