技术总结
本发明提供致密失氧氧化锌陶瓷体的制备方法，主要包括锌层包覆氧化锌造粒粉体的制备，锌层包覆氧化锌造粒粉体制备陶瓷坯体然后烧结；其中锌层包覆氧化锌造粒粉体制备过程为，氧化锌预混料加入含有分散剂的液体中，制得浆料，将浆料通过喷射造粒，然后将锌蒸汽输送至造粒区域实现氧化锌造粒粉体表面锌层包覆，其中锌蒸汽的形成温度为1000～1300℃。与现有技术相比，本发明采用简单的方法实现了致密失氧氧化锌陶瓷体的制备，所用设备简单，成本低廉，致密度较高，产品的相对密度在95％以上，且具有较低的电阻率，经过测试其电阻率<1Ω·cm，可以满足DC以及MF的溅射需求。
技术研发人员：宋伟杰;盛伟;杨晔;兰品军;李佳;黄金华
受保护的技术使用者：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日：2019.02.28
技术公布日：2019.06.14