一种二维GaTe材料的制备方法与流程

文档序号:18699746发布日期:2019-09-17 22:41阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种二维GaTe材料的制备方法,包括依次执行如下步骤:步骤1:称取一定量的碲粉和镓液,将其分别放置于两个坩埚中,放置碲粉为碲源的坩埚为第一坩埚、放置镓液为镓源的坩埚为第二坩埚;步骤2:分别将步骤1中的所述第一坩埚、所述第二坩埚放置在CVD管式炉的上游和中心,所述第一坩埚、所述第二坩埚之间需间隔一定距离;步骤3:将衬底倒置在第二坩埚的正上方;步骤4:通入氩气和氢气的混合气体,并进行升温,当升温到设定温度时保温一定时间,然后自然冷却到室温,即能在所述衬底上沉积二维GaTe材料。本发明的有益效果是:1.本发明的制备方法采用化学气相沉积法,相较于常规的机械剥离法制备过程,更容易控制。

技术研发人员:汪桂根;韩茂;杨硕;党乐阳
受保护的技术使用者:哈尔滨工业大学(深圳)
技术研发日:2019.07.17
技术公布日:2019.09.17
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