一种多晶硅热场坩埚装置的制作方法

文档序号:19420001发布日期:2019-12-14 01:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅热场坩埚装置,包括工作釜(1),工作釜(1)内部设置有工作腔,工作釜(1)顶端连通设置有取放口,并在取放口处螺栓螺装有挡盖(2);其特征在于,挡盖(2)顶端连通设置有观察孔,并在观察孔处设置有透明观察板(3),挡盖(2)顶端左侧设置有前后向连通口,还包括滑块(4)、带动柱(5)、带动板(6)、安装板(7)和海绵擦(8),带动柱(5)顶端与滑块(4)连接,带动柱(5)底端穿过前后向连通口并伸入至工作釜(1)内部与带动板(6)顶端左方连接,海绵擦(8)安装在安装板(7)顶端,海绵擦(8)贴紧透明观察板(3)底侧壁,还包括后固定板(9)、前固定板(10)、把手(11)、连接架(12)和丝杠(13),后固定板(9)和前固定板(10)分别安装在挡盖(2)顶端左侧后方和前方,前固定板(10)后端设置有第一轴承座,并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片,第一轴承座后端设置有第一挡片(14),把手(11)可转动固定在连接架(12)后端,丝杠(13)后端与连接架(12)前部连接,丝杠(13)前端穿过后固定板(9)后侧壁并伸出至后固定板(9)前方,丝杠(13)前端穿过第一挡片(14)插入至第一滚珠轴承内部与第一限位片连接,滑块(4)螺装套在丝杠(13)外侧,还包括多组第一套簧(15)和多组第一可伸缩管,多组第一套簧(15)的一端均与安装板(7)连接,多组第一套簧(15)的另一端均与带动板(6)连接,多组第一可伸缩管的一端均与安装板(7)连接,多组第一可伸缩管的另一端均与带动板(6)连接,多组第一套簧(15)分别套装在多组第一可伸缩管外侧。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅热场坩埚装置,其特征在于,还包括转把(16)、转动架(17)、插柱(18)、插管(19)、带动轴(20)和搅拌叶组(21),转把(16)和转动架(17)均位于工作釜(1)的外侧,转把(16)安装在转动架(17)上,搅拌叶组(21)位于工作腔内,插柱(18)的顶端与转动架(17)连接,带动轴(20)安装在插管(19)底端,搅拌叶组(21)安装在带动轴(20)上。

3.如权利要求2所述的一种多晶硅热场坩埚装置,其特征在于,插柱(18)底端插入至插管(19)顶端内部,还包括限位柱(22)、两组限位弹簧和两组定位块(23),插柱(18)内部下方设置有限位腔,插柱(18)左侧壁和右侧壁上设置有左通孔和右通孔,插管(19)左侧壁和右侧壁分别设置有左限位孔和右限位孔,限位柱(22)安装在限位腔内底侧壁,两组限位弹簧位于限位腔内,两组限位弹簧的一端分别与限位柱(22)左侧和右侧连接,两组定位块(23)的一端分别安装在两组限位弹簧的另一端,两组定位块(23)的另一端分别穿过左通孔和右通孔,并且两组定位块(23)的另一端分别插入至左限位孔内和右限位孔内。

4.如权利要求3所述的一种多晶硅热场坩埚装置,其特征在于,还包括还包括滑轮组(24)、限位环(25)和限位杆组(26),限位环(25)套设在带动轴(20)外侧,限位杆组(26)一端与限位环(25)连接,限位杆组(26)另一端与挡盖(2)底侧壁连接,滑轮组(24)一端与限位环(25)内侧连接,滑轮组(24)另一端与带动轴(20)外侧贴紧接触。

5.如权利要求4所述的一种多晶硅热场坩埚装置,其特征在于,还包括连接杆(27)、安装片(28)、挂板(29)、固定板(30)、第二套簧(31)和第二可伸缩管,连接杆(27)安装在工作釜(1)后侧上方,安装片(28)前端与连接杆(27)后侧上方连接,挂板(29)安装在安装片(28)后端,第二套簧(31)后侧与挂板(29)前侧连接,固定板(30)安装在第二套簧(31)前侧,第二可伸缩管后侧与挂板(29)前侧连接,固定板(30)安装在第二可伸缩管前侧,第二套簧(31)套装在第二可伸缩管外侧。

6.如权利要求5所述的一种多晶硅热场坩埚装置,其特征在于,还包括四组支撑台(32)、四组起吊柱(33)和四组起吊环(34),四组支撑台(32)分别安装在工作釜(1)左侧、前侧、右侧和后侧,四组支撑台(32)顶端均设置有第二轴承座,并在四组第二轴承座内均设置有第二滚珠轴承和第二限位片,四组第二轴承座顶端均设置有第二挡片(35),四组起吊柱(33)的底端分别穿过四组第二挡片(35)并分别插入至四组第二滚珠轴承内部与四组第二限位片连接,四组起吊环(34)分别安装在四组起吊柱(33)的顶端。

7.如权利要求6所述的一种多晶硅热场坩埚装置,其特征在于,四组起吊环(34)上均设置有缺口,还包括四组挤压板(36)、四组第三可伸缩管和四组第三套簧(37),四组第三可伸缩管一端分别与四组缺口一端连接,四组第三可伸缩管另一端分别与四组挤压板(36)连接,四组第三套簧(37)一端分别与四组缺口一端连接,四组第三套簧(37)另一端分别与四组挤压板(36)连接,四组第三套簧(37)套装在四组第三可伸缩管外侧,且四组挤压板(36)分别与四组缺口另一端贴紧。

8.如权利要求7所述的一种多晶硅热场坩埚装置,其特征在于,挡盖(2)上纵向设置有通槽,并在通槽内侧壁可转动固定有滚珠组,插柱(18)底端穿过滚珠组并伸入至工作釜(1)内部,插柱(18)外侧固定套设有两组固定环(38),两组固定环(38)内侧均设置有移动轮组(39),两组移动轮组(39)分别与挡盖(2)顶底两侧贴紧接触。


技术总结
本发明涉及多晶硅加热附属装置的技术领域,特别是涉及一种多晶硅热场坩埚装置,其工作釜内部可以方便进行观察,从而提高其实用性;包括工作釜,工作釜内部设置有工作腔,工作釜顶端连通设置有取放口,并在取放口处螺栓螺装有挡盖;挡盖顶端连通设置有观察孔,并在观察孔处设置有透明观察板,挡盖顶端左侧设置有前后向连通口,还包括滑块、带动柱、带动板、安装板和海绵擦,还包括后固定板、前固定板、把手、连接架和丝杠,前固定板后端设置有第一轴承座,并在第一轴承座内设置有第一滚珠轴承和第一限位片,第一轴承座后端设置有第一挡片,还包括多组第一套簧和多组第一可伸缩管。

技术研发人员:朱建峰
受保护的技术使用者:大同新成新材料股份有限公司
技术研发日:2019.09.06
技术公布日:2019.12.13
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