一种硅芯铸锭炉用炉体结构的制作方法

本实用新型属于多晶技术领域，涉及一种硅芯铸锭炉用炉体结构。

背景技术：

硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必要设备。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一。

现有技术的炉体结构简单而且强度弱，尤其是长方形的炉体，在多晶硅转化过程中需要高温处理，上述操作过程中容易产生炉体变形量大，铸锭成品低等现象而且使用寿命较短。

综上所述，为解决现有的隔热笼结构上的不足，本实用新型设计了一种结构合理、通过加强筋，加强板，连接块以及连接板的设置，使得炉体自身强度加强，不易变形、使用效果好的硅芯铸锭炉用炉体结构。

技术实现要素：

本实用新型为解决现有技术存在的问题，提供了一种结构合理、通过加强筋，加强板，连接块以及连接板的设置，使得炉体自身强度加强，不易变形、使用效果好的硅芯铸锭炉用炉体结构。

本实用新型的目的可通过以下技术方案来实现：一种硅芯铸锭炉用炉体结构，包括：

上炉体，上炉体的两侧外壁上由内往外依次设有内侧板、若干水路隔板和外侧板，所述水路隔板均匀分布于上炉体的两侧，所述上炉体、若干水路隔板、外侧板和上封板；

下炉体，下炉体的外壁上由内往外依次设有内封头、若干导水杆和外封头，所述导水杆均匀分布于内封头和外封头之间，下炉体的底部设有支撑底板，下炉体的两侧对称设有加强板。

作为进一步的改进，所述下炉体上还设有支撑座。

作为进一步的改进，所述水路隔板为u型，且水路隔板的上部开口朝向内侧板设置。

作为进一步的改进，所述上炉体的外壁上设有若干相互平行设置的加强筋。

作为进一步的改进，所述加强筋的一端与上炉体的顶部相连且连接处为台阶面，所述加强筋的另一端与加强板相连。

与现有技术相比，本实用新型结构设置合理，通过上炉体和下炉体的结构设置，即使整体结构为长方形的炉体，在抽真空的过程中，通过加强筋、支撑底板和加强板的设置，保证了炉体的整体结构稳定，不发生变形而且冷却效果佳。工作状态时，炉体内为负压，现有技术的结构内外侧容易变形，本使用的炉体结构即使在工作状态，也不易变形，不易损坏，适合推广应用。

附图说明

图1是本实用新型硅芯铸锭炉用炉体结构的立体结构示意图；

图2是本实用新型硅芯铸锭炉用炉体结构的下炉体结构示意图；

图3是本实用新型硅芯铸锭炉用炉体结构的上炉体结构和下炉体结构示意图；

图4是本实用新型硅芯铸锭炉用炉体结构的左视图；

图5是本实用新型硅芯铸锭炉用炉体结构的加强筋结构示意图。

图中，1-上炉体，11-内侧板，12-水路隔板，13-外侧板，2-下炉体，21-内封头，23-导水杆，23-外封头，3-支撑底板，4-底部加强板，41-支撑部一，42-支撑部二，5-支撑座，6-法兰，7-连接板，8-加强筋，9-加强板，91-强筋一，92-加强板一。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。

如图1～5所示，

实施例1

一种硅芯铸锭炉用炉体结构，包括：

上炉体1，上炉体1的两侧外壁上由内往外依次设有内侧板11、若干水路隔板12和外侧板13，所述水路隔板12均匀分布于上炉体1的两侧，所述上炉体1的顶部外壁上由内往外依次设有内侧板11、若干水路隔板12、外侧板13和上封板14，所述炉体1的外壁上设有若干加强筋8，所述加强筋8与加强板9相连且炉体1的外壁上还连接板；

下炉体2，下炉体2的外壁上由内往外依次设有内封头21、若干导水杆22和外封头23，所述导水杆22均匀分布于内封头21和外封头23之间，下炉体2的底部设有支撑底板3，下炉体2的两侧对称设有底部加强板4。

硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯过程中的必备设备。现有技术的炉体结构简单而且强度弱，尤其是长方形的炉体，在多晶硅转化过程中需要高温处理，上述操作过程中容易产生炉体变形量大，铸锭成品低等现象而且使用寿命较短。

如图1～3所示，为此本实用新型设计了一种硅芯铸锭炉用炉体结构，炉体结构的整体为长方形，由上炉体1和下炉体2构成，上炉体1和下炉体2为分体式结构，两者的连接面上设置有法兰6，通过在下炉体2的外壁上设置有均匀分布的导水杆22，上炉体1上设置有水路隔板12，在硅芯铸造的过程中炉体内均匀通循环水，再者，通过上炉体1和下炉体的结构设置，即使整体结构为长方形的炉体，在抽真空的过程中，通过支撑底板3和底部加强板4的设置，保证了炉体的整体结构稳定，不发生变形而且冷却效果佳。

优选的，底部加强板4包括支撑部一41和支撑部二42，支撑部一41和支撑部二42垂直设置，支撑部一41上设有圆弧形结构与下炉体2的外壁结构匹配，支撑部一41与下炉体2的弧形面接触。如此设置，在下炉体的底部设置有若干加强板4，本实施例中设置的具体数目为七个。设置的位置为两端设置的数目一致，两个为一组分别设置，中间可以均匀设置三个，其中，中线位置一个，中线位置的两侧对称各设置一个。上述结构以及设置的方式，有利于对炉体结构实现较佳的支撑，在抽真空以及高温操作的时候，下炉体结构不会发生变形，进而使得整体结构稳定，不易变形，适合长期使用，铸锭成品高。

更具体的，支撑底板3包括贴板31、支撑侧板33和支撑底板一32，其中，贴板31的弧度与下炉体2底边的弧度一致且紧贴下炉体2的底边，支撑侧板33对称设置于支撑底板一32的两端，支撑侧板33的两端分别连接贴板31和支撑底板一32的端部。上述结构能够对长方形的炉体结构实现较佳的支撑作用而且在抽真空的时候，也能够使得炉体整体结构不发生变形，炉体结构稳定。

实施例2

实施例2与实施例1的区别仅仅在于：1)所述下炉体2上还设有支撑座5。2)所述水路隔板12为u型，且水路隔板12的上部开口朝向内侧板11设置；3)所述上炉体1的外壁上设有若干相互平行设置的加强筋8；3)所述加强筋8的一端与上炉体的顶部相连且连接处为台阶面81，所述加强筋8的另一端与加强板9相连。

如图所示，在上炉体1的侧面和正面周围上皆设置有加强筋8和加强板9，在设置数量时，可以根据长方形炉体的尺寸进行适当调整。本实施例中侧面具体设置的数量为三个竖直设置的加强筋8，正面设置的数量为六个竖直设置的加强筋8，其中加强筋8与炉体的接触面为侧面、台阶面及与加强板9接触的底面。通过台阶面与上炉体1的顶部侧边充分接触，能够实现较佳的支撑和防止变形的效果，对比面与面的接触设置。

更具体的，加强板9的下方还设置有连接板90。

更具体的，下炉体2的侧面上设置有加强筋一91，且加强筋一91的一端与上炉体和下炉体的连接面相接，加强筋一91的另一端与加强板一92相连。

本实用新型实施例1和实施例2中的硅芯铸锭炉用炉体结构结构使得在硅芯铸锭过程中，对炉体内抽真空和通循环水，由于炉体的整体结构以及支撑底板3、加强板4以及加强筋8的设置能够保证铸锭过程中，炉体不变形，强度好，使得更好的铸锭硅芯。硅芯铸锭炉用炉体结构强度强，整体结构即使为长方形的炉体，不仅效率提升而且在工作过程中炉体变形量小，从而使得铸锭成品高。

综上，本炉体结构上不但由内外层、水路隔板、法兰焊接而成，同时还设有加强筋，加强板，连接板等加强结构，上述结构不仅起到了支撑的作用，还能够使得炉体自身强度加强。

现有技术中，在工作状态适，炉体内部为负压状态，内外侧容易变形，采用本炉体结构即使在负压高温状态下，炉体结构也能够保证不变形，适合推广应用。

本文中所描述的仅为本实用新型的优选实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。本实用新型所属领域的技术人员对所描述的具体实施例进行的修改或补充或采用类似的方式替换，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。