一种120KG蓝宝石晶体成长用温场的制作方法

文档序号:21739706发布日期:2020-08-05 01:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种120kg蓝宝石晶体成长用温场,其特征在于:包括籽晶夹头单元、主体单元、内部单元、内部隔热保温单元和外部隔热保温单元;

籽晶夹头单元:籽晶夹头单元包括籽晶夹头;

主体单元:主体单元包括第一上盖和第二上盖,所述第二上盖底部设有外罩,外罩内部顶端设有上隔热屏,上隔热屏内设有连通管;

内部单元:内部单元包括坩埚,所述坩埚顶部设有隔热盖屏,坩埚底部设有坩埚托盘,坩埚托盘底部设有托盘支架,坩埚外侧设有发热体;

内部隔热保温单元:内部隔热保温单元包括基座,基座上设有保温屏,保温屏上设有底隔热屏;

外部隔热保温单元:外部隔热保温单元包括电极,电极底部设有侧隔热屏,侧隔热屏内部设有内胆;

其中:上隔热屏位于电极之间,外罩内部设有侧隔热屏,侧隔热屏内部设有发热体。

2.根据权利要求所述的一种120kg蓝宝石晶体成长用温场,其特征在于:所述上隔热屏的层数为25~30,隔热盖屏的层数为5~10,底隔热屏的层数为15~20。

3.根据权利要求所述的一种120kg蓝宝石晶体成长用温场,其特征在于:所述发热体在坩埚的底部设置不低于3根,且发热体侧面均匀布置。

4.根据权利要求所述的一种120kg蓝宝石晶体成长用温场,其特征在于:所述第一上盖的直径小于第二上盖的直径。


技术总结
本实用新型公开了一种120KG蓝宝石晶体成长用温场,包括籽晶夹头单元、主体单元、内部单元、内部隔热保温单元和外部隔热保温单元,籽晶夹头单元包括籽晶夹头,主体单元包括第一上盖和第二上盖,所述第二上盖底部设有外罩,外罩内部顶端设有上隔热屏,上隔热屏内设有连通管,内部单元包括坩埚,所述坩埚顶部设有隔热盖屏,坩埚底部设有坩埚托盘,坩埚托盘底部设有托盘支架,坩埚外侧设有发热体,内部隔热保温单元包括基座,基座上设有保温屏,保温屏上设有底隔热屏,外部隔热保温单元包括电极,电极底部设有侧隔热屏,侧隔热屏内部设有内胆,降低了热量损失,使得隔热效果更好,可以有效的提高良品率,降低了生产的成本。

技术研发人员:李兴中
受保护的技术使用者:河南晶鸿光电科技有限公司
技术研发日:2019.10.30
技术公布日:2020.08.04
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