1.一种原料供给装置,其将制造玻璃微粒沉积体的原料向燃烧器供给,
该原料供给装置具有:
液体原料罐;
液体原料配管,其一端与所述液体原料罐连接;
液体原料压送泵,其从所述液体原料罐经由所述液体原料配管将液体原料压送至液体用mfc;
压力调整阀,其设置于所述液体原料配管中的所述液体原料压送泵的次级侧;
所述液体用mfc,其设置于所述液体原料压送泵的次级侧,与所述液体原料配管的另一端连接;以及
汽化装置,其与所述液体用mfc的次级侧连接,将所述液体原料汽化,
所述液体原料为硅氧烷,
所述压力调整阀的次级侧的配管设为与比初级侧的压力低的压力的部位连接的构成。
2.根据权利要求1所述的原料供给装置,其中,
所述燃烧器存在多个,分别朝向所述多个燃烧器的多个分支配管的一端分别与所述液体原料配管的另一端连接,
所述液体用mfc分别与所述多个分支配管各自的另一端连接,
在所述多个分支配管中的所述液体用mfc的初级侧分别设置有第二压力调整阀,
所述第二压力调整阀的次级侧的配管设为与比初级侧的压力低的压力的部位连接的构成。
3.一种原料供给方法,其在制造玻璃微粒沉积体时将原料向燃烧器供给,
在该原料供给方法中,
经由一端与收容有液体原料的液体原料罐连接的液体原料配管将所述液体原料通过液体原料压送泵压送至液体用mfc,并且在所述液体原料配管中的所述液体原料压送泵的次级侧设置压力调整阀,将所述压力调整阀的次级侧配管与比初级侧的压力低的压力的部位连接,所述液体原料由液体的硅氧烷构成,
通过所述液体原料压送泵和所述压力调整阀,对所述液体用mfc的初级压力进行调整,
在所述液体用mfc的次级侧将所述液体原料汽化而向所述燃烧器供给。