一种高纯度的电子级一氧化氮生产装置的制作方法

文档序号:24022793发布日期:2021-02-20 20:25阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种高纯度的电子级一氧化氮生产装置,其特征在于:所述的装置包括硫酸储槽(1),所述硫酸储槽(1)通过硫酸管路分别与结构相同的第一反应釜(2)和第二反应釜(3)并联,而在硫酸管路上还设置有硫酸计量泵(4),所述第一反应釜(2)内设置有通过搅拌电机驱动的搅拌叶片,并且在第一反应釜(2)上还设置有安全阀和压力表,所述第一反应釜(2)和第二反应釜(3)的出口端还分别通过反应釜管路与脱水吸收塔(5)的入口端相连,而脱水吸收塔(5)的出口端则通过吸收塔管路与低温动态吸附纯化装置(6)的入口相连,低温动态吸附纯化装置(6)的出口端通过管路依次与氯化钙脱水槽(7)、硅胶脱水槽(8)相连,而硅胶脱水槽(8)的出口端则通过管路分别与两个结构相同的成品瓶组相连,所述的成品瓶组包括成品气钢瓶(9)和成品气铝合金瓶(10),所述的成品气铝合金瓶(10)置于装有液氮的液氮浴槽(11)中,同时成品瓶组还包括能够检测成品气钢瓶(9)和成品气铝合金瓶(10)中压力的压力表(12),所述的装置还包括与第一反应釜(2)、第二反应釜(3)、脱水吸收塔(5)、低温动态吸附纯化装置(6)、氯化钙脱水槽(7)、硅胶脱水槽(8)、成品气钢瓶(9)和成品气铝合金瓶(10)相连通的排空真空管路,所述排空真空管路的末端并联有带有排空管路(13)和带有真空泵(14)的真空管路(15),所述的硫酸管路,反应釜管路,吸收塔管路,低温动态吸附纯化装置(6)与氯化钙脱水槽(7)、硅胶脱水槽(8)之间的管路,硅胶脱水槽(8)与成品瓶组之间的管路,排空真空管路与各装置之间的管路,排空管路(13)和真空管路(15)上均设置有气动阀,所述脱水吸收塔包括支架(5-1),所述支架(5-1)的顶部支撑有罐体(5-2),所述罐体(5-2)的底端连接有带有卸料阀(5-3)的卸料管路(5-4),在罐体(5-2)的底部连接有带有阀的进气管(5-5),所述进气管(5-5)位于罐体(5-2)内腔的部分为环形,在该环形部分上均匀分布有多个进气孔,且进气孔的方向向下,在罐体(5-2)的中部连接有带有阀的碱液管(5-6),在罐体(5-2)的顶部则开设有加料口管路(5-7),所述加料口管路(5-7)的末端还配有法兰盲板(5-8),所述罐体(5-2)内盛装有碱液,碱液上方的腔体中则填充有pp多面空心球(5-9),所述罐体(5-2)的顶部出口通过法兰结构与延长部(5-10)的底端连接,并且在罐体(5-2)的顶部出口处还设置有筛网(5-11),所述延长部(5-10)的中心处设置有中心管(5-12),所述中心管(5-12)的底端开口与罐体(5-2)的顶部出口相连通,在中心管(5-12)外还设置有一个开口方向向下的套管(5-13),所述套管(5-13)通过多个连接件与延长部(5-10)的内壁相连,所述中心管(5-12)的顶端与套管(5-13)的顶部内壁之间留有间隙,所述套管(5-13)的底端与延长部(5-10)的底板之间留有间隙,所述延长部(5-10)的顶端则连接有带有出气阀(5-14)的出气管路(5-15),所述低温动态吸附纯化装置包括第一低温罐(6-1)和第二低温罐(6-2),在第一低温罐(6-1)和第二低温罐(6-2)的内壁处都设置有保温层(6-3),所述第一低温罐(6-1)的内腔中设置有第一纯化罐(6-4),第一低温罐(6-1)上穿接有带有气动阀的第一进气管路(6-5),第一进气管路(6-5)上并联有同样带有气动阀的第一氮气管路(6-6),所述第一进气管路(6-5)的底端与第一纯化罐(6-4)的底部相连通,在第一纯化罐(6-4)内填充有陶瓷吸附剂(6-7),第一纯化罐(6-4)的顶端连接有带有在线式陶瓷气体过滤器(6-8)的第一排气管路(6-9),在第一排气管路(6-9)上同样设置有气动阀,所述第二低温罐(6-2)上穿接有第二进气管路(6-10),所述第二进气管路(6-10)通过
带有气动阀的连接管路与第一排气管路(6-9)相连通,并且第二进气管路(6-10)上还并联有同样带有气动阀的第二氮气管路(6-11),所述第二进气管路(6-10)的底端与位于第二低温罐(6-2)内的盘管(6-12)的顶端开口相连通,而所述盘管(6-12)的底端出口位于第二纯化罐(6-13)内腔的底部,而所述的第二纯化罐(6-13)设置在第二低温罐(6-2)内,第二纯化罐(6-13)内也填充有陶瓷吸附剂(6-7),在第二纯化罐(6-13)的顶端连接有带有在线式陶瓷气体过滤器(6-8)的第二排气管路(6-14),在第二排气管路(6-14)上同样设置有气动阀,并且与第二排气管路(6-14)相并联的设置有带有气动阀的抽真空管路(6-15),所述的装置还包括低温恒温循环机组(6-16),所述低温恒温循环机组(6-16)分别与第一低温罐(6-1)和第二低温罐(6-2)的内腔相连,在低温恒温循环机组(6-16)、第一低温罐(6-1)和第二低温罐(6-2)中循环有介质,所述第一低温罐(6-1)和第二低温罐(6-2)上均设置有带有安全阀(6-17)的安全管路,所述第一纯化罐(6-4)和第二纯化罐(6-13)的底端均连接有排水管路(6-18),在排水管路(6-18)上设置有排水阀(6-19),且排水阀(6-19)和排水管路(6-18)的底端出口均位于第一低温罐(6-1)或第二低温罐(6-2)的外部。
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