一种6-8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法与流程

文档序号:26141780发布日期:2021-08-03 14:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种6-8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)掺铁铌酸锂多晶料的制备:选用高纯4n的li2co3、nb2o5、fe2o3粉体为原料,将上述原料按照一定的质量比称量后配料,将充分混合的原料压成块饼,在1140℃下煅烧12小时发生固相反应后,得到晶体生长所需的掺铁铌酸锂多晶料;

(2)采用提拉法,通过优化生长工艺参数制备高成品率、大尺寸掺铁铌酸锂晶体:提拉法晶体生长炉主要有保温系统、称量系统、旋转提拉系统和控制系统组成。将制备好的多晶料放入铂金坩埚,将坩埚放入特定的温场中,通过特定方式加热使其充分熔化,得到晶体生长熔体,再通过接种、放肩、提拉等长晶工艺生长晶体,将得到的掺铁铌酸锂晶体进行退火、极化,以2℃/min升温至1150-1175℃,并恒温15h后,通电进行极化,极化电流为40-50ma/cm2,半小时后以2℃/min冷却至室温;

(3)将极化后的不同掺铁浓度的铌酸锂晶体通过定向、切割、研磨加工成晶片,并测试晶片的电阻率。

2.根据权利要求1所述的一种6-8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法,其特征在于,所述li2co3、nb2o5、fe2o3的质量比范围为263:1000:(0.1-0.8)。

3.根据权利要求1所述的一种6-8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法,其特征在于,所述的熔体法晶体生长,包括不采用籽晶生长和采用籽晶定向生长;对于采用籽晶定向生长的,籽晶方向为[100]、[010]、[001]或[10·4]方向。

4.根据权利要求1所述的一种6-8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法,其特征在于,所述铂金坩埚的尺寸为直径:210-310,高:75-125,壁厚:0.8-1.5mm。

5.根据权利要求1所述的一种6-8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法,其特征在于,所述特定方式加热为感应线圈加热、硅碳棒电阻加热或硅钼棒电阻加热。

6.根据权利要求1所述的一种6-8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法,其特征在于,所述保温系统的轴向温度梯度为10-30℃/cm。

7.根据权利要求1所述的一种6-8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法,其特征在于,所述晶体生长的参数为:提拉速度为1.5~2.5mm/h,旋转速度为6-9rpm。

8.根据权利要求1所述的一种6-8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法,其特征在于,所述掺铁铌酸锂晶体的直径为6-8英寸。


技术总结
本发明公开了一种6‑8英寸掺铁铌酸锂晶体的生长方法,该方法包括以下步骤:(1)通过调节多晶原料中铁离子的掺杂量,优选铁离子掺杂浓度,制备掺铁的铌酸锂多晶原料;(2)采用晶体提拉炉,通过优化晶体生长工艺参数,生长出6‑8英寸掺铁铌酸锂晶体;(3)多晶原料中铁离子的掺杂浓度越高,生长获得的铌酸锂晶体的电阻率越低。该发明生长的掺铁铌酸锂晶体具有尺寸大、成品率高、电阻率可控等优点。

技术研发人员:吉成;沈丽明
受保护的技术使用者:苏州晶采电子科技有限公司
技术研发日:2021.05.07
技术公布日:2021.08.03
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