一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘的制作方法

1.本实用新型涉及硅单晶生长炉视觉控制系统技术领域，具体为一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘。


背景技术：

2.目前，视觉控制已广泛用于工业生产，双相机视觉控制也已在硅单晶体生长炉上得以应用。通过立体成像，可以得出比以往采用人工测控及单个相机测控更准确的直径测量及获得“液口距”数据。现在普遍的做法是用靶盘模拟硅液相对相机的相对位置，在靶盘上印(刻)制预设图案，用相机采集到的图像数据与预设图案匹配，获得校准数据。
3.然而，硅单晶体生长炉视觉校准时需要外部光源，解决环境光及外部补充光源的亮度不均引起的无法校准及校准误差偏大的问题。


技术实现要素：

4.针对上述存在的技术不足，本实用新型的目的是提供一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘，以解决背景技术中提出的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
6.本实用新型提供一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘，包括图案板、柔光纸、led灯板、边框和led电源，本实施例中所述边框呈矩形框状，所述边框内侧面环绕其一周开设有卡槽，所述边框通过卡槽从上到下依次卡接图案板、柔光纸和led灯板，所述边框的一侧中部开设有插槽，所述图案板呈黑白棋盘格状；
7.所述led灯板上呈矩形阵列分布有多个led灯珠，多个led灯珠通过电源线电性连接，所述led灯板的端部具有正负极接头，所述正负极接头从边框的插槽中伸出，所述正负极接头通过电源线与电源电性连接。
8.优选地，所述边框采用圆形、多边形、菱形、椭圆形或异形。
9.优选地，所述图案板呈17
×
13的黑白棋盘格状，所述图案板的中心设有白色标志圆，所述图案板以中心的白色标志圆作为整个靶盘的原点，所述图案板设有相互垂直的x轴和y轴，所述x轴和y轴上设有刻度。
10.优选地，所述图案板采用透明材质，所述图案板通过喷砂形成具有颜色的黑白棋盘格状。
11.优选地，所述柔光纸采用pet磨砂聚酯薄膜，其单面或双面打毛，本实用新型采用的柔光纸具有打磨均匀、耐高温，耐寒，耐化学腐蚀，平整度好，热收缩小，接着性好、易于印刷、易于成型，耐冲压、极好的油墨附着力和再现性，显色真实，视觉效果好的特点。
12.优选地，所述正负极接头通过电源线依次与可调电阻、控制器和电源电性连接。通过控制器控制可调电阻在一定范围内调控电阻大小，从而控制led灯板由明到暗自动调节变化，用户可根据使用需求任意调节亮度，照明时亮度扩散均匀，提高照明效果。led灯板方便调节亮度，避免led灯板一直维持高亮，浪费能源，节能环保。
13.优选地，所述柔光纸和led灯板之间增设有机玻璃板，通过增设有机玻璃板，以增加通光的均匀性。
14.优选地，所述led灯珠采用冷色光led、暖色光led或自然光led。
15.优选地，所述led灯珠采用暖色光led，所述暖色光led的色温在1750k以下。
16.优选地，所述靶盘的尺寸为200mm*300mm。
17.本实用新型的有益效果在于：
18.(1)本实用新型以led电源为led灯板提供电源动力，led灯板为主动光源，能模拟实际硅熔液的发光方式，无需外部光源照射。柔光纸可以将点状的led灯珠发出的光线均匀化，校准时无反射光，发光均匀，有利于相机的视觉校准，保障了硅单晶体生长炉的长晶生产，有效解决外部光源照射在图案板上的照明方式能带来反射，从而引起的图案显示反光强烈、明暗不均等问题。
19.(2)本实用新型通过控制器控制可调电阻在一定范围内调控电阻大小，从而控制led灯板亮度由明到暗自动调节变化，用户可根据使用需求任意调节亮度，照明时亮度扩散均匀，提高照明效果。led灯板方便调节亮度，避免led灯板一直维持高亮，浪费能源，节能环保。
20.(3)本实用新型结构简单，成本低，使用方便，适于推广。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本实用新型实施例提供的一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘分解状态下的侧视图；
23.图2为本实用新型实施例提供的一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘分解状态下的分解图；
24.图3为本实用新型实施例提供的一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘分解状态下的俯视图。
25.附图标记说明：
26.1-图案板、2-柔光纸、3-led灯板、4-边框、5-led电源、6-控制器、7-可调电阻、8-有机玻璃板、41-卡槽、42-插槽、31-led灯珠、32-正负极接头。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是
为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
29.实施例：
30.如图1-3所示，本实用新型提供了一种用于硅单晶体生长炉的视觉校准靶盘，包括图案板1、柔光纸2、led灯板3、边框4和led电源5，所述边框4采用圆形、矩形、多边形、菱形、椭圆形或异形，本实施例中所述边框4呈矩形框状，所述边框4内侧面环绕其一周开设有卡槽41，所述边框4通过卡槽41从上到下依次卡接图案板1、柔光纸2和led灯板3，所述边框4的一侧中部开设有插槽42。
31.所述图案板1呈17
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13的黑白棋盘格状，所述图案板1的中心设有白色标志圆，所述图案板1以中心的白色标志圆作为整个靶盘的原点，所述图案板1设有相互垂直的x轴和y轴，所述x轴和y轴上设有刻度。所述图案板1采用透明有机玻璃材质，所述图案板1通过喷砂形成具有颜色的黑白棋盘格状。
32.所述柔光纸2采用pet磨砂聚酯薄膜，其单面或双面打毛，本实用新型采用的柔光纸具有打磨均匀、耐高温，耐寒，耐化学腐蚀，平整度好，热收缩小，接着性好、易于印刷、易于成型，耐冲压、极好的油墨附着力和再现性，显色真实，视觉效果好的特点。
33.所述led灯板3上呈矩形阵列分布有多个led灯珠31，多个led灯珠31通过电源线电性连接，所述led灯板3的端部具有正负极接头32，所述正负极接头32从边框4的插槽42中伸出，所述正负极接头32通过电源线依次与可调电阻7、控制器6和led电源5电性连接。通过控制器6控制可调电阻7在一定范围内调控电阻大小，从而控制led灯板3由明到暗自动调节变化，用户可根据使用需求任意调节亮度，照明时亮度扩散均匀，提高照明效果。led灯板3方便调节亮度，避免led灯板3一直维持高亮，浪费能源，节能环保。
34.所述led灯珠31采用冷色光led、暖色光led或自然光led。
35.进一步地，所述led灯珠31采用暖色光led，所述暖色光led的色温在1750k以下。
36.进一步地，所述柔光纸2和led灯板3之间增设有机玻璃板8，通过增设有机玻璃板8，以增加通光的均匀性。
37.进一步地，所述靶盘的尺寸为200mm*300mm。
38.本实用新型以led电源5为led灯板3提供电源动力，led灯板3为主动光源，能模拟实际硅熔液的发光方式，无需外部光源照射。有机玻璃板8和柔光纸2可以将点状的led灯珠31发出的光线均匀化，有效解决外部光源照射在图案板上的照明方式能带来反射，从而引起的图案显示反光强烈、明暗不均等问题。
39.同时通过控制器6控制可调电阻7在一定范围内调控电阻大小，从而控制led灯板3亮度由明到暗自动调节变化，用户可根据使用需求任意调节亮度，照明时亮度扩散均匀，提高照明效果。led灯板3方便调节亮度，避免led灯板3一直维持高亮，浪费能源，节能环保。
40.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。