一种异形石墨坩埚的制作方法

文档序号:29786354发布日期:2022-04-22 13:19阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种异形石墨坩埚,其特征在于,包括:坩埚锅体和盖合于坩埚锅体上的坩埚盖,坩埚锅体包括上部的上圆柱部、中部的锥台部、下部的下圆柱部和位于坩埚锅体腔体内的坩埚料仓,坩埚料仓包括圆柱形坩埚料仓和异形坩埚料仓。2.根据权利要求1所述一种异形石墨坩埚,其特征在于,所述异形坩埚料仓呈正五边棱台形状。3.根据权利要求1所述一种异形石墨坩埚,其特征在于,所述锥台部为直圆锥台,直圆锥台母线与水平线夹角为15
°
至45
°
。4.根据权利要求1所述一种异形石墨坩埚,其特征在于,所述圆柱形坩埚料仓的圆柱直径为150mm、壁厚为10mm。5.根据权利要求1所述一种异形石墨坩埚,其特征在于,所述坩埚料仓高度为200至250mm。6.根据权利要求1所述一种异形石墨坩埚,其特征在于,所述坩埚盖包括搭接部和盖合部,盖合部为内凹的圆柱体,圆柱体外直径为150mm,盖合部凹形上部沿径向向外凸出10mm,形成搭接部。

技术总结
本实用新型公开一种异形石墨坩埚,包括:包括坩埚锅体和坩埚盖,坩埚盖盖合于坩埚锅体上,坩埚锅体包括上部的上圆柱部、中部的锥台部、下部的下圆柱部和位于坩埚锅体腔体内用于存放生长晶体的坩埚料仓,坩埚料仓包括圆柱形坩埚料仓和异形坩埚料仓,所述异形坩埚料仓呈正五边棱台形状。本实用新型的优越效果在于,所述异形石墨坩埚的坩埚料仓形状和所需生长的晶体形状基本一致,生长出的异形晶体加工磨削减少,节约原材料,提高加工效率;并且生长出的异形晶体内部晶格排列规则,成品内应力小。成品内应力小。成品内应力小。


技术研发人员:谢讯 刘建强 高峰 李锦 刘晓阳 薛亚鹏
受保护的技术使用者:北京首量科技股份有限公司
技术研发日:2021.10.21
技术公布日:2022/4/21
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