源4，在该其他路径产生朝向外部的空气流动。由此，也可以防止碎玻璃从该其他路径进入到封闭空间。
[0083]而且，在本实施方式中，供气口 27d、27e配置在外壳27的下部、也就是外壳27的从Z轴方向中央靠近轮保持器222的位置。因此，即便在靠近轮保持器222的位置、也就是靠近产生碎玻璃位置的位置产生间隙，也可以增强从该间隙喷出的空气的流动。由此，可有效地防止碎玻璃从碎玻璃的飞散量特别容易变多的轮保持器222附近的间隙进入到封闭空间。
[0084]而且，由于两个供气口 27d、27e分别形成在外壳27的右侧面部27b及左侧面部27c，因此可根据正压源4的位置，将适当的供气口 27d、27e用于空气供给。由此，可使对供气口 27d、27e进行的供气线的配管变简单。例如，在上下配置一对刻划头2的情况下，配置在上侧的刻划头2与配置在下侧的刻划头2成为相互朝向相反的关系。在本实施方式中，在右侧面部27b及左侧面部27c分别设置供气口 27d、27e，因此对于上下的刻划头2，可选择使用靠近正压源4侧的供气口 27d、27e。
[0085]以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不受所述实施方式任何限制，而且，本发明的实施方式除以上所述以外也可以进行各种变更。
[0086]例如，在所述实施方式中，供气口 27d、27e分别形成在外壳27的右侧面部27b及左侧面部27c，但供气口的配置位置并不限定于此。例如，也可以在外壳27的前表面部27a设置供气口，或者还可以在基座板23、顶板24或底板25设置供气口。
[0087]而且，在所述实施方式中，橡胶框26以将基座板23、顶板24及底板25连接的方式配置，但橡胶框26的配置部位并不限于此。例如，橡胶框26也可以只配置在碎玻璃的飞散量在周围特别容易变多的底板25，或者还可以只配置在底板25及基座板23。在橡胶框26只配置在底板25的情况下，在基座板23与外壳27之间、及顶板24与外壳27之间会产生间隙。然而，由于在这些间隙从正压源4供给的空气向外部流动，因此可抑制碎玻璃从该间隙进入到封闭空间内。但是，在此情况下，当正压源4为非作动状态时、或如空气流动弱时，会引起碎玻璃从间隙进入到封闭空间内。由此，优选为如所述实施方式那样在基座板23及顶板24也配置橡胶框26而提高封闭空间的气密性。
[0088]进而，在所述实施方式中，通过圆筒凸轮212及凸轮从动件213，将伺服马达211的旋转方向的驱动力转换成升降方向(Z轴方向)的驱动力，但收容在封闭空间的升降机构的构成并不限于此。例如，也可以将使用滚珠螺杆的升降机构收容在封闭空间，还可以使用其他构成的升降机构。
[0089]此外，在使用滚珠螺杆的升降机构中，滚珠螺杆包含滚珠螺杆螺帽及螺旋轴。滚珠螺杆螺帽固定在按压部214，螺旋轴连结于所述实施方式中的伺服马达211的输出轴。如果使伺服马达211的输出轴旋转，则连结于输出轴的螺旋轴旋转，从而滚珠螺杆螺帽沿着螺旋轴的轴向(Z轴方向)升降。由此，固定滚珠螺杆螺帽的按压部214沿上下方向(Z轴方向)被施压。这样一来，升降机构21可变更为各种机构。
[0090]而且，在所述实施方式中，基座板23、顶板24及底板25互为独立个体，但本发明的实施方式并不限于该构成。例如，也可以使基座板23与顶板24及底板25由一个构件一体地形成，或者也可以使基座板23与顶板24由一个构件一体地形成，或者还可以使基座板23与底板25由一个构件一体地形成。这样一来，基座板23与顶板24及底板25连接的构成可进行各种变更。
[0091]而且，在所述实施方式中，设置了橡胶框26作为密封构件，但密封构件并不限于此。例如，也可以通过以跨及外壳27的周缘与基座板23、顶板24及底板25的上表面的方式贴附胶带，而将外壳27与基座板23、顶板24及底板25之间的间隙堵住。在此情况下，密封构件为胶带。还可以通过使用其他密封构件的方法来提高封闭空间的气密性。
[0092]而且，在所述实施方式中，作为在脆性材料基板G的表面形成划线的切割器，使用绕支轴旋转的刀轮224，但形成划线的切割器并不限于此。例如，也可以将本发明应用在使用如下切割器的刻划头，该切割器一边压接在脆性材料基板G的表面一边在不旋转的情况下移动。
[0093]此外，本发明的实施方式可在权利要求书所示的技术思想的范围内适当地进行各种变更。
[0094][符号说明]
[0095]I 刻划装置
[0096]2 刻划头
[0097]4 正压源
[0098]5 移动机构
[0099]11 平台
[0100]15 导杆
[0101]16滑动单元
[0102]17 马达
[0103]21升降机构
[0104]222轮保持器
[0105]224刀轮
[0106]23基座板
[0107]24顶板
[0108]25底板
[0109]26橡胶框
[0110]27外壳
【主权项】
1.一种刻划头，其特征在于包含: 机构部，一端具有刀具保持器，并且使该刀具保持器升降； 壁部，将供所述机构部配置的空间划分为封闭空间；以及 供气口，设置在所述壁部，用以对所述封闭空间供给气体。2.根据权利要求1所述的刻划头，其特征在于: 所述壁部包含: 基座板； 顶板，以连接于所述基座板的方式设置； 底板，以连接于所述基座板的方式设置，与所述顶板隔开特定间隔而对向；以及 外壳，分别抵接于所述顶板、所述底板及所述基座板而形成所述封闭空间；并且 在所述顶板与底板之间设置所述机构部， 在所述外壳设置有所述供气口。3.根据权利要求2所述的刻划头，其特征在于: 在所述外壳与所述顶板相互抵接的抵接部、及所述外壳与所述底板相互抵接的抵接部中的至少靠近所述刀具保持器一方的抵接部，设置有用以提高所述封闭空间的气密性的密封构件。4.根据权利要求2或3所述的刻划头，其特征在于: 在所述外壳与所述基座板相互抵接的抵接部，设置有用以提高所述封闭空间的气密性的密封构件。5.根据权利要求1所述的刻划头，其特征在于: 所述供气口配置在从所述壁部的所述机构部的升降方向的中央偏向靠近所述刀具保持器一侧的位置。6.一种刻划装置，其包含: 根据权利要求1至5中任一项所述的刻划头； 支撑部，支撑切断对象的基板； 移动机构，使所述刻划头相对于由所述支撑部支撑的所述基板移动；以及 正压源，连接于所述供气口，对所述封闭空间供给气体。
【专利摘要】本发明提供一种可抑制碎玻璃混入到刻划头的机构部的刻划头以及刻划装置。刻划头(2)包含：升降机构(21)，一端具有轮保持器(222)，并且使该轮保持器(222)升降；基座板(23)、顶板(24)、底板(25)及外壳(27)，将供升降机构配置的空间划分为封闭空间；以及供气口(27d、27e)，分别设置在外壳(27)的右侧面部(27b)及左侧面部(27c)，用以对所述封闭空间供给气体。
【IPC分类】C03B33/10
【公开号】CN104909553
【申请号】CN201510041061
【发明人】成尾徹
【申请人】三星钻石工业股份有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年1月27日