刻划头以及刻划装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于在基板上形成划线的刻划头以及具有刻划头的刻划装置。
【背景技术】
[0002]以往，玻璃基板等脆性材料基板的切断是通过在基板表面形成划线的刻划步骤、以及沿着所形成的划线对基板表面施加特定的力的断裂步骤而进行。在刻划步骤中，使刻划轮的刀尖一边压抵在基板表面，一边沿着特定的线移动。为了形成划线，使用具有刻划头的刻划装置。
[0003]刻划装置包含例如载置基板的平台，使刻划头相对于载置在该平台上的基板沿水平方向及上下方向移动。在刻划头的下端安装着轮保持器，具有刀尖的刀轮以相对于该轮保持器自由旋转的方式被保持(例如参照专利文献I)。由外壳包围轮保持器的升降机构的周围的构成也已众所周知(专利文献2)。
[0004][【背景技术】文献]
[0005][专利文献]
[0006][专利文献I]日本再公表专利W02005/063460号公报
[0007][专利文献2]日本专利特开2013-23404号公报
【发明内容】
[0008][发明要解决的问题]
[0009]通常来说，在刻划装置中，当形成划线时会由基板产生微小的碎玻璃(碎肩)。如果碎玻璃混入到刻划头的机构部，则有刻划头的动作变得不稳定的担忧。特别是，如果碎玻璃混入到用以使刀轮升降的驱动部分，则有妨碍刀轮精确地升降而影响刻划动作的担忧。
[0010]鉴于该问题，本发明的目的在于提供一种能够抑制碎玻璃混入到刻划头的机构部的刻划头以及刻划装置。
[0011][解决问题的技术手段]
[0012]本发明的第一态样涉及一种刻划头。第一态样的刻划头包含:机构部，一端具有刀具保持器，并且使该刀具保持器升降；壁部，将供所述机构部配置的空间划分为封闭空间；以及供气口，设置在所述壁部，用以对所述封闭空间供给气体。
[0013]根据本实施方式的刻划头，如果从供气口供给气体而使封闭空间相对于外部大气成为正压，则会从封闭空间的间隙向外部喷出气体。因此，可防止刻划动作时由基板产生的碎玻璃从封闭空间的间隙进入到封闭空间内。由此，可抑制碎玻璃混入到刻划头的机构部。
[0014]在第一态样的刻划头中，可构成为，所述壁部包含:基座板；顶板，以连接于所述基座板的方式设置；底板，以连接于所述基座板的方式设置，与所述顶板隔开特定间隔而对向；以及外壳，分别抵接于所述顶板、所述底板及所述基座板而形成所述封闭空间。在该构成中，可在所述顶板与底板之间设置所述升降机构。而且，可在所述外壳设置所述供气口。
[0015]在该构成中，刻划头可构成为，在所述外壳与所述顶板相互抵接的抵接部及所述外壳与所述底板相互抵接的抵接部中的至少靠近所述刀具保持器一方的抵接部，设置用以提高所述封闭空间的气密性的密封构件。
[0016]在外壳与顶板相互抵接的抵接部、或外壳与底板相互抵接的抵接部，容易产生间隙。因此，在停止经由供气口供气的情况下，容易引起碎玻璃或尘埃等从该间隙进入到内部的情况，而且，在供气时也有碎玻璃或尘埃等进入的担心。特别是，由于靠近刀具保持器一方的抵接部靠近碎玻璃产生的位置，因此更容易发生碎玻璃进入。相对于此，在所述构成中，由于在靠近刀具保持器一方的抵接部设置密封构件，因此至少在该抵接部几乎不会产生间隙。由此，可更加抑制碎玻璃进入到机构部。此外，密封构件优选为除了设置在靠近刀具保持器一方的抵接部以外，还设置在远离刀具保持器一方的抵接部。由此，可进一步抑制碎玻璃进入到机构部。
[0017]而且，在所述构成中，刻划头可构成为，在所述外壳与所述基座板相互抵接的抵接部，设置用以提高所述封闭空间的气密性的密封构件。由此，可进一步抑制碎玻璃进入到机构部。
[0018]在第一态样的刻划头中，所述供气口优选为配置在自所述壁部的所述机构部的升降方向的中央偏向靠近所述刀具保持器一侧的位置。由此，即便在靠近刀具保持器的位置、也就是靠近碎玻璃产生位置的位置产生间隙，也能够增强从该间隙喷出的空气的流动。由此，可进一步抑制碎玻璃进入到机构部。
[0019]本发明的第二态样涉及一种刻划装置。第二态样的刻划装置包含:所述第一态样的刻划头；支撑部，支撑切断对象的基板；移动机构，使所述刻划头相对于由所述支撑部支撑的所述基板移动；以及正压源，连接于所述供气口，对所述封闭空间供给气体。
[0020]根据本态样的刻划装置，可发挥与所述第一态样的刻划头相同的作用及效果。
[0021][发明的效果]
[0022]如上所述，根据本发明，可提供一种能够抑制碎玻璃混入到刻划头的升降机构的刻划头以及刻划装置。
[0023]本发明的效果及意义通过以下所示的实施方式的说明而更加明确。
[0024]然而，以下所示的实施方式仅为实施本发明时的一个示例，本发明并不受以下实施方式中所记载的内容任何限制。
【附图说明】
[0025]图1是表示实施方式的刻划装置的构成的示意图。
[0026]图2是表示实施方式的刻划头的构成的局部分解立体图。
[0027]图3 (a)、(b)是表示实施方式的升降机构与划线形成机构的构成的立体图。
[0028]图4(a)、(b)是表示实施方式的升降机构与划线形成机构的构成的侧视图。
[0029]图5是表示实施方式的划线形成机构下降时的刻划头的下部的构成的侧视图。
[0030]图6是表示实施方式的刻划头的构成的立体图。
[0031]图7(a)、(b)是表示实施方式的刻划装置的主要部分构成的框图、及表示刻划装置的动作的流程的流程图。
[0032]图8是表示实施方式的刻划头的构成的侧视图。
[0033]图9是表示实施方式的划线形成机构下降时的刻划头的下部的构成的侧视图。
【具体实施方式】
[0034]以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。此外，为方便起见，在各图中附记相互正交的X轴、Y轴及Z轴。X-Y平面平行于水平面，Z轴方向为铅垂方向。
[0035]在本实施方式中，平台11相当于权利要求书中所记载的“支撑部”，升降机构21相当于权利要求书中所记载的“机构部”。而且，橡胶框26相当于权利要求书中所记载的“密封构件”。而且，轮保持器222相当于权利要求书中所记载的“刀具保持器”。然而，并不因所述权利要求书与本实施方式的对应关系而将权利要求书的发明限定于本实施方式。
[0036]图1是表示刻划装置I的构成的示意图。
[0037]刻划装置I包含:平台11、导轨12a、12b、滚珠螺杆13、柱14a、14b、导杆15、滑动单元16、马达17、CO) (Charge Coupled Device，电荷親合元件)相机18a、18b、以及刻划头2。
[0038]平台11构成为可沿水平面旋转。在平台11上设置真空抽吸器件(未图示)。真空抽吸器件将载置在平台11的脆性材料基板G (例如玻璃板)固定在平台11。导轨12a、12b支撑平台11使之能够沿Y轴方向移动。导轨12a、12b设置为相互平行。滚珠螺杆13由马达(未图示)驱动，而使平台11沿着导轨12a、12b移动。
[0039]柱14a、14b隔着导轨12a、12b垂直设置在刻划装置I的底座。导杆15以平行于X轴方向的方式，架