用于玻璃溅射单元的冷却门机构的制作方法

文档序号:10587152阅读:413来源:国知局
用于玻璃溅射单元的冷却门机构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于玻璃溅射单元的冷却门机构,其中,所述冷却门机构包括表面设有开口的冷却板,所述冷却板的表面上设有滑道,所述滑道上了滑动的设有盖门,当滑动所述盖门可以将所述冷却板上的开口封闭,所述盖门为双层结构,所述双层结构内设置有多根通过软管首尾相互连通的冷却管,位于两端的所述冷却管分别通过输水管和出水管与水泵连接。解决了普通的溅射单元的侧板上会设有开口,开口上设有盖门,一般的盖门上没有冷却机构,导致盖门散热效果差,影响到玻璃镀膜的质量的问题。
【专利说明】
用于玻璃溅射单元的冷却门机构
技术领域
[0001]本发明涉及玻璃镀膜设备,具体地,涉及用于玻璃溅射单元的冷却门机构。
【背景技术】
[0002]在玻璃镀膜工艺中,真空镀膜是一种常见的方法,其主要是在真空室内将材料的原子从加热源离析出来打到玻璃的表面上。玻璃的真空镀膜是在溅射单元内进行的,根据镀膜的技术需要,在工作时,溅射单元的侧板和底板都需要进行冷却处理,冷却处理如果达不到技术要求会严重影响玻璃镀膜的质量,也会严重损害溅射单元内部的设备,普通的溅射单元的侧板上会设有开口,开口上设有盖门,一般的盖门上没有冷却机构,导致盖门散热效果差,影响到玻璃镀膜的质量。
[0003]因此,提供一种盖门上设有冷却机构,加快盖门散热,大大提高后续玻璃镀膜的质量的冷却门机构是本发明亟需解决的问题。

【发明内容】

[0004]本发明的目的是提供一种用于玻璃溅射单元的冷却门机构,解决了普通的溅射单元的侧板上会设有开口,开口上设有盖门,一般的盖门上没有冷却机构,导致盖门散热效果差,影响到玻璃镀膜的质量的问题。
[0005]为了实现上述目的,本发明提供了一种用于玻璃溅射单元的冷却门机构,其中,所述冷却门机构包括表面设有开口的冷却板,所述冷却板的表面上设有滑道,所述滑道上了滑动的设有盖门,当滑动所述盖门可以将所述冷却板上的开口封闭,所述盖门为双层结构,所述双层结构内设置有多根通过软管首尾相互连通的冷却管,位于两端的所述冷却管分别通过输水管和出水管与水栗连接。
[0006]优选地,所述盖门上固定有固定件,所述冷却板上固定有电机,所述电机的转子上固定有转盘,所述电机上还设置有连杆,所述连杆的一端固定在所述转盘上,另一端与所述固定件连接,使得所述转盘转动可以带动所述盖门在所述滑道上滑动。
[0007]优选地,所述冷却板上设置有第一收卷器和第二收卷器,且所述输水管部分缠绕在所述第一收卷器上,所述出水管部分缠绕在所述第二收卷器上。
[0008]优选地,所述盖门的四周固定有密封橡胶条。
[0009 ]优选地,所述盖门的表面涂覆有散热硅胶层。
[0010]优选地,所述滑道水平设置于所述开口的上方,且所述盖门的上端设置有滚轮,且所述滚轮至少部分卡合在所述滑道内,使得所述滚轮可以在所述滑道上滑动。
[0011]优选地,所述滚轮的数量为2-4个。
[0012]根据上述技术方案,本发明提供了一种用于玻璃溅射单元的冷却门机构,其中,所述冷却门机构包括表面设有开口的冷却板,所述冷却板的表面上设有滑道,所述滑道上了滑动的设有盖门,当滑动所述盖门可以将所述冷却板上的开口封闭,所述盖门为双层结构,所述双层结构内设置有多根通过软管首尾相互连通的冷却管,位于两端的所述冷却管分别通过输水管和出水管与水栗连接。和普通的盖门不同,本发明提供的冷却门机构中的盖门内设有冷却管,通过冷却液循环冷却,加速了盖门的冷却,可以大大提高后续玻璃镀膜的质量。
[0013]本发明的其他特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。
【附图说明】
[0014]附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0015]图1是本发明提供的一种用于玻璃溅射单元的冷却门机构的结构示意图。
[0016]附图标记说明
[0017]卜冷却板2-滑道
[0018]3-固定件4-滚轮
[0019]5-连杆6-转盘
[0020]7-电机8-输水管
[0021]9-出水管10-水栗
[0022]11-冷却管12-盖门
【具体实施方式】
[0023]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
[0024]如图1所示,本发明提供了一种用于玻璃溅射单元的冷却门机构,其中,所述冷却门机构包括表面设有开口的冷却板I,所述冷却板I的表面上设有滑道2,所述滑道2上了滑动的设有盖门12,当滑动所述盖门12可以将所述冷却板I上的开口封闭,所述盖门12为双层结构,所述双层结构内设置有多根通过软管首尾相互连通的冷却管U,位于两端的所述冷却管11分别通过输水管8和出水管9与水栗10连接,和普通的盖门不同,本发明提供的冷却门机构中的盖门内设有冷却管,通过冷却液循环冷却,加速了盖门的冷却,可以大大提高后续玻璃镀膜的质量。
[0025]在本发明的一种优选的实施方式中,为了使得盖门12的开关闭合实现自动化,提高盖门12的密封性,所述盖门12上固定有固定件3,所述冷却板I上固定有电机7,所述电机7的转子上固定有转盘6,所述电机7上还设置有连杆5,所述连杆5的一端固定在所述转盘6上,另一端与所述固定件3连接,使得所述转盘6转动可以带动所述盖门12在所述滑道2上滑动。
[0026]在本发明的一种更为优选的实施方式中,为了防止输水管8和出水管9在盖门12开关闭合时断裂或者相互缠绕,影响盖门12的开关,所述冷却板I上设置有第一收卷器和第二收卷器,且所述输水管8部分缠绕在所述第一收卷器上,所述出水管9部分缠绕在所述第二收卷器上。
[0027]在本发明的一种优选的实施方式中,为了提高盖门12的密封性,所述盖门12的四周固定有密封橡胶条12。
[0028]在本发明的一种更为优选的实施方式中,为了进一步提高盖门12的散热性能,所述盖门12的表面涂覆有散热硅胶层。
[0029]在本发明的一种优选的实施方式中,为了使得盖门12更为顺畅的在滑道2上滑动,所述滑道2水平设置于所述开口的上方,且所述盖门12的上端设置有滚轮4,且所述滚轮4至少部分卡合在所述滑道2内,使得所述滚轮4可以在所述滑道2上滑动,优选的,所述滚轮4的数量为2-4个。
[0030]以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式,但是,本发明并不限于上述实施方式中的具体细节,在本发明的技术构思范围内,可以对本发明的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本发明的保护范围。
[0031]另外需要说明的是,在上述【具体实施方式】中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合,为了避免不必要的重复,本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
[0032]此外,本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本发明的思想,其同样应当视为本发明所公开的内容。
【主权项】
1.一种用于玻璃溅射单元的冷却门机构,其特征在于,所述冷却门机构包括表面设有开口的冷却板(I),所述冷却板(I)的表面上设有滑道(2),所述滑道(2)上了滑动的设有盖门(12),当滑动所述盖门(12)可以将所述冷却板(I)上的开口封闭,所述盖门(12)为双层结构,所述双层结构内设置有多根通过软管首尾相互连通的冷却管(U),位于两端的所述冷却管(11)分别通过输水管(8)和出水管(9)与水栗(10)连接。2.根据权利要求1所述的冷却门机构,其特征在于,所述盖门(12)上固定有固定件(3),所述冷却板(I)上固定有电机(7),所述电机(7)的转子上固定有转盘(6),所述电机(7)上还设置有连杆(5),所述连杆(5)的一端固定在所述转盘(6)上,另一端与所述固定件(3)连接,使得所述转盘(6)转动可以带动所述盖门(12)在所述滑道(2)上滑动。3.根据权利要求2所述的冷却门机构,其特征在于,所述冷却板(I)上设置有第一收卷器和第二收卷器,且所述输水管(8)部分缠绕在所述第一收卷器上,所述出水管(9)部分缠绕在所述第二收卷器上。4.根据权利要求1所述的冷却门机构,其特征在于,所述盖门(12)的四周固定有密封橡胶条(12)。5.根据权利要求1所述的冷却门机构,其特征在于,所述盖门(12)的表面涂覆有散热硅胶层。6.根据权利要求1所述的冷却门机构,其特征在于,所述滑道(2)水平设置于所述开口的上方,且所述盖门(12)的上端设置有滚轮(4),且所述滚轮(4)至少部分卡合在所述滑道(2)内,使得所述滚轮(4)可以在所述滑道(2)上滑动。7.根据权利要求6所述的冷却门机构,其特征在于,所述滚轮(4)的数量为2-4个。
【文档编号】C03C17/00GK105948524SQ201610269668
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年4月27日
【发明人】金海涛, 薛辉, 昌江, 任俊春
【申请人】芜湖真空科技有限公司
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