[0029]需要说明的是，喷灯导轨1一般采用高精度的不锈钢导轨，其精度为< 5ym/m，高精度的导轨使得0VD沉积工艺环境的稳定，减少产品的不合格率或报废率，提高产品质量。
[0030]L型气封结构5优选采用钛金属制成的具有空腔的L型壳体。挡板7优选采用钛金属制成的具有空腔的矩形壳体。L型气封结构5与挡板7能够隔绝0VD沉积时的强酸性、高温环境。
[0031]滑动模块2可以沿喷灯导轨1上来回运动，一般可以将喷灯导轨1制成燕尾状结构，在滑动模块2上制出与之配合的燕尾槽，具有限位作用，滑动稳定可靠。
[0032]其中，所述喷灯基座3上的气体管路9与喷灯4的主管路采用软管连接，布管灵活，喷灯安装方便。
[0033]其中，所述L型气封结构5为具有气封空腔14的中空结构，其上的所述气封氮气接口 6及气封端面小孔10均与所述气封空腔14连通。
[0034]其中，所述挡板7为具有挡板空腔13的中空结构，其上的所述挡板氮气接口8及挡板端面小孔12均与所述挡板空腔13连通。
[0035]其中，所述挡板7与所述长卧臂16之间的气帘间隙为2cm?2.5cm。既可以保证喷灯基座3顺利的在其间移动，又可以保证较佳的气封效果。
[0036]下面提供一种利用上述在0VD沉积过程中保护喷灯导轨的装置防止喷灯导轨被腐蚀的方法，包括以下步骤:
[0037]①在0VD沉积开始前，在L型气封结构5、挡板7与喷灯导轨1三者间形成的保护腔体11内通入N2;
[0038]②控制步骤①中犯的流量，使保护腔体11内形成大于0VD沉积腔内压力的正压环境。
[0039]通常情况下，所述保护腔体11内的压力最好稳定的维持在0?10Pa。
[0040]上述方法使保护腔体11内维持一个相对稳定的微正压环境，压力控制一般为0?10pa左右，由于0VD沉积腔内的压力一般控制在-30?-40pa左右，所以在保护腔体11和0VD沉积腔之间存在一个压力差，能有效地避免0VD沉积腔内的酸性气体扩散到空腔结构内，防止腐蚀喷灯导轨。
[0041]下面提供另外一种在0VD沉积过程中保护喷灯导轨的装置防止喷灯导轨被腐蚀的方法:
[0042]在0VD沉积开始前，通过气封氮气接口 6向L型气封结构5内通入氮气，氮气经过L型气封结构5的气封空腔14稳压后，经气封端面小孔10吹出，使L型气封结构5、挡板7和喷灯基座3之间形成第一道气帘;通过挡板氮气接口 8向挡板7内通入氮气，氮气经过挡板7的挡板空腔13稳压后，经挡板端面小孔12吹出，使挡板7、L型气封结构5和喷灯基座3之间形成第二道气帘。
[0043]通过这两道气帘，有效的将保护腔体11内部环境与外部环境隔绝，使喷灯导轨1处在与外部强酸性、高温环境隔绝的密封空腔内，从而防止喷灯导轨1与酸性气体的接触，有效的保护喷灯导轨1，因此，喷灯导轨1不会被腐蚀。
[0044]为保证通入氮气后对沉积腔内的强酸性、高温环境的隔绝效果，最好同时向所述气封氮气接口 6和所述挡板氮气接口 8内通入氮气，这样，挡板7、L型气封结构5和喷灯基座3之间形成了两道气帘，极大的保证了隔绝效果。
[0045]利用本实用新型提供的保护喷灯导轨的装置进行0VD沉积的过程如下:
[0046]0VD沉积腔体清洁、母棒安装以及准直等就绪以后，打开气体阀门，从气体管路9中通入氢气(H2)、氧气(02)，然后点火，使氢气(H2)燃烧，待氢气(H2 )、氧气(02)流量稳定后，调节0VD沉积腔体内的压力，使其处于微负压状态，一般控制在-30?-40pa左右，以上完成0VD沉积的准备工作。
[0047]0VD沉积开始时，打开气体阀门，从气体管路9中通入四氯化硅(SiCl4)、四氯化锗(GeCl4)蒸汽，四氯化硅(SiCl4)、四氯化锗(GeCl4)蒸汽从喷灯4中喷出以后，与氢氧焰发生火焰水解反应，生成玻璃微粒。
[0048]传统0VD沉积设备的喷灯导轨是裸露在沉积腔内，其结构如图1所示，只有导轨表面的一层润滑油用作防护。
[0049]本实用新型中，是将喷灯导轨1与0VD沉积腔内的强酸性、高温环境通过挡板7、L型气封结构5以及二者通入氮气后形成的气帘隔绝，保护喷灯导轨1不被腐蚀或生长锈斑，不仅能大大的延长喷灯导轨1的使用寿命，减少设备的停机时间，降低生产成本，而且，也能在较长的时间内，保证喷灯导轨1的精度，从而，确保0VD沉积工艺环境的稳定性，减少产品的不合格率或报废率，提高产品质量。
[0050]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种在OVD沉积过程中保护喷灯导轨的装置，其特征在于:包括L型气封结构、挡板、以及滑动安装在喷灯导轨上的滑动模块、以及安装在滑动模块上的喷灯基座;所述挡板设置在所述喷灯导轨一侧;所述L型气封结构的短立臂设置在所述喷灯导轨异于设置有挡板的一侧，其长卧臂朝所述挡板方向横穿入所述喷灯基座的凹槽内；所述长卧臂朝向挡板的一端设有一排气封端面小孔，在所述挡板朝向所述L型气封结构的一侧对应所述气封端面小孔的位置设有一排挡板端面小孔;所述挡板与所述长卧臂之间留有气帘间隙；所述气封端面小孔均与所述L型气封结构上设置的气封氮气接口连通;所述挡板端面小孔均与所述挡板上设置的挡板氮气接口连通;所述喷灯基座内设有与所述喷灯连通的气体管路。2.根据权利要求1所述的一种在0VD沉积过程中保护喷灯导轨的装置，其特征在于:所述喷灯基座上的气体管路与喷灯的主管路采用软管连接。3.根据权利要求1所述的一种在0VD沉积过程中保护喷灯导轨的装置，其特征在于:所述L型气封结构为具有气封空腔的中空结构，其上的所述气封氮气接口及气封端面小孔均与所述气封空腔连通。4.根据权利要求1或3所述的一种在0VD沉积过程中保护喷灯导轨的装置，其特征在于:所述挡板为具有挡板空腔的中空结构，其上的所述挡板氮气接口及挡板端面小孔均与所述挡板空腔连通。5.根据权利要求1所述的一种在0VD沉积过程中保护喷灯导轨的装置，其特征在于:所述挡板与所述长卧臂之间的气帘间隙为2cm?2.5cm。
【专利摘要】本实用新型提供了一种在OVD沉积过程中保护喷灯导轨的装置，包括L型气封结构、挡板、滑动模块和喷灯基座；挡板设置在所述喷灯导轨一侧；L型气封结构短立臂设置在喷灯导轨异于挡板的一侧，其长卧臂朝挡板方向横穿入喷灯基座；长卧臂朝向挡板的一端设有一排气封端面小孔，在挡板朝向所述L型气封结构的一侧对应气封端面小孔的位置设有一排挡板端面小孔；挡板与长卧臂间留有气帘间隙；气封端面小孔均与L型气封结构上设置的气封氮气接口连通；挡板端面小孔均与挡板上设置的挡板氮气接口连通；喷灯基座内设有与喷灯连通的气体管路。本实用新型能保护喷灯导轨不被腐蚀，保证喷灯导轨精度，减少产品的不合格率或报废率，提高产品质量。
【IPC分类】C03B37/018
【公开号】CN205115284
【申请号】CN201520910662
【发明人】沈小平, 何炳, 向德成, 钱昆, 田锦成, 贺程程
【申请人】江苏通鼎光棒有限公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年11月16日