本发明涉及树脂组合物、以及由该树脂组合物形成的固化膜、保护膜、平坦化膜及微透镜。本发明的树脂组合物是不含有醌重氮化合物等感光剂的组合物，本发明的树脂组合物所包含的自交联性共聚物在不伴随交联剂的情况下共聚物彼此热交联，形成固化膜。
背景技术：
在液晶显示器、ccd/cmos图像传感器等电子器件的制造工序中，进行曝露于溶剂或酸或碱溶液等化学试液的处理、溅射、干蚀刻、焊料回流等曝露于高温的处理。为了防止通过这样的处理而使元件劣化或损伤，进行将对这样的处理具有耐性的固化膜作为保护膜而形成在元件上的操作。对这样的保护膜要求耐化学品性、高透明性、耐热性、耐湿性等。进而，为了制造具备高可靠性的上述电子器件，也对上述固化膜要求长期的耐热性和耐湿性。
在滤色器那样形成了的凹凸的表面上形成上述固化膜的情况下，从确保之后接下来的工序中的工艺裕量、确保器件特性的均匀性等观点考虑，需要平坦化性高的固化膜。此外，也进行由这样的固化膜制作微透镜的操作。
作为ccd/cmos图像传感器用微透镜的制作方法之一，已知回蚀法(专利文献1和专利文献2)。即，在形成于滤色器上的微透镜用树脂层上形成抗蚀剂图案，通过热处理将该抗蚀剂图案重新熔融而形成透镜图案。以将该抗蚀剂图案重新熔融而形成的透镜图案为蚀刻掩模，将下层的微透镜用树脂层回蚀，将透镜图案形状转印于微透镜用树脂层，从而制作微透镜。
例如，专利文献3～专利文献5中公开了用于微透镜形成的树脂组合物。然而，都是感光性(放射线敏感性)树脂组合物，不可以说是适合于通过上述回蚀法而形成微透镜的材料。
专利文献6中公开了用于微透镜形成的非感光性树脂组合物。然而，由该非感光性树脂组合物形成的膜的耐湿性不清楚。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平1-10666号公报
专利文献2：日本特开平6-112459号公报
专利文献3：日本特开2006-251464号公报
专利文献4：日本特开2007-033518号公报
专利文献5：日本特开2007-171572号公报
专利文献6：国际公开wo2014/065100号
技术实现要素：
发明所要解决的课题
本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的是提供能够形成具有优异的耐化学品性、耐热性、耐湿性、透明性和平坦化性的固化膜的树脂组合物。此外，本发明的其它目的是提供具有优异的耐化学品性、耐热性、耐湿性和透明性的微透镜。
用于解决课题的方法
本发明人等为了解决上述课题而进行了深入研究，结果完成了本发明。即，本发明是一种树脂组合物，是包含下述(a)成分、下述(b)成分和溶剂的树脂组合物，上述(b)成分的含量基于上述树脂组合物之中的除上述溶剂以外的全部成分计算的含量为0.1质量％～5.0质量％。
(a)成分：具有下述式(1)所示的结构单元和下述式(2)所示的结构单元的自交联性共聚物
(b)成分：下述式(3)所示的化合物
(式中，r0各自独立地表示氢原子或甲基，x表示-o-基或-nh-基，r1表示单键或碳原子数1～6的直链状或支链状的亚烷基，r2表示碳原子数1～6的直链状或支链状的烷基，a表示1～5的整数，b表示0～4的整数，并且a和b满足1≤a+b≤5，在b表示2、3或4的情况下、r2可以彼此不同，r3表示下述式(i)、式(ii)或式(iii)所示的2价有机基团，在r3表示下述式(i)所示的2价有机基团的情况下，该式(i)中的羰基与上述式(2)所示的结构单元的主链结合，r4表示具有环氧基的有机基团，r5表示碳原子数1～6的直链状或支链状烷基，f表示1～5的整数，g表示0～4的整数，并且f和g满足1≤f+g≤5，在g表示2、3或4的情况下、r5可以彼此不同，r6表示单键或碳原子数1～6的直链状或支链状的亚烷基，y表示单键或酯键，a表示可以包含至少1个杂原子的1价、2价、3价或4价的有机基团或表示杂原子，h表示1～4的整数。)
(式中，c表示0～3的整数，d表示1～3的整数，e各自独立地表示2～6的整数。)
在上述式(3)所示的化合物中，在a表示包含至少1个杂原子的1价、2价、3价或4价的有机基团或表示杂原子的情况下，作为该杂原子，可举出例如氮原子、氧原子和硫原子。此外，作为上述1价、2价、3价或4价的有机基团，可举出例如，碳原子数1～20的直链状或支链状的烃基、芳香族烃基、杂环基。而且，在y表示酯键的情况下，该酯键表示-c(＝o)o-。上述式(3)由例如下述式(3a)～式(3e)表示。
(式中，a和h与上述式(3)的定义含义相同。)
上述式(2)所示的结构单元为例如下述式(2-1)或式(2-2)所示的结构单元。
(式中，r0各自独立地表示氢原子或甲基，r3表示上述式(i)、式(ii)或式(iii)所示的2价有机基团。)
上述(a)成分的自交联性共聚物可以进一步具有下述式(4)所示的结构单元。
(式中，r0各自独立地表示氢原子或甲基，y表示苯基、联苯基或萘基，该苯基、该联苯基和该萘基的氢原子的一部分或全部可以被碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基、氰基或卤素取代。)
本发明的树脂组合物作为例如保护膜用树脂组合物、平坦化膜用树脂组合物和微透镜用树脂组合物是有用的。此外，本发明是一种固化膜的制作方法，其包含下述工序：将上述树脂组合物涂布在基材上的工序；在80℃～300℃的温度下进行0.3分钟～60分钟烘烤的工序。进而，本发明是一种微透镜的制作方法，其包含下述工序：在通过上述方法制作的固化膜上形成抗蚀剂图案的工序；通过加热处理将上述抗蚀剂图案重新熔融而形成透镜图案的工序；以上述透镜图案为掩模将上述固化膜回蚀，将该透镜图案的形状向该固化膜转印的工序。
发明效果
由本发明的树脂组合物形成的固化膜具有优异的耐化学品性、耐热性、耐湿性、透明性和平坦化性。由此，由本发明的树脂组合物形成的固化膜在其形成工序、或配线等周边装置的形成工序中，在进行暴露于溶剂或酸或碱溶液等化学试液的处理、溅射、干蚀刻、焊料回流等暴露于高温的处理的情况下，能够显著减少元件劣化或损伤的可能性。进而，在使用由本发明的树脂组合物形成的固化膜的情况下，能够制造具备高可靠性的电子器件。此外，在由本发明的树脂组合物形成保护膜、平坦化膜或微透镜，在其上涂布抗蚀剂、或进行电极/配线形成工序的情况下，也能够显著减少与抗蚀剂的混合、由化学试液引起的保护膜、平坦化膜或微透镜的变形和剥离这样的问题。因此，本发明的树脂组合物作为形成保护膜、平坦化膜和微透镜的材料是适合的。
具体实施方式
本发明是含有自交联性共聚物、上述式(3)所示的化合物和溶剂的树脂组合物。以下说明各成分的详细内容。本发明的树脂组合物之中的除溶剂以外的全部成分(以下，也称为固体成分)通常基于树脂组合物的总质量为1质量％～50质量％。
＜(a)成分＞
本发明的树脂组合物所包含的(a)成分为自交联性共聚物，具有上述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元。
作为形成上述式(1)所示的结构单元的化合物(单体)的具体例，可举出(甲基)丙烯酸2-羟基苯酯、(甲基)丙烯酸3-羟基苯酯、(甲基)丙烯酸4-羟基苯酯、(甲基)丙烯酸4-羟基苄酯、(甲基)丙烯酸4-羟基苯乙酯、(甲基)丙烯酸3,5-二甲基-4-羟基苯基酯、(甲基)丙烯酸3,5-二甲基-4-羟基苄基酯、(甲基)丙烯酸3,5-二甲基-4-羟基苯乙基酯、n-(2-羟基苯基)(甲基)丙烯酰胺、n-(3-羟基苯基)(甲基)丙烯酰胺、n-(4-羟基苯基)(甲基)丙烯酰胺、n-(4-羟基苄基)(甲基)丙烯酰胺、n-(4-羟基苯乙基)(甲基)丙烯酰胺、n-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)(甲基)丙烯酰胺、n-(3,5-二甲基-4-羟基苄基)(甲基)丙烯酰胺、和n-(3,5-二甲基-4-羟基苯乙基)(甲基)丙烯酰胺。另外，这些化合物可以单独使用，也可以组合2种以上使用。另外，在本说明书中，(甲基)丙烯酸酯是指甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯，(甲基)丙烯酰胺是指甲基丙烯酰胺和丙烯酰胺。
作为形成上述式(2)所示的结构单元的化合物(单体)的具体例，可举出下述式(2-3)～式(2-18)所示的单体。另外，这些单体可以单独使用，也可以组合2种以上使用。
本发明的树脂组合物所包含的自交联性共聚物，除了上述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元以外，还可以含有上述式(4)所示的结构单元。通过调节上述式(4)所示的结构单元的含量，能够在更广范围内调节固化膜的光学特性、干蚀刻速率。
作为形成上述式(4)所示的结构单元的化合物(单体)的具体例，可举出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、2-甲基苯乙烯、3-甲基苯乙烯、4-甲基苯乙烯、4-叔丁基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯、4-氰基苯乙烯、4-氟苯乙烯、4-氯苯乙烯、4-溴苯乙烯、4-乙烯基联苯、1-乙烯基萘和2-乙烯基萘。这些化合物可以单独使用，也可以组合2种以上使用。
在具有上述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元的自交联性共聚物中，相对于上述式(1)所示的结构单元和上述式(2)所示的结构单元之和100mol％，上述式(1)所示的结构单元的含有率为5mol％～95mol％，优选为10mol％～90mol％，上述式(2)所示的结构单元的含有率为5mol％～95mol％，优选为10mol％～90mol％。
在上述自交联性共聚物还具有上述式(4)所示的结构单元的情况下，相对于上述式(1)所示的结构单元、上述式(2)所示的结构单元和上述式(4)所示的结构单元之和100mol％，上述式(1)所示的结构单元的含有率为5mol％～90mol％，优选为10mol％～80mol％，上述式(2)所示的结构单元的含有率为5mol％～90mol％，优选为10mol％～80mol％，上述式(4)所示的结构单元的含有率为5mol％～90mol％，优选为10mol％～80mol％。
上述自交联性共聚物的重均分子量通常为1,000～100,000，优选为3,000～50,000。另外，重均分子量是通过凝胶渗透色谱(gpc)、使用聚苯乙烯作为标准试样而获得的值。
此外，本发明的树脂组合物中的上述自交联性共聚物的含量基于该树脂组合物中的固体成分的含量通常为1质量％～99质量％，优选为5质量％～95质量％。
在本发明中，获得上述自交联性共聚物的方法没有特别限定，一般而言如下获得：通过使形成上述式(1)所示的结构单元的化合物(单体)和形成上述式(2)所示的结构单元的化合物(单体)、或除了这些化合物(单体)以外还添加的形成上述式(4)所示的结构单元的化合物(单体)，在聚合引发剂存在下的溶剂中，在通常50℃～120℃的温度下进行聚合反应。这样操作而获得的共聚物通常是溶解于溶剂的溶液状态，也可以在该状态下不离析地用于本发明的树脂组合物。
此外，将上述那样操作而获得的自交联性共聚物的溶液投入到搅拌的己烷、乙醚、甲醇、水等不良溶剂中而使该共聚物再沉淀，将生成的沉淀物过滤、洗涤，然后在常压或减压下进行常温干燥或加热干燥，从而可以将该共聚物制成粉体。通过这样的操作，可以除去与上述自交联性共聚物共存的聚合引发剂、未反应化合物。在本发明中，可以直接使用上述自交联性共聚物的粉体，或者也可以将该粉体再溶解于例如后述的溶剂中，制成溶液的状态使用。
＜(b)成分＞
本发明的树脂组合物所包含的(b)成分是上述式(3)所示的化合物，其作为抗氧化剂而添加。作为上述式(3)所示的化合物的具体例，可举出例如，下述式(3-1)～式(3-10)所示的化合物。另外，这些化合物可以单独使用，也可以组合2种以上使用。
此外，本发明的树脂组合物中的(b)成分的含量基于该树脂组合物中的固体成分的含量为0.1质量％～5.0质量％，优选为0.2质量％～5.0质量％。在上述(b)成分的含量超过5.0质量％的情况下，使用包含该(b)成分的树脂组合物在基材上形成的固化膜由于长期的耐热性和耐湿性低，并且因为在固化膜表面产生异物而导致该固化膜的平滑性恶化，因此不优选。
本发明的树脂组合物的调制方法没有特别限定，可举出例如，使具有上述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元的共聚物、或具有上述式(1)所示的结构单元、式(2)所示的结构单元和式(4)所示的结构单元的共聚物与上述式(3)所示的化合物溶解于溶剂，制成均匀的溶液的方法。进而，可举出在该调制方法的适当阶段，根据需要，进一步添加其它添加剂进行混合的方法。
作为上述溶剂，只要是溶解上述自交联性共聚物和上述式(3)所示的化合物的溶剂，就没有特别限定。作为那样的溶剂，可以举出例如，乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、丙二醇、丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚、丙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇单丁基醚、丙二醇单丁基醚乙酸酯、甲苯、二甲苯、甲基乙基酮、环戊酮、环己酮、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、丙酮酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-庚酮和γ-丁内酯。这些溶剂可以单独使用，也可以组合2种以上使用。
这些溶剂中，从提高将本发明的树脂组合物涂布在基材上而形成的固化膜的流平性的观点考虑，优选为丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、2-庚酮、乳酸乙酯、乳酸丁酯、环戊酮和环己酮。
此外，出于使涂布性提高的目的，本发明的树脂组合物中也可以含有表面活性剂。作为该表面活性剂，可以举出例如，聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯鲸蜡基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯烷基芳基醚类、聚氧乙烯/聚氧丙烯嵌段共聚物类、失水山梨糖醇单月桂酸酯、失水山梨糖醇单棕榈酸酯、失水山梨糖醇单硬脂酸酯、失水山梨糖醇单油酸酯、失水山梨糖醇三油酸酯、失水山梨糖醇三硬脂酸酯等失水山梨糖醇脂肪酸酯类、聚氧乙烯失水山梨糖醇单月桂酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇单棕榈酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇单硬脂酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇三油酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇三硬脂酸酯等聚氧乙烯失水山梨糖醇脂肪酸酯类等非离子系表面活性剂、エフトップ〔注册商标〕ef301、エフトップef303、エフトップef352(以上，三菱マテリアル电子化成(株)制)、メガファック〔注册商标〕f-171、メガファックf-173、メガファックr-30、メガファックr-40、メガファックr-40-lm(以上，dic(株)制)、フロラードfc430、フロラードfc431(以上，住友スリーエム(株)制)、アサヒガード〔注册商标〕ag710、サーフロン〔注册商标〕s-382、サーフロンsc101、サーフロンsc102、サーフロンsc103、サーフロンsc104、サーフロンsc105、サーフロンsc106(旭硝子(株)制)、ftx-206d、ftx-212d、ftx-218、ftx-220d、ftx-230d、ftx-240d、ftx-212p、ftx-220p、ftx-228p、ftx-240g等フタージェント系列((株)ネオス制)等氟系表面活性剂、有机硅氧烷聚合物kp341(信越化学工业(株)制)。这些表面活性剂可以单独使用，也可以组合2种以上使用。
此外，在使用上述表面活性剂的情况下，本发明的树脂组合物中的表面活性剂的含量基于该树脂组合物中的固体成分的含量为0.001质量％～3质量％，优选为0.005质量％～1质量％，更优选为0.01质量％～0.5质量％。
本发明的树脂组合物由于该树脂组合物所包含的共聚物为自交联型，因此不需要必须添加交联剂，但只要不损害本发明的效果，就可以根据需要包含交联剂。此外，只要不损害本发明的效果，本发明的树脂组合物中就可以根据需要包含固化助剂、紫外线吸收剂、敏化剂、增塑剂、密合助剂等添加剂。
＜固化膜、保护膜和平坦化膜的制作方法＞
对使用了本发明的树脂组合物的固化膜、保护膜和平坦化膜的制作方法进行说明。在基材(例如，半导体基板、玻璃基板、石英基板、硅晶片和在这些表面形成有各种金属膜或滤色器等的基板)上，通过旋涂器、涂布机等适当涂布方法涂布本发明的树脂组合物，然后使用电热板、烘箱等加热手段进行烘烤使其固化，制作固化膜、保护膜或平坦化膜。烘烤条件从烘烤温度80℃～300℃、烘烤时间0.3分钟～60分钟的条件中适当选择。上述烘烤可以分成2步以上来处理。此外，作为制作的固化膜、保护膜或平坦化膜的膜厚，例如为0.001μm～100μm，优选为0.01μm～10μm。
＜微透镜的制作方法＞
对使用了本发明的树脂组合物的微透镜的制作例进行说明。在基材(例如，半导体基板、玻璃基板、石英基板、硅晶片和在这些表面形成有各种金属膜或滤色器等的基板)上，通过旋涂器、涂布机等适当的涂布方法涂布本发明的树脂组合物，然后使用电热板、烘箱等加热手段进行烘烤使其固化，制作固化膜。烘烤条件从烘烤温度80℃～300℃、烘烤时间0.3分钟～60分钟的条件中适当选择。上述烘烤可以分成2步以上来处理。此外，作为制作的固化膜的膜厚，例如为0.1μm～100μm，优选为0.5μm～10μm。
然后，在制作的固化膜上涂布抗蚀剂，通过规定的掩模进行曝光，根据需要进行曝光后加热(peb)，进行碱性显影，冲洗显影液，进行干燥，从而形成规定的抗蚀剂图案。曝光可以使用例如g射线、i射线、krf准分子激光、arf准分子激光。
接着，通过进行加热处理，将上述抗蚀剂图案重新熔融而形成透镜图案。以该透镜图案作为蚀刻掩模而将下层的固化膜回蚀，将该透镜图案的形状转印于该固化膜。可以经过以上过程来制作微透镜。
实施例
以下基于实施例和比较例更详细地说明本发明，但本发明不限定于这些实施例。
〔下述合成例中获得的共聚物的重均分子量的测定〕
装置：日本分光(株)制gpc系统
柱：shodex〔注册商标〕kf-804l和803l
柱温箱：40℃
流量：1ml/分钟
洗脱液：四氢呋喃
[自交联性共聚物的合成]
＜合成例1＞
使苯乙烯300g、甲基丙烯酸4-羟基苯酯205g、上述式(2-7)所示的单体246g、和2,2’-偶氮二异丁腈47.0g溶解于丙二醇单甲基醚976g中，然后将该溶液经4小时滴加到将丙二醇单甲基醚222g保持在70℃的烧瓶中。滴加结束后，进一步使其反应18小时，获得了共聚物的溶液(固体成分浓度40质量％)。所得的共聚物的重均分子量mw为21,000(聚苯乙烯换算)。
[树脂组合物的调制]
＜实施例1＞
使合成例1中获得的作为(a)成分的自交联性共聚物的溶液(固体成分浓度40质量％)50.0g、作为(b)成分的上述式(3-10)所示的化合物0.6g和作为表面活性剂的メガファック〔注册商标〕r-30(dic(株)制)0.01g溶解于丙二醇单甲基醚乙酸酯3.6g和丙二醇单甲基醚14.4g中，制成溶液。然后，使用孔径0.10μm的聚乙烯制微型过滤器进行过滤，调制出树脂组合物。
＜实施例2＞
使用了作为(b)成分的上述式(3-10)所示的化合物1.0g、丙二醇单甲基醚乙酸酯4.3g和丙二醇单甲基醚14.7g，除此以外，在与上述实施例1相同的条件下，调制出树脂组合物。
＜实施例3＞
使用了作为(b)成分的上述式(3-8)所示的化合物0.1g、丙二醇单甲基醚乙酸酯2.8g和丙二醇单甲基醚14.1g，除此以外，在与上述实施例1相同的条件下，调制出树脂组合物。
＜实施例4＞
使用了作为(b)成分的上述式(3-6)所示的化合物0.6g，除此以外，在与上述实施例1相同的条件下，调制出树脂组合物。
＜比较例1＞
使合成例1中获得的作为(a)成分的自交联性共聚物的溶液(固体成分浓度40质量％)50.0g、和作为表面活性剂的メガファック〔注册商标〕r-30(dic(株)制)0.01g溶解于丙二醇单甲基醚乙酸酯2.7g和丙二醇单甲基醚14.0g中，制成溶液。然后，使用孔径0.10μm的聚乙烯制微型过滤器进行过滤，调制出树脂组合物。
＜比较例2＞
使用了作为(b)成分的上述式(3-10)所示的化合物1.6g、丙二醇单甲基醚乙酸酯5.3g和丙二醇单甲基醚15.1g，除此以外，在与上述实施例1相同的条件下，调制出树脂组合物。
[耐化学品性试验]
使用旋转涂布机将实施例1～实施例4以及比较例1和比较例2中调制的树脂组合物分别涂布在硅晶片上，在电热板上在100℃进行1分钟烘烤，进一步在150℃下进行10分钟烘烤，形成了膜厚4μm的固化膜。对这些固化膜，在丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、丙酮、甲基异丁基酮、2-庚酮、2-丙醇、n-甲基吡咯烷酮和2.38质量％浓度的四甲基氢氧化铵(tmah)水溶液中，分别进行在23℃的温度条件下浸渍10分钟的试验。进行浸渍前和浸渍后的膜厚测定，算出浸渍前后的膜厚变化。将上述浸渍溶剂之中，即使1种溶剂相对于浸渍前的膜厚具有10％以上的膜厚增减的情况设为“×”，将全部溶剂的膜厚增减都小于10％的情况设为“○”，评价了耐化学品性。将评价结果示于表1中。
[耐热性评价]
使用旋转涂布机将实施例1～实施例4以及比较例1和比较例2中调制的树脂组合物分别涂布在石英基板上和硅晶片上，在电热板上在100℃下进行1分钟烘烤，进一步在150℃下进行10分钟烘烤，形成了膜厚4μm的固化膜。对于形成在石英基板上的这些固化膜，使用紫外可见分光光度计uv-2550((株)岛津制作所制)，在波长400nm～800nm的范围使波长每次2nm地进行变化，测定了透射率。将测定的透射率的最低值作为最低透射率示于表1中。此外，对于形成在硅晶片上的这些固化膜，使用光学显微镜以100倍的倍率观察该固化膜的表面，确认到没有异物。进而，将形成在石英基板上和硅晶片上的这些固化膜在烘箱内在150℃进行1,000小时加热。然后，对于形成在石英基板上的这些固化膜，再次在波长400nm～800nm的范围使波长每次2nm地进行变化而测定透射率，将测定的透射率的最低值作为最低透射率示于表1中。此外，对于形成在硅晶片上的这些固化膜，使用光学显微镜以100倍的倍率观察该固化膜的表面。将相对于1,000小时加热前的最低透射率具有5％以上的透射率降低的情况设为“×”，将透射率降低小于5％的情况设为“○”，将在1,000小时加热后，在固化膜的表面产生异物的情况设为“×”，将不产生异物的情况设为“○”，评价了耐热性。将评价结果示于表1中。
[耐热耐湿性评价]
使用旋转涂布机将实施例1～实施例4以及比较例1和比较例2中调制的树脂组合物分别涂布在石英基板和硅晶片上，在电热板上在100℃下进行1分钟烘烤，进一步在150℃下进行10分钟烘烤，形成了膜厚4μm的固化膜。对于形成在石英基板上的这些固化膜，使用紫外可见分光光度计uv-2550((株)岛津制作所制)，在波长400nm～800nm的范围使波长每次2nm地进行变化而测定了透射率。将测定的透射率的最低值作为最低透射率示于表1中。此外，对于形成在硅晶片上的这些固化膜，使用光学显微镜以100倍的倍率观察该固化膜的表面，确认到没有异物。进而，将形成在石英基板上和硅晶片上的这些固化膜，在恒温恒湿器内在85℃、85％rh进行1,000小时静置。然后，对于形成在石英基板上的这些固化膜，再次在波长400nm～800nm的范围使波长每次2nm地进行变化，测定最低透射率，将测定的透射率的最低值作为最低透射率示于表1中。此外，对于形成在硅晶片上的这些固化膜，使用光学显微镜以100倍的倍率观察该固化膜的表面。将相对于1,000小时静置前的最低透射率具有5％以上的透射率降低的情况设为“×”，将透射率降低小于5％的情况设为“○”，将进行1,000小时静置后，在固化膜的表面产生异物的情况设为“×”，将不产生异物的情况设为“○”，评价了耐热耐湿性。将评价结果示于表1中。
表1
由表1的结果可知，由本发明的树脂组合物形成的固化膜为高耐化学品性、高透明性，并且具有高耐热性和高耐热耐湿性，即在150℃进行1,000小时加热后、以及在85℃、85％rh进行1,000小时静置后都不着色、不产生异物。另一方面，关于由比较例1和比较例2中调制的树脂组合物形成的固化膜，比较例1中结果耐热性不令人满意，比较例2中结果耐热耐湿性不令人满意，不适合作为保护膜、平坦化膜和微透镜用。
附图说明
图1表示用光学显微镜对在烘箱内、在150℃下进行1,000小时加热后的固化膜表面进行观察而得的结果。
图2表示用光学显微镜对在恒温恒湿器内、在85℃、85％rh的条件下进行1,000小时静置后的固化膜表面进行观察而得的结果。