聚硅氧烷组合物的制作方法

文档序号:25541725发布日期:2021-06-18 20:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种聚硅氧烷组合物,包含:

聚硅氧烷,第一酸解离常数pka1为4.0以下的由下式(ii)表示的二羧酸,和溶剂,

hooc-l-cooh(ii)

式(ii)中,l为单键,具有1至6个碳原子的羟基取代的亚烷基或氨基取代的亚烷基,取代或未取代的具有2至4个碳原子的亚烯基,取代或未取代的具有2至4个碳原子的亚炔基,或取代或未取代的具有6至10个碳原子的亚芳基,

其中,所述二羧酸的摩尔数与所述聚硅氧烷的摩尔数之比为0.1至6.0。

2.根据权利要求1所述的组合物,其中,

所述l为单键,具有2至4个碳原子的羟基取代的亚烷基,未取代的具有一个c=c键和2至4个碳原子的亚烯基,或未取代的具有6至10个碳原子的亚芳基。

3.根据权利要求1或2所述的组合物,其中,

所述二羧酸从由草酸、马来酸、富马酸、苹果酸和邻苯二甲酸所组成的群组中选出。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的组合物,其中,

所述聚硅氧烷具有下式(ia)表示的重复单元和/或下式(ib)表示的重复单元:

式(ia)中,

r1为氢,1至3价的c1-30直链、支链或环状饱和或不饱和的脂肪族烃基,或1至3价的c6-30芳香族烃基,

在所述脂肪族烃基和芳香族烃基中,一个以上亚甲基未被取代或被氧基、酰亚胺基或羰基取代,一个以上氢未被取代或被氟、羟基或烷氧基取代,并且一个以上碳原子未被取代或被硅取代,

当r1为二价或三价时,r1连接多个重复单元中包含的si;

所述聚硅氧烷中包含的由式(ib)表示的重复单元的数量与由式(ia)和(ib)表示的重复单元的总数的比率为1%至100%。

5.根据权利要求4所述的组合物,其中,r1从由氢原子、甲基、乙基和苯基所组成的群组中选出。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的组合物,其中,所述聚硅氧烷的质均分子量为500至5000。

7.根据权利要求1至6所述的组合物,其中,所述二羧酸的摩尔数与所述聚硅氧烷的摩尔数之比为0.15至2.0。

8.一种制造硅质膜的方法,包括将根据权利要求1至7中任一项所述的组合物涂布到基板上以形成涂膜,并加热所述涂膜。

9.一种电子器件,包括根据权利要求8所述的硅质膜。


技术总结
提供一种能够抑制在形成硅质膜的过程中产生空隙的聚硅氧烷组合物。一种聚硅氧烷组合物,包含:聚硅氧烷,第一酸解离常数pKa1为4.0以下的由下式(II)表示的二羧酸,和溶剂。式(II):HOOC‑L‑COOH(II)(式中,L为单键,具有1至6个碳原子的羟基取代的亚烷基或氨基取代的亚烷基,取代或未取代的具有2至4个碳原子的亚烯基,取代或未取代的具有2至4个碳原子的亚炔基,或取代或未取代的具有6至10个碳原子的亚芳基)。

技术研发人员:会田健介;佐藤敦彦;小崎力生;有马一弥
受保护的技术使用者:默克专利有限公司
技术研发日:2019.10.16
技术公布日:2021.06.18
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