专利名称：圆片状氧化铝磨料表面无锐角处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种制备研磨材的设备，具体是一种圆片状氧化铝磨料表面无锐角处理装置
背景技术：
电子行业的硅片在中后期研磨抛光过程中，对表面质量要求非常高，不得有丝毫划痕，这就要求氧化铝微粉粒度分布要均勻，颗粒形状要圆滑，不得有棱角尖状物，微粉制备难度非常大。现有技术中的球磨设备很难满足电子行业用氧化铝磨料的要求。 发明内容本实用新型提供一种圆片状氧化铝磨料表面无锐角处理装置，通过该装置的处理，氧化铝微粉壳体表面无棱角、无尖状物，形状圆滑。本实用新型具体采用如下技术方案一种圆片状氧化铝磨料表面无锐角处理装置，包括回转的双锥筒体，其特征是，双锥筒体内壁设有一弹性层，在弹性层的外表面上分布有锥台型的凸起，双锥筒体内还设有橡胶球。本实用新型的优点是双锥筒体与动力装置连接，微粉在筒体内运动，在橡胶球、锥台的磨擦、碰撞过程中，对微粉外表面做类似磨削处理，使得微粉颗粒外表面比较圆滑，无棱角、无尖状物。
图1是本实用新型的结构示意图。图中，1-双锥筒体，2-弹性层，3-凸起，4-橡胶球。
具体实施方式
如图1所示，一种圆片状氧化铝磨料表面无锐角处理装置，包括回转的双锥筒体 1，双锥筒体ι内壁设有一弹性层2，在弹性层2的外表面上分布有锥台型的凸起3，双锥筒体1内还设有橡胶球4。本实用新型在球磨后使用，可使氧化铝微粉粒度分布要均勻，颗粒形状圆滑，无棱角尖状物。
权利要求1. 一种圆片状氧化铝磨料表面无锐角处理装置，包括回转的双锥筒体，其特征是，双锥筒体内壁设有一弹性层，在弹性层的外表面上分布有锥台型的凸起，双锥筒体内还设有橡胶球。
专利摘要本实用新型涉及一种制备研磨材料的设备，具体是一种圆片状氧化铝磨料表面无锐角处理装置，包括回转的双锥筒体，其特征是，双锥筒体内壁设有一弹性层，在弹性层的外表面上分布有锥台型的凸起，双锥筒体内还设有橡胶球。经本实用新型处理的氧化铝微粉粒度分布均匀，颗粒形状圆滑，无棱角尖状物。
文档编号C09K3/14GK201981158SQ20102070128
公开日2011年9月21日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者丁建平 申请人:淄博金纪元研磨材有限公司