一种环保型抛光物的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种环保型抛光物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：磷酸7-9份，磷酸二氢钾2-5份，磷酸氢二钾3-6份，乙烯基双硬脂酰胺8-13份，硬脂酸单甘油酯5-7份，马来酸酐2-3份，聚乙烯酯1-2份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯4-8份，氯苯9-14份，氯化亚铁11-17份，纳米氧化镁1-8份，二甲基二巯基乙酸异辛酯锡13-20份，盐酸3-8份，纳米氧化铜7-13份，纳米银0.5份。本发明的有益效果是：制备简单，抛光效果明显，性能稳定。
【专利说明】一种环保型抛光物
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种环保型抛光物。
【背景技术】
[0002]对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法，但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种环保型抛光物。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是:
一种环保型抛光物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:磷酸7-9份，磷酸二氢钾
2-5份，磷酸氢二钾3-6份，乙烯基双硬脂酰胺8-13份，硬脂酸单甘油酯5-7份，马来酸酐
2-3份，聚乙烯酯1-2份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯4-8份，氯苯9-14份，氯化亚铁11-17份，纳米氧化镁1-8 份，二甲基二巯基乙酸异辛酯锡13-20份，盐酸3-8份，纳米氧化铜7-13份，纳米银0.5份。
[0005]本发明的有益效果是:制备简单，抛光效果明显，性能稳定。
【具体实施方式】
[0006]实施例1
一种环保型抛光物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:磷酸7-9份，磷酸二氢钾
2-5份，磷酸氢二钾3-6份，乙烯基双硬脂酰胺8-13份，硬脂酸单甘油酯5-7份，马来酸酐
2-3份，聚乙烯酯1-2份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯4-8份，氯苯9-14份，氯化亚铁11-17份，纳米氧化镁1-8份，二甲基二巯基乙酸异辛酯锡13-20份，盐酸3-8份，纳米氧化铜7-13份，纳米银0.5份。
【权利要求】
1.一种环保型抛光物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:磷酸7-9份，磷酸二氢钾2-5份，磷酸氢二钾3-6份，乙烯基双硬脂酰胺8-13份，硬脂酸单甘油酯5-7份，马来酸酐2-3份，聚乙烯酯1-2份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯4-8份，氯苯9-14份，氯化亚铁11-17份，纳米氧化镁1-8份，二甲基二巯基乙酸异辛酯锡13-20份，盐酸3-8份，纳米氧化铜7-13份，纳米银0.5份 。
【文档编号】C09G1/02GK104046264SQ201410291998
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年6月26日 优先权日:2014年6月26日
【发明者】范向奎 申请人:青岛宝泰新能源科技有限公司