等离子体处理检测用墨液组合物及等离子体处理检测指示器的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及等离子体处理检测用墨液组合物及使用其的等离子体处理检测指示 器。另外，本说明书中的等离子体处理是指利用了通过使用等离子体产生用气体并施加交 流电压、脉冲电压、高频、微波等而产生的等离子体的等离子体处理，减压等离子体及大气 压等离子体这两者符合。
【背景技术】
[0002] 医院、研究所等中使用的各种器材、器具等为了消毒及杀菌而实施灭菌处理。作为 该灭菌处理之一，已知有等离子体灭菌处理（例如，非专利文献1的"3. 3. 1使用了低压力 放电等离子体的灭菌实验"栏）。
[0003] 详细而言，等离子体灭菌处理是在等离子体产生用气体气氛下产生等离子体并利 用低温气体等离子体对器材、器具等进行灭菌的处理，从可以进行低温灭菌处理的方面考 虑是有利的。
[0004] 此外，等离子体处理不仅用于灭菌处理，还用于半导体元件的制造工序中的等离 子体干式蚀刻及电子部件等被处理物的表面的等离子体洗涤。
[0005] 等离子体干式蚀刻通常对配置于作为真空容器的反应腔室内的电极施加高频电 力，将导入至反应腔室内的等离子体产生用气体等离子体化而对半导体晶圆以高精度进行 蚀刻。此外，等离子体洗涤通过将在电子部件等被处理物的表面析出或附着的金属氧化物、 有机物、毛刺卩）等除去来改善焊接性或软钎料的润湿性而提高粘接强度，或者改善与 密封树脂的密合性或润湿性。
[0006] 作为检测这些等离子体处理的终点的方法，例如在专利文献1中记载了"一种等 离子体干式蚀刻的终点检测方法，其特征在于，其使用了通过使来自气体等离子体中的发 光光谱在波长范围300~650nm的光电培增管所具有的波长频带下全部受光而得到的发光 光谱强度曲线。"。
[0007] 此外，在专利文献2中记载了"一种等离子体处理的终点检测方法，其特征在于， 其包括以下工序：使用仅使某一特定波长区域选择性透射的带通滤波器中监视的来自等离 子体光源的入射角度发生变化的入射角变化单元使透射波长发生变化的透射工序；利用检 测器检测该透射工序中透射的分光的检测工序；通过输入该检测工序的来自检测器的检测 输出及上述透射工序的入射角变化单元的角度输出，利用具备波长转换单元、输出补正单 元的演算输出装置对反应中和反应前进行比较演算，在输出装置中输出等离子体处理的终 点的演算输出工序，其中，所述波长转换单元是按照达到即使入射角度发生变化而透射波 长的检测输出也不会使入射角度发生变化的情况下得到的值的方式进行的。"。
[0008] 这些以往的终点检测方法需要发光光谱的解析装置、演算输出装置等装置，并且 难以对经等离子体处理的被处理物各自进行个别检测。因而，期望开发不需要大型的装置 的简便的方法，并且可以对被处理物各自个别检测等离子体处理的完成的技术。
[0009] 现有技术文献
[0010] 专利文献
[0011] 专利文献1 :日本特开平6-069165号公报
[0012] 专利文献2 :日本特开2004-146738号公报
[0013] 非专利文献
[0014]非专利文献 1:JournalofPlasmaandFusionResearchVol. 83,No. 7July2007
【发明内容】
[0015] 发明所要解决的课题
[0016] 本发明的主要目的在于提供不需要大型的装置、能够对被处理物各自个别检测等 离子体处理的完成的墨液组合物及使用其的指示器。
[0017] 用于解决课题的方案
[0018] 本发明人为了达成上述目的反复进行了深入研究，结果发现，通过采用特定组成 的墨液组合物可以达成上述目的，从而完成本发明。
[0019]S卩，本发明涉及下述的等离子体处理检测用墨液组合物及等离子体处理检测指示 器。
[0020] 1. -种墨液组合物，其是含有色素及非离子系表面活性剂的等离子体处理检测用 墨液组合物，
[0021] (1)上述色素为选自由蒽醌系色素、次甲基系色素、偶氮系色素、酞菁系色素、三苯 基甲烷系色素及咕吨系色素组成的组中的至少1种，
[0022] (2)上述非离子系表面活性剂为通式⑴~（V)所示的非离子系表面活性剂中的 至少1种，
[0023][化学式1]
[0024] (I) RrX-(A0)n-R2
[0028] (V) R「X-(A0)p-R2-C三C-R3=X-(AO)q_R4
[0029] 〔其中，上述通式中，4分别独立地表示氢、碳原子数为1~30的直链 或支链的脂肪族烃基。X表示氧或酯键。A0表示来自环氧烷烃的重复单元。η表示1~200 的整数。a+b+c表示3~200的整数。p+q表示0~20的整数。〕。
[0030] 2.根据上述项1所述的墨液组合物，其还含有粘合剂树脂及增量剂中的至少1种。
[0031] 3.根据上述项2所述的墨液组合物，其中，上述粘合剂树脂的一部分或全部为含 氮高分子。
[0032] 4.根据上述项3所述的墨液组合物，其中，上述含氮高分子的一部分或全部为聚 酰胺树脂。
[0033] 5.上述项2所述的墨液组合物，其中，上述粘合剂树脂的一部分或全部为酚醛系 树脂。
[0034] 6.根据上述项2~5中任一项所述的墨液组合物，其中，上述增量剂的一部分或全 部为二氧化娃。
[0035] 7.根据上述项1~6中任一项所述的墨液组合物，其还含有在上述等离子体处理 气氛下不变色的色素成分中的至少1种。
[0036] 8. -种等离子体处理检测指示器，其包含变色层，所述变色层含有上述项1~7中 任一项所述的墨液组合物。
[0037]9.根据上述项8所述的指示器，其还含有在上述等离子体处理气氛下不变色的非 变色层。
[0038]10.根据上述项8或9所述的指示器，其中，上述变色层的形状为条型码的形状。
[0039]11.根据上述项10所述的指示器，其中，通过在等离子体处理环境下上述变色层 发生变色而能够利用条型码阅读器进行读取来进行等离子体处理管理。
[0040] 12.-种等离子体处理用包装体，其在透气性包装体的内表面设置有上述项8~ 11中任一项所述的指示器。
[0041]13.根据上述项12所述的包装体，其中，按照能够从外部确认上述指示器的方式， 在包装体的一部分中设置有透明窗部。
[0042]14.一种等离子体处理方法，其具有以下工序：在上述项12或13所述的包装体中 装填被处理物的工序；将装填有被处理物的包装体密封的工序；以及将该包装体放置在上 述等离子体处理气氛下的工序。
[0043]15.根据上述项14所述的处理方法，其中，在上述等离子体处理气氛下放置包装 体直到上述指示器的变色层发生变色为止。
[0044] 16.-种描绘工具，其填充有上述项1~7中任一项所述的墨液组合物。
[0045] 以下，对本发明的等离子体处理检测用墨液组合物及等离子体处理检测指示器进 行详细说明。
[0046] 1.等离子体处理检测用墨液组合物
[0047] 本发明的等离子体处理检测用墨液组合物（以下，也简称为"墨液组合物"）的特 征在于，其含有色素及非离子系表面活性剂，
[0048] (1)上述色素为选自由蒽醌系色素、次甲基系色素、偶氮系色素及酞菁系色素组成 的组中的至少1种，
[0049] (2)上述非离子系表面活性剂为通式⑴~（V)所示的非离子系表面活性剂中的 至少1种，
[0050][化学式2]
[0051] (I) RrX-(A0) n-R2
[0055] (V) R「X-(A0)p-R2-C三C-R3= X-(AO) q_R4
[0056]〔其中，上述通式中，1^、1?2、1?3及1?4分别独立地表示氢、碳原子数为1~30的直链 或支链的脂肪族烃基。X表示氧或酯键。AO表示来自环氧烷烃的重复单元。n表示1~200 的整数。a+b+c表示3~200的整数。p+q表示0~20的整数。〕。
[0057] 着色剂（色素）
[0058] 本发明的墨液组合物使用选自由蒽醌系色素、次甲基色素、偶氮系色素及酞菁系 色素组成的组中的至少1种作为着色剂（也称为色素、变色色素）。
[0059] 蒽醌系色素只要是以蒽醌为基本骨架的色素则没有限定，也可以使用公知的蒽醌 系分散染料等。特别优选具有氨基的蒽醌系色素。更优选为具有伯氨基及仲氨基中的至少 1种氨基的蒽醌系色素。该情况下，各氨基也可以具有2个以上，它们可以彼此相同或不同。
[0060] 更具体而言，可列举出例如1，4-二氨基蒽醌（C.I.分散紫1)、1-氨基-4-羟 基-2-甲基氨基蒽醌（C.I.分散红4)、1-氨基-4-甲基氨基蒽醌（C.I.分散紫4)、1，4-二氨 基-2-甲氧基蒽醌（C.I.分散红11)、1-氨基-2-甲基蒽醌（C.I.分散橙11)、1-氨基-4-羟 基蒽醌（C.I.分散红15)、1，4, 5, 8-四氨基蒽醌（C.I.分散蓝1)、1，4-二氨基-5-硝基蒽 醌（C.I.分散紫8)等（括弧内为颜色索引名）。
[0061] 除此以外，还可以使用作为C.I.溶剂蓝14、C.I.溶剂蓝35、C.I.溶剂蓝63、 C.I.溶剂紫13、C.I.溶剂紫14、C.I.溶剂红52、C.I.溶剂红114、C.I.还原蓝21、C.I.还 原蓝30、C.I.还原紫15、C.I.还原紫17、C.I.还原红19、C.I.还原红28、C.I.酸性蓝23、 C.I.酸性蓝80、C.I.酸性紫43、C.I.酸性紫48、C.I.酸性红81、C.I.酸性红83、C.I.活 性蓝4、C.I.活性蓝19、C.I.分散蓝7等已知的色素。
[0062] 这些蒽醌系色素可以单独使用或将2种以上并用。这些蒽醌系色素中，优选C.I 分散蓝7、C.I分散紫1等。此外，本发明中，也可以通过改变这些蒽醌系色素的种类（分子 结构等）来进行检测灵敏度的控制。