专利名称：洁净储料机和物品的保管方法
技术领域：
本发明涉及将半导体曝光用的标线片(reticule)等物品洁净地保 管的洁净储料机、及在其中的保管方法。
背景技术：
在半导体等的曝光中使用标线片，标线片被收纳在晶圆盒(求:y 卜)中地被运送于储料机和曝光装置之间。关于标线片的保管，专利 文献1公开有以下内容将保管裸露的标线片的架和保管晶圆盒的架 设置在运送装置的行驶路径的两侧。但是，若如此则可能会因运送装 置的行驶气流而污染标线片。专利文献l:日本专利3682170号发明内容本发明的目的为，将多个物品和其容器紧凑且洁净地进行保管。 在方案2、 3的发明中追加的目的为，将多个物品和其容器进一步紧凑地进行保管。在方案4的发明中追加的目的为，可使收纳有物品的容器有效率地出入库。本发明的其他目的为，提供一种将多个物品和其容器紧凑且洁净 地进行保管并出入库的方法。本发明的特征为，在将物品收纳在容器中并从出入库口进行出入 库，并且在洁净储料机内可使洁净气体向下吹气的洁净储料机中，设 置用于将物品相对于容器进行取出装入的开闭装置，并且将从容器取 出的物品的保管架设置在上侧、容器的保管架设置在下侧、并上下配 200710138187. 1说明书第2/7页置为在俯视时重叠，还设置有用于在上述开闭装置和出入库口及容 器的保管架之间运送容器的容器运送装置；和用于在上述开闭装置和 物品的保管架之间运送物品的物品运送装置。优选，上述物品的保管架和容器的保管架为，各自相互独立地自 由水平旋转的旋转式的架。特别优选，在上述物品的保管架和容器的保管架的一侧，上述物 品运送装置和容器运送装置隔着上述开闭装置地相对配置。还优选，在上述容器运送装置可运送容器的位置上，设置独立于 上述容器保管架的、用于收纳容器的固定的架。并且，本发明的特征为，在将物品收纳在容器中并从出入库口进 行出入库，并且可使洁净气体向下吹气来对物品进行洁净保管的方法 中，通过开闭装置将物品相对于从出入库口进行出入库的容器进行取 出装入，并且将容器的保管架设置在下侧、物品的保管架设置在上侧、 并将其上下配置为在俯视时重叠，并以从物品的保管架侧向容器的保 管架侧的顺序供给洁净气体，并且设置用于运送容器的容器运送装 置、和用于运送物品的物品运送装置，在开闭装置和出入库口及容器 的保管架之间通过容器运送装置运送容器，并且在物品的保管架和开 闭装置之间通过物品运送装置运送物品。在本说明书中，关于洁净储料机的记载只要没有特别说明，也适 用于使用洁净储料机的物品的保管方法，并且关于物品的保管方法的 记载只要没有特别说明，也适用于洁净储料机。并且，在实施例中以 保管半导体曝光用的标线片和收纳该标线片的晶圆盒为例，但是保管物品的种类和收纳物品的容器的种类本身是任意的。在本发明中，将物品的保管架配置在上侧、容器的保管架配置在 下侧，并供给洁净气体的下沉气流，因此能够将从容器中取出的物品 洁净地保管在保管架中。并且，由于是将物品从容器取出而进行保管， 因此可将多个物品紧凑地保管。进行保管的物品的数量与容器的数量 不必相等，例如当使容器的数量比物品的数量少，并只保管物品的出 入库所需的数量的容器时，可进一步紧凑地收纳多个物品。
此处，当使物品的保管架和容器的保管架通过各自相互独立地自 由水平旋转的旋转式的架(以下，称为旋转架)构成时，使容器运送装 置和物品运送装置在旋转架的规定的位置上，将容器和物品从架取出 装入即可。因此，可縮小这些运送装置的动作范围，结果，可进一步 紧凑地保管多个物品和容器。并且，在旋转架上，在架的中心部留有 空间，可将该部分用作洁净气体的排气路。这里，当在物品的保管架和容器的保管架的一侧、将物品运送装 置和容器运送装置隔着开闭装置地相对配置时，可将这些运送装置进 一步紧凑地配置。特别是，当这些运送装置由运送装置主体和其升降 机构构成时，使容器和物品的旋转架分别为上下多层，并且即使开闭 装置与这些架的高度水平不同，也可容易地运送容器和物品。这里，当设置独立于容器的旋转架的、用于收纳容器的固定的架， 并预先保管收纳有预定出库的物品的容器时，可在短时间内有效率地 进行出库。并且，在连续进行入库的情况下，在将容器安置到开闭装 置上之前可暂时保管在固定的架上。因此，可有效率地进行出入库。
图1是实施例的洁净储料机的正视图。图2是图1的II—II方向水平剖面图。 图3是图1的III一III方向水平剖面图。 图4是示意地表示实施例中的标线片用手部的图。 图5是表示运送装置相对于实施例中的2个旋转架和晶圆盒开闭 器、固定架、和装载口的动作范围的图。
具体实施方式
下面说明实施本发明的优选实施例。图1 图5表示实施例的洁净储料机2和物品的保管方法。在图 中2为洁净储料机，设置在半导体工厂及液晶工厂等的洁净室内，4 为标线片用旋转架，具有为上下多层的多个层，在各架中保管半导体
及液晶基板的曝光用的标线片，标线片用旋转架4整体作为一体进行 旋转，而不是按每个层进行旋转。另外，为了更高速地进行标线片的 取出装入，也可以将标线片用旋转架4分割为上下多个块，并使每个 块独立地旋转。6为晶圆盒用旋转架，对取出标线片后的晶圆盒进行 保管，晶圆盒的保管数量比标线片的保管数量少，例如为其1/10 1/100左右。晶圆盒用旋转架6为上下多层的旋转架，作为整体一体 地进行旋转。从正面看洁净储料机2时(图1)，在其内部的前表面侧左右的一 侧设置晶圆盒运送装置8、在另一侧设置标线片运送装置10，这些装 置被设置在旋转架4、 6的前表面侧的一侧，并在其之间设置晶圆盒 开闭器12。并且，例如在晶圆盒开闭器12的上下设置晶圆盒用固定 架14、 15，但是也可以只设置在晶圆盒开闭器12的上下的一侧。并 且，运送装置8、 10沿升降导轨9、 ll进行升降。晶圆盒运送装置8 例如在2节的臂8a、 8b的前端设置有手部8c，并具有在水平面内动 作的3个关节8d、 8e、 8f，这些关节例如独立地动作，在通过2节臂 可到达的范围内，可向任意的方向运送晶圆盒26。标线片运送装置 10也同样，在通过关节10c、 10d而动作的2节臂10a、 10b的前端设 置有手部。标线片运送装置10的手部的构成将参照图4在后面说明。在洁净储料机2的最上部具有洁净气体供给部16，例如将洁净 空气和氮气等洁净气体作为下沉气流进行供给。洁净气体供给部16 是具备洁净气体的产生机构和风扇过滤器单元的设备，或者是将来自 洁净室的顶棚的洁净气体的下沉气流引入储料机2内的设备等。18、 19为设置在洁净储料机2的高处的桥式吊车用装载口，在与未图示 的桥式吊车之间，对图3等所示的晶圆盒26进行出入库。20、 21为 地面侧装载口，例如在人对晶圆盒26进行出入库时使用，22为终端， 在由人手部操作洁净储料机2的情况、以及输入输出数据或者读取晶 圆盒的ID等时使用。24为洁净储料机2的壳体。标线片用旋转架4被分割为多个块30(图2),在外侧设置凸缘28， 块30的每个层31构成为，可通过凸缘28将上下重叠的层31抬起(图 4)。驱动部32使标线片用旋转架4旋转，旋转架4内侧的空余空间 用作气体流路36，从洁净气体供给部16向标线片用旋转架4供给的 洁净气体，经由气体流路36向下侧排气(图2)。在晶圆盒用旋转架6 中，在旋转架的中央具有驱动部34，使架6旋转，并且，将架6内 的洁净气体从其周围的气体流路38向下排气(图3)。
图4表示标线片用旋转架的块30和标线片运送装置10的前端的 手部42、 44。手部42卡住凸缘28并将其向上侧抬起，从而可对未 图示的标线片进行取出装入。在手部42的例如下侧具有标线片用的 手部44，这些手部通过关节40、 41在水平面内独立地旋转，当通过 手部42卡住凸缘28从而将层31a、 31b向上侧抬起时，手部44通过 关节41而转动并对层31b的下侧的标线片进行取出装入。46为洁净 气体供给路，由设置于各层31的开口和过滤器用的膜等构成，将洁 净气体向标线片侧供给。
说明实施例的动作。通过桥式吊车和人手部等运送到装载口 18 21的晶圆盒26，通过晶圆盒运送装置8向晶圆盒开闭器12或晶圆盒 用固定架14、 15运送。由于装载口 18、 19和装载口20、 21,以及 晶圆盒开闭器12和固定架14、 15的高度水平不同，所以使晶圆盒运 送装置8沿着升降导轨9升降。此处，晶圆盒用固定架14、 15，在 将多个晶圆盒连续地入库的情况下，用作暂存器，以补偿在晶圆盒开 闭器12的处理的延迟。并且，可预想到在曝光装置中的使用频率高、 在入库后立即被出库的标线片，不是通过晶圆盒开闭器12来与晶圆 盒26分离，而是以装入晶圆盒26中的状态保管在晶圆盒用固定架 14、 15中直至出库。通过晶圆盒开闭器12取出的标线片，通过标线 片运送装置10收纳到标线片用旋转架4中。在此，同时进行标线片 用旋转架4的旋转和标线片运送装置10的升降，如图4所示抬起所 希望的层并取出装入标线片。并且，留在晶圆盒开闭器12上的空的 晶圆盒，通过晶圆盒运送装置8被收纳到晶圆盒用旋转架6中。
在出库晶圆盒时，通过晶圆盒运送装置8从晶圆盒用旋转架6取 出空的晶圆盒，并安置到晶圆盒开闭器12上，同样，通过标线片运
送装置10从标线片用旋转架4取出所希望的标线片，并通过晶圆盒 开闭器12安置到晶圆盒内。安置有标线片的晶圆盒可以直接通过晶 圆盒运送装置8向装载口 18 21运送，而在装载口 18 21拥堵的情 况下，暂时保管在晶圆盒用固定架14、 15上，等待装载口 18 21空 余。在洁净储料机2的内部，来自洁净气体供给部16的洁净气体最 初供给到标线片用旋转架4上，然后向晶圆盒用旋转架6供给。因此， 可将收纳有裸露的标线片的标线片用旋转架4保持在特别洁净的环 境中，并防止标线片的污染。图5示意地表示晶圆盒运送装置8和标线片运送装置10的动作 范围。晶圆盒运送装置8在晶圆盒用旋转架6、晶圆盒开闭器12、晶 圆盒用固定架14、 15、以及装载口 18 21之间运送晶圆盒，通过使 具有多节臂和多个关节的运送装置主体沿升降导轨升降，由此可在狭 窄的空间内，对各种高度水平有效率地运送晶圆盒。标线片运送装置 10在标线片用旋转架4和晶圆盒开闭器12之间运送标线片，同样， 通过使具有多节臂和多个关节的运送装置主体沿升降导轨升降，由此 可在狭窄的空间内，对各种高度水平有效率地运送标线片。并且，通 过将旋转架4、 6上下重叠，并在其前表面侧的空余空间中以晶圆盒 开闭器12为中心将运送装置8、 IO相对配置，由此可有效率地进行 储料机内的运送。并且，通过在晶圆盒开闭器12的上下的空余空间 中，设置晶圆盒用固定架14、 15,可使其成为晶圆盒出入库的暂存 器。通过实施例可得到如下的效果。(1) 通过从洁净气体供给部16经由标线片用旋转架4向晶圆盒用 旋转架6供给洁净气体，可特别洁净地保持标线片用旋转架4内的环 境。(2) 由于在晶圆盒用旋转架6保管比保管标线片的数量少的数量 的晶圆盒即可，因此可在标线片用旋转架4上有效率且紧凑地保管多 个标线片。 (3) 当使用旋转架4、 6时，运送装置8、 10不必对架4、 6的全 部都进行物品或容器的取出装入，可使运送装置8、 IO所使用的空间 紧凑。(4) 通过在上下重叠的旋转架4、 6的一侧隔着晶圆盒开闭器12 地设置运送装置8、 10，可在紧凑的空间中、在从装载口到晶圆盒用 旋转架的范围内运送晶圆盒，并且可在晶圆盒开闭器和标线片用旋转 架之间运送标线片。
权利要求
1、一种洁净储料机，将物品收纳在容器中并从出入库口进行出入库，并且在洁净储料机内可使洁净气体向下吹气，其特征在于，设置用于将物品对于容器进行取出装入的开闭装置，将从容器取出的物品的保管架设置在上侧、容器的保管架设置在下侧、并上下配置为在俯视时重叠，还设置有用于在上述开闭装置和出入库口及容器的保管架之间运送容器的容器运送装置；以及用于在上述开闭装置和物品的保管架之间运送物品的物品运送装置。
2、 如权利要求1所述的洁净储料机，其特征在于， 上述物品的保管架和容器的保管架为，各自相互独立地自由水平旋转的旋转式架。
3、 如权利要求2所述的洁净储料机，其特征在于， 在上述物品的保管架和容器的保管架的一侧，上述物品运送装置和容器运送装置隔着上述开闭装置地相对配置。
4、 如权利要求2所述的洁净储料机，其特征在于， 在上述容器运送装置可运送容器的位置上，设置独立于上述容器保管架的、用于收纳容器的固定架。
5、 一种物品的保管方法，将物品收纳在容器中并从出入库口进 行出入库，并且可使洁净气体向下吹气来对物品进行洁净地保管，其 特征在于，通过开闭装置将物品对于从出入库口进行出入库的容器进行取 出装入，将容器的保管架设置在下侧、物品的保管架设置在上侧、并上下 配置为在俯视时重叠，并以从物品的保管架侧向容器的保管架侧的顺 序供给洁净气体， 设置用于运送容器的容器运送装置、和用于运送物品的物品运送 装置，在开闭装置和出入库口及容器保管架之间通过容器运送装置运 送容器，并且在物品的保管架和开闭装置之间通过物品运送装置运送 物品。
全文摘要
在洁净储料机(2)内的上部设置标线片用旋转架(4)、在下部设置晶圆盒用旋转架(6)，并向下供给洁净气体。使晶圆盒运送装置(8)和标线片运送装置(10)在储料机(2)内升降，并通过晶圆盒运送装置(8)连接装载口(18～21)、晶圆盒开闭器(12)以及晶圆盒用旋转架(6)。通过标线片运送装置(10)连接晶圆盒开闭器(12)和标线片用旋转架(4)之间。可紧凑地保管多个标线片和晶圆盒，特别是可将标线片洁净地保管。
文档编号B65G1/00GK101118375SQ20071013818
公开日2008年2月6日 申请日期2007年7月31日 优先权日2006年7月31日
发明者山本真 申请人:村田机械株式会社