专利名称：传送盒的存储架的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体生产中的存储装置，具体地说，涉及一种传送盒的 存储架。
背景技术：
在晶圆制造工厂内，传送盒是主要的晶圆存放设备，比较常用的是FOUPS (Front Opening Unified Pods,前开式传送盒)。对于某些准备累积足够批量进入 工艺设备的晶圆或者挡片的传送盒， 一般存放在洁净室内的存储架上。使用时， 再将传送盒搬出，由手推运输车(cart)或其他搬运装置搬运至需要的制程区。 传送盒存储架的大小根据厂房洁净室的空间来决定，为存储较多的传送盒，节 约成本， 一个存储架在竖直方向设有若干层隔板。
一般传统存储架的隔板是固定的，如果取置高层隔板上的传送盒，工作人 员需要踮脚或者借助其他工具才能拿到。如果需要取置低层隔板上的传送盒时， 工作人员需要弯腰才能拿到。 一个装满晶圆的传送盒约有9.8公斤重，长期从事 上述操作，容易导致工作人员腰酸背痛，损害工作人员的身体健康。
有鉴于此，需要提供一种新的存储架以改善上述问题。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题是提供一种方便取置传送盒又可以保护工作人 员身体健康的存储架。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种传送盒的存储架，其包括数 层用于存放传送盒的隔板，所述隔板可滑动地安装于存储架的内壁上，该存储 架还包括升降机构，其控制隔板在存储架内的运动。
所述升降机构包括制动装置以及连接制动装置与隔板的传动装置，启动制 动装置，通过传动装置控制隔板的升降运动。
该制动装置包括手柄以及第一、第二滑轮，其中手柄与第一滑轮由传动轴
连接；第一、第二滑轮由绳索连接；第二滑轮通过传动轴与传动装置连接，摇 动手柄可带动传动装置运动。
该传动装置包括凸轮、与凸轮配合的传动部以及连接传动部与隔板的支架。 进一步地，该凸轮设有数个不同深度的凹槽，传动部通过与不同凹槽配合，使 隔板位于存储架的不同高度位置。进一步地，该凸轮的转轴位置是固定的。
与现有技术相比，本实用新型增加了高度，充分利用了洁净室内的有限空 间，通过设置升降机构，工作人员不要弯腰或踮脚或其他工具就可以在舒适位 置轻松取置传送盒，有效地保护了工作人员的身体健康。
图la、 lb、 lc为采用本实用新型存储架取置不同高度传送盒的示意图。 图2为本实用新型存储架的升降机构的示意图。 图3为图2升降机构的制动装置的侧视示意图。 图4为图2升降机构的传动装置的侧视示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的较佳实施例进行描述，以进一步理解其实用 新型的目的、具体结构特征和优点。
请参阅图la、 lb、 lc，本实施例的存储架1具有三层隔板(未图示)，每一 隔板上放置一个传送盒4，所述隔板彼此之间位置固定，但整体可在存储架l的 内壁内滑动。该存储架1比现有存储架高，且具有足够空间容纳所述放置传送 盒4的隔板上下移动。该存储架1的前端位于工作人员腰部的位置处，具有一 个取置窗口 3，也就是说如果工作人员165厘米高，该取置窗口 3就设置在距离 洁净室地板100厘米处。工作人员通过该窗口 3搬取或放置传送盒4。本实施例 中的存储架1只在竖直方向上存放三个传送盒2，如果洁净室空间足够，该存储 架还可以竖直方向和水平方向设置更多的隔板，存放更多的传送盒。以下仅以 具有在竖直方向具有三个隔板的存储架1为例，对本实用新型进行详细描述。
请参阅图2至图4，该存储架1包括有升降机构2,该升降机构2包括制动
装置21以及传动装置22。该制动装置21包括安装在上述取置窗口 3 (见图la) 附近的手柄211、第一滑轮213以及第二滑轮214。手柄211与第一滑轮213通 过传动轴231连接，第一滑轮213与第二滑轮214通过绳索232连接。该传动 装置22包括凸轮233、具有球形外表面的传动部222以及连接该传动部222的 支架223。制动装置21与传动装置22通过第二滑轮214与凸轮221之间的传动 轴233相连接。所述传动装置22安装于存储架1的底部，支架223与最下层的 隔板相连。
请参阅图4,该凸轮221具有三个不同深度的凹槽2210、 2211、 2212，通 过转动凸轮221,传动部222可依次与凹槽2210、 2211、 2212配合。该凸轮221 的转轴2213的位置是固定的，所以传动部222与不同凹槽配合可以带动支架223 向上或向下运动，同时带动隔板上下运动。
升降^L构2的传动装置22在如图4所示位置时，即传动部222与第一凹槽 2210配合时，存储架l内的传送盒位于图lb所示位置，此时可以取置中间的传 送盒。如果想取置顶层的传送盒时，请参阅图la并结合图2至图4,顺时针摇 动手柄211，通过传动轴231带动第一滑轮213转动，进而通过绳索232带动第 二滑轮214转动，通过传动轴233带动凸轮221顺时针转动，直至凸轮221的 第二凹槽2212与传动部222配合，此时隔板在支架223的带动下下降到如图la 所示的位置，顶层的传送盒位于取置窗口 3，方便工作人员取置，而不需要踮脚 或其他辅助工具。如果想取置底层的传送盒时，逆时针转动手柄211,带动凸轮 221逆时针旋转，直至传动部222与第三凹槽2211配合，此时隔板上升到如图 lc所示位置，底层传送盒位于取置窗口 3,方便工作人员取置，而不要弯腰。
本实用新型存储架相对现有存储架增加了高度，充分利用洁净室有限的空 间。通过设置升降机构，工作人员不要弯腰或踮脚或其他工具就可以在腰部位 置也就是上述取置窗口的位置轻松取置传送盒，有效地保护了工作人员的身体 健康。
另外，本实用新型存储架使用的升降机构不限于上述揭示内容，对于本领 域的普通技术人员来说，可以采用其他业界通用的机械或电学机构实现传送盒 的升降运动，且均属于权利要求书中保护的内容。
权利要求1.一种传送盒的存储架，其包括数层用于存放传送盒的隔板，所述隔板可滑动地安装于存储架的内壁上，其特征在于，该存储架还包括升降机构，其控制隔板在存储架内的运动。
2. 如权利要求1所述的存储架，其特征在于所述升降机构包括制动装置以及 连接制动装置与隔板的传动装置，启动制动装置，通过传动装置控制隔板的升 降运动。
3. 如权利要求2所述的存储架，其特征在于该制动装置包括手柄以及第一、 第二滑轮，其中手柄与第一滑轮由传动轴连接；第一、第二滑轮由绳索连接； 第二滑轮通过传动轴与传动装置连接，摇动手柄可带动传动装置运动。
4. 如权利要求2所述的存储架，其特征在于该传动装置包括凸轮、与凸轮配 合的传动部以及连接传动部与隔板的支架。
5. 如权利要求4所述的存储架，其特征在于该凸轮设有数个不同深度的凹槽， 传动部通过与不同凹槽配合，使隔板位于存储架的不同高度位置。
6. 如权利要求4所述的存储架，其特征在于该凸轮的转轴位置是固定的。
专利摘要本实用新型公开了一种传送盒的存储架，涉及半导体生产中的存储装置。该存储架包括数层用于存放传送盒的隔板，所述隔板可滑动地安装于存储架的内壁上，该存储架还包括升降机构，其控制隔板在存储架内的运动。与现有技术相比，本实用新型增加了高度，充分利用了洁净室内的有限空间，通过设置升降机构，工作人员不要弯腰或踮脚或其他工具就可以在舒适位置轻松取置传送盒，有效地保护了工作人员的身体健康。
文档编号B65G1/04GK201065257SQ20072007197
公开日2008年5月28日 申请日期2007年6月29日 优先权日2007年6月29日
发明者刘佩宜, 李雨庭 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司