专利名称：自动仓库的制作方法
技术领域：
本发明涉及自动仓库、特别是用于在输送装置和处理装置之间保管物品的自动仓库。
背景技术：
在半导体或液晶的制造工厂中，在硅晶片或玻璃板等基板上经过薄膜形成、氧化、 蚀刻等各种处理结构而在基板上形成半导体器件或液晶器件。在该各种处理装置之间，基 板被收纳在盒(物品的一例)中并以盒为单位利用自动输送台车进行输送。在处理装置与 输送装置之间的交接场所处设有被称为装置前自动仓库的暂存区(buffer)，以对输送装置 与处理装置之间的处理时间进行调节(例如参照专利文献1)。现有的装置前自动仓库具有上下隔开间隔配置的用于保管盒的多个搁板和能够 在各搁板之间交接物品的移载装置。搁板上下隔开间隔地配置，最上面的搁板是与作为输送装置的自动输送台车之间 交接盒的盒交接场所。进而，在最下面的搁板的下方配置有与处理装置之间交接盒的盒交 接口(port)。利用处理装置在该交接口将基板从盒内取出，并利用处理装置对基板进行处理。移载装置在搁板的与处理装置相反的一侧面对处理装置配置，用于在各搁板之间 以及各搁板与交接口之间移载盒。通过设置这种装置前自动仓库，即便由于处理装置或输送装置的故障导致盒的供 给或者搬出迟滞也能够连续地搬入和搬出物品而不会导致系统停机(system down) 0[专利文献1]日本特开2001-298069号公报在这种结构的装置前自动仓库中，在对处理装置及其交接口进行维修时，装置前 自动仓库会成为妨碍。在该情况下，在维修过程中需要将装置前自动仓库卸下。在现有的 装置前自动仓库中，在这种情况下，卸下或安装耗费工夫从而有可能导致处理装置的工作 停止时间变长。
发明内容
本发明的课题在于，在装置前自动仓库中，能够尽可能地缩短处理装置的维修时 的工作停止时间。以下，作为用于解决课题的方法对多个方式进行说明。这些方式能够根据需要任
思组合。本发明所涉及的装置前自动仓库是与具有至少一个交接部的处理装置一起使用 的自动仓库，所述自动仓库具有多个搁板、移载装置以及移动体。多个搁板面向处理装置且 至少一个设置在交接部的上方。移载装置在多个搁板与交接部之间移载物品。移动体能够 使移载装置和多个搁板中的位于交接部的上方的至少一个搁板移动，该移动体能够以接近 第一位置和从第一位置离开的方式沿第一水平方向移动，在所述第一位置处，至少一个搁板配置在交接部的上方。在该装置前自动仓库中，对多个搁板供给物品，并利用移载装置在搁板之间以及 搁板与交接部之间移载物品。进而，当进行处理装置的维修时，使移动体朝离开该第一位置 的第一水平方向移动。于是，配置在交接部的上方的搁板和移载装置与移动体一起移动。当 维修结束时，使移动体朝接近第一位置的第一水平方向移动从而使其返回第一位置。此处，当进行维修时，仅通过使交接部的上方的搁板和移载装置从第一位置移动 就能够进行拆卸。并且，当维修结束时，通过使移动体返回第一位置能够安装搁板和移载装 置。因此，能够缩短搁板和移载装置的安装时间和拆卸时间。结果，在装置前自动仓库中， 能够尽可能地缩短处理装置的维修时的工作停止时间。移动体也可以具有多个车轮。移动体也可以能够使移载装置和多个搁板的全部移动。在该情况下，由于能够将装置前自动仓库整体卸下，因此容易进行维修。自动仓库也可以还具有止挡部，该止挡部能够使移动体在从第一位置离开的第二 位置停止且能够解除停止。在该情况下，由于移动体的移动范围被设定在第一位置与第二位置之间，因此通 过将可以不使电气布线脱离的位置设定在第二位置，在进行维修时仅使移动体移动即可。 因此，移动体的安装变得更加容易，在维修结束后能够更迅速地使处理装置工作。在第一位置与第二位置之间的至少包含第一位置的局部区域中，也可以还具有沿 水平方向弓丨导移动体的弓I导机构。在该情况下，由于移动体在包含第一位置的局部区域中被引导机构引导，因此能 够容易地将移动体安装于第一位置。自动仓库也可以还具有防翻倒部，该防翻倒部连结移动体和供移动体移动的地板 面，从而防止移动体翻倒。在该情况下，由于在拆卸和安装时移动体难以翻倒，因此能够提高移动体的拆卸 和安装作业的作业性。自动仓库也可以还具有在第一位置沿第一水平方向和与第一水平方向正交的第 二水平方向对移动体进行定位的定位机构。在该情况下，由于移动体在第一位置沿与设置面正交的第一水平方向和第二水平 方向被定位，因此在维修后当使移动体返回第一位置时不需要对移动体的位置进行调整， 能够迅速地高精度地将移动体配置在第一位置。因此，在维修结束后能够更加迅速地使处
理装置工作。自动仓库也可以还具有防翻倒部，该防翻倒部连结移动体和供移动体移动的地板 面，从而防止移动体翻倒，防翻倒部在移动体从引导机构脱离的位置防止移动体翻倒。止挡部也可以具有连杆机构，该连杆机构包括具有第一连杆和第二连杆的斯科特 一拉塞尔连杆，该第一连杆一端能够连结于地板面、另一端以能够上下滑动的方式由移动 体引导，该第二连杆一端连结于第一连杆的中间部、另一端连结于移动体的下部，止挡部连 结移动体和供移动体移动的地板面，从而防止移动体翻倒。自动仓库也可以还具有定位机构，该定位机构具有固定板，在第一位置固定于 供移动体移动的地板面；第一定位块，配置于固定板；以及第二定位块，配置在移动体的底部，并从第二位置侧与第一定位块接触。在该情况下，引导机构也可以具有竖立设置于固定板的引导辊和与引导辊卡合而 被引导的导轨。在该情况下，导轨也可以具有配置在移动体的底部的第一轨道部件和配置 在第一轨道部件的第二位置侧的第二轨道部件。在该情况下，定位机构和第二轨道部件也 可以将移动体定位在第一位置。发明效果根据本发明，当进行维修时仅通过使交接部上方的搁板和移载装置从第一位置移 动就能够进行拆卸。并且，当维修结束时，通过使移动体返回第一位置就能够安装搁板和移 动装置。因此，能够缩短搁板和移动装置的拆卸时间和安装时间。结果，在装置前自动仓库 中，能够尽可能地缩短处理装置的维修时的工作停止时间。
图1是基于本发明的一个实施方式的装置前自动仓库的主视立体图。图2是移动到第二位置时的装置前自动仓库的后视立体图。图3是除去其外壁面板后的主视图。图4是其侧视剖视图。图5是框架下部的放大局部剖视图。图6是定位机构周边的主视放大图。图7是定位机构周边的侧视局部放大剖视图。图8是引导机构周边的主视局部放大剖视图。图9是引导机构的导轨的俯视局部图。图10是移动到第二位置时的装置前自动仓库的俯视图。标记说明10 装置前自动仓库；12 半导体处理装置；14 交接口 ； 14a 盒载置台；20 框架； 20a 柱部件；20b 连结部件；20c 底板部件；21 车轮；22 外壁面板；24 搁板；25 定位机 构；26 移载装置；27 引导机构；29 止挡机构；30a 铅直通路；30b 水平通路；31 防翻倒 机构；32 水平导轨；33 控制盘；34 铅直导轨；35 电缆拖链(cableveyor) ；36 移载头； 36a 保持部；36b 盒识别传感器；40a 上轨道部件；40b 下轨道部件；44 水平驱动马达； 50 铅直驱动马达；54 连结轴；60 固定板；62 第一定位块；62a 检测部；64 第二定位 块；64a 凹部；66 固定螺栓；68 防脱环；69 限位开关；70 引导辊；70a 引导轴；70b 凸 轮从动件；72 导轨；74 第一轨道部件；74a 第一引导部；74b 第一对置部；76 第二轨道 部件；76a 第二引导部；76b 第二对置部；78 连杆机构；80 滑轨；82 第一连杆；84 第二 连杆；C:盒；Cl 突起部。
具体实施例方式(1)自动仓库的整体结构在图1至图4中，基于本发明的一个实施方式的装置前自动仓库10例如配置在未 图示的桥式行走自动输送台车与作为处理装置的一例的半导体处理装置12 (图4)之间。装 置前自动仓库10以与配置在半导体处理装置12的外周的交接口 14重叠的方式配置。交接口 14例如具有四个盒载置台14a。装置前自动仓库10保管从未图示的自动输送台车搬入且收纳有将由半导体处理 装置12处理的处理前的多片基板的盒(物品的一例)C。自动输送台车使升降台升降以移 载盒C。自动输送台车在装置前自动仓库10的上方停止并使升降台下降，并与后述的搁板 24或者交接口 14之间移载盒C。装置前自动仓库10还保管收纳有由半导体处理装置12处理且由自动输送台车搬 出的处理完的基板的盒C。装置前自动仓库10具有框架20、以围绕框架20的外侧面的方 式配置的外壁面板22、用于载置盒C的搁板24、以及移载装置26。框架20是移动体的一例，该框架20能够与搁板24 —起从第一位置沿接近和远离 交接口 14的第一水平方向即X方向移动且能够在第一位置固定。第一位置是搁板24配置 在交接口 14的上方的图1和图3所示的位置。另外，交接口 14的上方或者下方是指在俯 视图中搁板24以与交接口 14重叠的方式配置的状态。移载装置26在多个搁板24与多个盒载置台14a之间输送盒C。并且，装置前自动仓库10还具有定位机构25、引导机构27、止挡机构29以及防翻 倒机构31。定位机构25在第一位置对框架20进行定位。引导机构27沿X方向引导框架 20。止挡机构29能够使框架20在从第一位置离开的图2所示的第二位置停止且能够解除 停止。防翻倒机构31用于防止框架20翻倒。(2)框架以及外壁面板的结构如图2和图3所示，框架20具有配置在四角的四根柱部件20a ；在前后左右连结 柱部件20a的连结部件20b ；以及配置在柱部件20a的下端的两个底板部件20c。另外，在 左右方向连接柱部件20a的连结部件20b主要配置在半导体处理装置12侧即背面，在正面 并未配置。两个底板部件20c分别沿X方向配置，并连结框架20的配置在与X方向正交的 第二水平方向即Y方向的两端的各两根柱部件20a的下端。在底板部件20c的两端的下面 沿X方向隔开间隔分别安装有两个车轮21。由此，框架20能够沿X方向移动。如图10所示，在框架20设有控制盘33。在控制盘33与地板面之间，电气配线通 过电缆拖链35内部布线。电缆拖链35能够移动的距离是后述的预定行程ST。该预定行程 ST例如为950mm。另外，当框架20位于第一位置时，电缆拖链35被紧凑地收纳在交接口 14 的前方。半导体处理装置12的交接口 14配置在框架20的下部。交接口 14能够载置盒C。 在半导体处理装置12中，打开盒C，对收纳在内部的例如圆形的基板实施处理，并将处理完 毕的基板收纳于盒C。外壁面板22形成为覆盖装置前自动仓库10的正面以及左右的侧面，并且覆盖背 面的上部。(3)搁板的结构搁板24沿上下方向和左右方向配置。在该实施方式中，设有左右三列、上下三级 的总计九个搁板。搁板24能够将盒C定位并载置于上表面。搁板24固定于框架20的沿 Y方向配置的连结部件20b。在Y方向设有铅直通路30a，移载装置26能够在搁板24之间 沿上下方向通过该铅直通路30a。在该实施方式中，搁板24在Y方向以搁板24、铅直通路 30a、搁板24、铅直通路30a、搁板24的顺序排列，所有的搁板24都面向铅直通路30a。由此，移载装置26能够在所有的搁板24和交接口 14之间移载盒C。在搁板24设有用于识别 盒C的盒读取器(未图示)。最上级的搁板24用于进行与自动输送台车之间的盒C的交 接。最下级的搁板24与交接口 14之间成为水平通路30b。(4)移载装置的结构移载装置26是具有沿着左右方向的水平轴和铅直轴这两个轴的装置，能够在水 平轴方向移动并保持盒C。移载装置26具有水平轨道32、沿着水平轨道32移动的铅直轨 道34、以及沿着铅直轨道34独立地移动的移载头36。水平轨道32在搁板24的正面侧与 搁板24隔开间隙沿水平方向配置。如图3所示，水平轨道32沿左右方向配置。如图3和图4所示，水平轨道32具有 上轨道部件40a和下轨道部件40b。在上轨道部件40a和下轨道部件40b分别卷绕有未图 示的同步带。同步带由固定于上轨道部件40a的水平驱动马达44驱动。另外，水平驱动马 达44的旋转力还经由连结轴54传递到下轨道部件40b。铅直轨道34固定于上下的同步
市ο如图3所示，铅直轨道34具有铅直轨道34和用于沿铅直方向驱动移载头36的铅 直驱动马达50。这些部件的结构与水平轨道32的上轨道部件40a相同。移载头36固定于 未图示的同步带。如图4所示，一对保持部36a以能够沿左右方向(与图4的纸面正交的方向)开 闭的方式配置于移载头36，这一对保持部36a能够保持突出地形成于盒C的上表面的突起 部Cl。并且，在移载头36的能够与盒C对置的位置设有用于识别盒C的盒识别传感器36b。 移载头36具有用于开闭保持部36a的未图示的移载头马达。当进行相对于搁板24的搬入 和搬出时，移载头36使保持部36a开闭从而解除对突起部Cl的保持和保持突起部Cl。移 载头36由水平轨道32和铅直轨道34引导，并在两条铅直通路30a和水平通路30b移动。(5)定位机构的结构如图5所示，定位机构25配置在底板部件20c的下表面与地板面之间，所述底板 部件20c配置在框架20的Y方向的两端。定位机构25具有两个固定板60，这两个固定 板60在第一位置在底板部件20c的下方固定于地板面；第一定位块62，该第一定位块62配 置在固定板60的正面侧的端部上表面；以及第二定位块64，该第二定位块64配置在底板 部件20c的正面侧的端部下表面。第二定位块64从正面侧抵接于第一定位块62。第二定 位块64利用从正面插入的固定螺栓66固定于第一定位块62。如图8所示，在第二定位块 64的固定螺栓66贯通部分形成有圆形的凹部64a。在该凹部64a内，在固定螺栓66上装 配有例如弹性体制作的防脱环68。由此，即便在使框架20移动时松弛固定螺栓66从而该 固定螺栓66从第一定位块62脱出，该固定螺栓66也不会落下。通过使第二定位块64抵 接于该第一定位块62，能够在第一位置沿X方向对框架20进行定位。另外，在第一定位块62凹陷形成有检测部62a，框架20返回第一位置时接通的限 位开关69与该检测部62a接触。限位开关69固定于底板部件20c。另外，Y方向的定位利 用后述的引导机构27的一部分的结构进行。因此，引导机构27的一部分的结构也构成定 位机构25。如图8至图10所示，引导机构27在包含第一位置的部分区域内沿X方向对框架 20进行引导。引导机构27具有竖立设置于固定板60的引导辊70和与引导辊70卡合而被引导辊70引导的导轨72。引导辊70设于两个固定板60中的一方。在该实施方式中， 引导辊70竖立设置于图10右侧的固定板60的第一定位块62的进深侧的上表面。如图8 所示，引导辊70具有竖立设置于固定板60的引导轴70a和拧进引导轴70a的凸轮从动件 70b。导轨72沿X方向配置于竖立设置有引导辊70的底板部件20c的下表面。导轨72 的X方向的全长比预定距离ST短。如图9所示，导轨72具有第一轨道部件74和在X方向 与第一轨道部件74并列配置的第二轨道部件76。第一轨道部件74具有夹着凸轮从动件 70b的外周面对置配置的一对第一引导部74a和以与凸轮从动件70b的下表面对置的方式 配置在第一引导部74a的下表面的一对第一对置部74b。如图8所示，利用第一引导部74a 和第一对置部74b以覆盖凸轮从动件70b的方式形成为截面为L字形的形状。第一引导部 74a利用引导辊70沿X方向引导框架20。第一对置部74b是用于防止引导过程中的框架 20翻倒的部件。这些部件通过螺栓固定于底板部件20c。第一引导部74a以与凸轮从动件 70b的外周面之间的间隙例如为大约Imm的方式配置。第一引导部74a的入口(图9上侧) 以当从第一位置返回第一位置时间隙逐渐变窄的方式朝正面侧扩大。第二轨道部件76是为了进行Y方向的定位而设置的。因此，第二轨道部件76不 仅作为引导机构27发挥功能，还作为定位机构25发挥功能。如图9所示，第二轨道部件76 是大致正方形的部件，具有第二引导部76a和第二对置部76b。第二引导部76a以与凸轮 从动件70b的外周面之间的间隙例如大约为0. 3mm的方式配置。由此，框架20在Y方向被 定位。第二引导部76a和第二对置部76b具有与第一引导部74a和第一对置部74b同样的 功能，并利用螺栓固定于底板部件20c的下表面。第二引导部76a—端开口而另一端封闭。 在第一轨道部件74与第二轨道部件76连结的连结部分形成有细微的间隙。在该连结部分 处，第一引导部74a形成为末端稍稍变宽，第二引导部76a形成为前端稍稍变细。(6)止挡机构的结构止挡机构29具有防止框架20在从引导机构27脱离的位置翻倒的功能。如图2 所示，止挡机构29由被称为斯科特一拉塞尔(scott russell)连杆的左右一对连杆机构78 构成。连杆机构78具有第一连杆82和一端连结于第一连杆82的中间部的第二连杆84。 第一连杆82的一端以能够自由转动的方式连结于固定板60的背面侧的端部，另一端由沿 上下方向配置于框架20的背面的滑轨80在上下方向引导。第二连杆84的另一端以能够 自由转动的方式连结于底板部件20c的背面侧的端部。在这种结构的连杆机构78中，框架 20大致平行移动。并且，滑轨80形成为在中途限制第一连杆82的另一端的朝向下方的移 动。由此，框架20的移动范围被限制。在该实施方式中，对于框架20，作为维修所需的最小 限度的行程，第一位置和第二位置之间的预定行程ST如上所述例如为950mm。S卩，当从背面 侧推压框架20而使框架20从第一位置移动950mm时，框架20停止在第二位置。当从正面 侧推压位于第二位置的框架20时则停止被解除从而能够使框架20朝第一位置移动。并且，止挡机构29直到在中途被引导机构27引导为止还作为防止框架20翻倒的 防翻倒机构31发挥功能。另外，当使框架20移动到由止挡机构29限制的移动范围外时， 电缆拖链35和电气配线与连杆机构78脱离，解除基于止挡机构29的限制。(7)装置前自动仓库的动作及其移动动作在以上述方式构成的装置前自动仓库10中，未图示的自动输送台车将盒C搬入最上级的搁板24中的任一个。接着，移载装置26从该盒C被搬入的最上级的搁板24所面对 的铅直通路30a将搬入的盒C移载至下方的两列的两级的搁板24中的任一个。进而，移载 装置26根据来自半导体处理装置12的要求进一步将盒C移载至交接口 14。当进行该移载时，移载头36在打开保持部36a的状态下移动至移载对象的盒C的 中心的上方。具体而言，移载头36在移载对象的盒C所面对的铅直通路30a中移动，并沿 着铅直导轨34上升。进而，当到达盒C的上方时，移载头36沿着水平导轨32水平地移动 到盒C的中心。接着，使移载头36下降，最后利用移载头马达关闭保持部36a从而保持突 起部Cl。由此突起部Cl被保持，从而能够移载盒C。进而，从最上级的搁板24将盒C移载 至下方的两级的搁板24中的任一个。并且，根据移载命令，也可以直接移载至交接口 14的 盒载置台14a。另一方面，当由于半导体处理装置12的维修或者装置前自动仓库10的维修等而 将框架20从第一位置卸下的情况下，松弛配置于正面下部的固定螺栓66并使第二定位块 64从第一定位块62脱离。此时，利用防脱环68防止固定螺栓66脱出，从而固定螺栓66不 会脱落。在该状态下，手动地推压框架20的背面侧从而使框架20从第一位置朝第二位置 移动。于是，连杆机构78的第一连杆82的另一端在框架20的背面沿着滑轨80逐渐下降。 并且，导轨72由引导辊70引导从而框架20沿着X方向几乎不会晃动地移动。当框架20 到达第二位置时，连杆机构78的第一连杆82在滑轨80的下端被限制而不能进一步下降。 结果，框架20的X方向的移动停止。此时，由于布线由电缆拖链35引导，因此不需要使布 线脱离。在装置前自动仓库10的维修过程中，有时会利用自动输送装置搬入需要处理的 盒C、或者将处理完毕的盒C搬入交接口 14。在该情况下，盒C直接在交接口 14与自动输 送装置之间进行移载。这样，由于能够利用交接口 14与自动输送装置直接移载盒C，因此， 在装置前自动仓库10的维修过程中，不需要停止半导体处理装置12的工作。当半导体处理装置12的维修结束时，手动地推压框架20的正面侧。此时，直到导 轨72与引导辊70卡合为止，连杆机构78防止翻倒。并且，左右一对连杆机构78使框架20 平行移动。当导轨72与引导辊70卡合时，框架20在X方向由引导辊70引导。并且，利用 引导辊70能够防止框架20翻倒。进而，当两个第二定位块64分别抵接于两个第一定位块 62时，X方向的定位结束。并且，此时，引导辊70与导轨72的第二轨道部件76卡合。由此 进行框架20的Y方向的定位。在该状态下，如果紧固两根固定螺栓66从而将第二定位块 64固定于第一定位块62的话，则安装作业结束。此时，限位开关69接通，将安装作业结束 的情况报知半导体处理装置12等。(8)特征(A)装置前自动仓库10具有多个搁板24、移载装置26以及能够移动的框架20。 多个搁板24面向半导体处理装置12，且至少一个设置在与半导体处理装置12之间进行交 接的交接口 14的上方。移载装置26沿着多个搁板24移动，且在多个搁板24与交接口 14 之间移载盒C。框架20设有移载装置26和多个搁板24中的至少一个搁板，能够从搁板24 配置于交接口 14的上方的第一位置朝接近和离开交接口 14的X方向移动，且能够在第一 位置固定。
在该装置前自动仓库10中，盒C被供给至多个搁板24，利用移载装置26在搁板24 之间以及搁板24与交接口 14之间移载盒C。进而，当进行半导体处理装置12的维修时，使 框架20从第一位置朝离开的方向移动。于是，设在交接口 14的上方的搁板24和移载装置 26与框架20 —起移动。当维修结束时，使框架20朝接近第一位置的方向移动从而使框架 20返回第一位置。此处，当进行维修时仅通过使框架20从第一位置移动就能够将交接口 14的上方 的搁板24和移载装置26卸下。并且，当维修结束时，通过使框架20返回第一位置，能够安 装交接口 14的上方的搁板24和移载装置26。因此，至少能够缩短一个搁板24和移载装置 26的拆卸时间和安装时间。结果，在装置前自动仓库10中，能够尽可能地缩短半导体处理 装置12的维修时的工作停止时间。(B)框架20具有多个车轮21。并且，框架20能够使移载装置26和多个搁板24 的全部移动。因此，由于能够将装置前自动仓库10整体卸下，因此能够容易地进行维修。(C)还具有能够使框架20在从第一位置离开的第二位置停止且能够解除停止的 止挡机构29。因此，由于框架20的移动范围被设定在第一位置与第二位置之间，因此通过 将可以不使电气布线脱离的位置设定在第二位置，在进行维修时仅使框架20移动即可。因 此，框架20的安装变得更加容易，在维修结束后能够迅速地使半导体处理装置12工作。(D)还具有引导机构27，该引导机构27在第一位置与第二位置之间的包含第一位 置的局部区域中，沿X方向引导框架20。因此，由于框架20在包含第一位置的局部区域中 被引导机构27引导，所以能够容易地将框架20安装于第一位置。(E)还具有防翻倒机构31，该防翻倒机构31连结框架20和供框架20移动的地板 面从而防止框架20翻倒。因此，由于在拆卸和安装时框架20难以翻倒，因此能够提高框架 20的拆卸和安装作业的作业性。(F)还具有在第一位置沿X方向和与X方向正交的Y方向对框架20进行定位的定 位机构25。因此，由于框架20在第一位置沿与设置面正交的X方向和Y方向被定位，因此 在维修后当使框架20返回第一位置时不需要对框架20的位置进行调整，能够迅速且高精 度地将框架20配置在第一位置。因此，在维修结束后能够更加迅速地使处理装置工作。(9)其他的实施方式以上对本发明的一个实施方式进行了说明，但是，本发明并不限定于上述实施方 式，能够在不脱离发明的主旨的范围内进行各种变更。特别地，本说明书中记载的多个实施 方式和变形例能够根据需要任意组合。(a)在上述实施方式中，将搁板24的前部和移载装置26固定于框架，并使所有的 搁板移动，但是本发明并不限定于此。例如，也可以将框架分成固定框架和移动框架，并将 未配置在交接口的上方的搁板固定于固定框架。在该情况下，当进行维修时可以并不使自 动仓库整体移动，因此框架的移动容易。(b)在上述实施方式中，将引导机构仅设置于左右一方，但是也可以设置于左右双 方。在该情况下，由于能够在左右两侧进行引导，因此能够利用弓丨导机构进行X方向和Y方 向两个方向的定位。(c)在上述实施方式中，利用引导辊和导轨构成引导机构，但是，本发明并不限定 于此。例如也可以利用伸缩的轨道或弓架(pantograph)构成引导机构和止挡机构。
(d)在上述实施方式中，构成为能够利用车轮使框架20移动，但是，也可以构成为 代替车轮采用球面支承部件或者低摩擦部件使框架移动。产业上的可利用性本发明能够广泛应用于具有搁板和移载装置、用于保管物品的装置前自动仓库。
权利要求
一种自动仓库，与具有至少一个交接部的处理装置一起使用，其特征在于，具有多个搁板，面向所述处理装置且至少一个设置在所述交接部的上方；移载装置，在所述多个搁板与所述交接部之间移载物品；以及移动体，能够使所述移载装置和所述多个搁板中的位于所述交接部的上方的至少一个所述搁板移动，所述移动体能够以接近第一位置和从所述第一位置离开的方式沿第一水平方向移动，在所述第一位置处，所述至少一个搁板配置在所述交接部的上方。
2.根据权利要求1所述的自动仓库，其特征在于，所述移动体具有多个车轮。
3.根据权利要求1所述的自动仓库，其特征在于，所述移动体能够使所述移载装置和所述多个搁板的全部移动。
4.根据权利要求2所述的自动仓库，其特征在于，所述移动体能够使所述移载装置和所述多个搁板的全部移动。
5.根据权利要求1所述的自动仓库，其特征在于，所述自动仓库还具有止挡部，该止挡部能够使所述移动体在从所述第一位置离开的第 二位置停止且能够解除停止。
6.根据权利要求5所述的自动仓库，其特征在于，所述自动仓库还具有弓I导机构，该引导机构在包含所述第一位置但不包含所述第二位 置的区域，沿所述第一水平方向引导所述移动体。
7.根据权利要求1所述的自动仓库，其特征在于，所述自动仓库还具有防翻倒部，该防翻倒部连结所述移动体和供所述移动体移动的地 板面，从而防止所述移动体翻倒。
8.根据权利要求1所述的自动仓库，其特征在于，所述自动仓库还具有在第一位置对所述移动体进行定位的定位机构。
9.根据权利要求6所述的自动仓库，其特征在于，所述自动仓库还具有防翻倒部，该防翻倒部连结所述移动体和供所述移动体移动的地 板面，从而防止所述移动体翻倒；所述防翻倒部在所述移动体从所述引导机构脱离的位置防止所述移动体翻倒。
10.根据权利要求5所述的自动仓库，其特征在于，所述止挡部具有连杆机构，该连杆机构包括具有第一连杆和第二连杆的斯科特_拉塞 尔连杆，所述第一连杆一端能够连结于所述地板面、另一端以能够上下滑动的方式由移动 体引导，所述第二连杆一端连结于所述第一连杆的中间部、另一端连结于移动体的下部；所述止挡部连结所述移动体和供所述移动体移动的地板面从而防止所述移动体翻倒。
11.根据权利要求6所述的自动仓库，其特征在于，所述自动仓库还具有定位机构，该定位机构具有固定板，在所述第一位置固定于供所 述移动体移动的地板面；第一定位块，配置于所述固定板；以及第二定位块，配置在所述移 动体的底部，并从第二位置侧与所述第一定位块接触。
12.根据权利要求11所述的自动仓库，其特征在于，所述引导机构具有竖立设置于所述固定板的引导辊和与所述引导辊卡合而被引导的 导轨；所述导轨具有配置在所述移动体的底部的第一轨道部件和配置在所述第一轨道部件 的第二位置侧的第二轨道部件；所述定位机构和所述第二轨道部件将所述移动体定位在所述第一位置。
全文摘要
本发明提供一种自动仓库。在装置前自动仓库中，尽可能地缩短处理装置的维修时的工作停止时间。装置前自动仓库(10)具有多个搁板(24)、移载装置(26)以及能够移动的框架(20)。多个搁板(24)面向半导体处理装置(12)且至少一个设置在与半导体处理装置(12)进行交接的交接口(14)的上方。移载装置(26)沿着多个搁板(24)移动并在多个搁板(24)与交接口(14)之间移载盒(C)。框架(20)使移载装置(26)和多个搁板(24)中的至少一个搁板(24)能够移动，该框架(20)能够接近至少一个搁板(24)配置于交接口(14)的上方的第一位置且能够从第一位置朝X方向移动。
文档编号B65G1/10GK101920834SQ20101020276
公开日2010年12月22日 申请日期2010年6月11日 优先权日2009年6月15日
发明者伊藤靖久 申请人:村田机械株式会社