电子射线照射装置的制造方法

文档序号:11056939阅读:来源:国知局
技术总结
一种电子射线照射装置,抑制由从电子射线发生部(34)照射的电子射线在真空室(40)内产生X射线的现象。在维持真空状态的真空室(40)内配置电子射线发生部(34),从该电子射线发生部(34)照射的电子射线经由安装在真空室(40)的壁面上所形成的开口部(36b)中的照射窗(44)而向外部释放。在该照射窗(44)的窗框(48)等的被照射电子射线的部位安装并覆盖有碳纤维增强塑料(56)的板体。

技术研发人员:澁谷弘利;中俊明;西纳幸伸;阿部亮;西富久雄;山本幸宏
受保护的技术使用者:澁谷工业株式会社
文档号码:201310054910
技术研发日:2013.02.20
技术公布日:2017.05.24

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