清扫装置制造方法
清扫装置制造方法
【专利摘要】提供一种清洁室中的设置较有利的顶棚输送车（3）的清扫装置。清扫装置具备空气喷出装置（C），将顶棚输送车（3）清扫，将沿着配设在清洁室内的顶棚侧的行进轨道（2）行进自如的顶棚输送车（3）在被从外部空间（Z1）遮蔽的遮蔽空间（Z2）中设为行进停止状态，所述空气喷出装置（C）对顶棚输送车（3）喷出空气。
【专利说明】清扫装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种清扫装置，其具备对沿着配设在清洁室内的顶棚侧的行进轨道行进的顶棚输送车喷出空气的空气喷出装置，将上述顶棚输送车清扫。
【背景技术】
[0002]上述那样的清扫装置能够将随着清洁室内的行进而尘埃堆积、附着的顶棚输送车清扫的装置，为了防止随着清扫产生的尘埃飞散到清洁室内，具备形成被从外部空间遮蔽的遮蔽空间的区划体，在由该区划体形成的遮蔽空间中，空气喷出装置进行顶棚输送车的清扫。
[0003]作为关于这样的清扫装置的一例，有以下这样的装置:设在顶棚输送车的行进路径上，空气喷出装置构成为一边使顶棚输送车行进一边清扫。(例如，参照专利文献I)。
[0004]专利文献1:特开2008 - 214084号公报。
【发明内容】
[0005]如果是上述专利文献I的结构，则顶棚输送车在清扫装置清扫动作的期间中沿着行进路径行进移动，所以能够防止随着清扫产生的尘埃飞散到清洁室内。此外，为此需要将形成遮蔽空间的区划体用与在清扫中行进移动的顶棚输送车的行进移动量对应的长度较长的部件构成，清扫装置的结构变得庞大。此外，在清洁室中要求高度的空间使用效率，但在上述专利文献I的结构中，由于为了设置区划体而占用行进路径中的较长的部分，所以并不好。
[0006]鉴于上述背景，希望实现一种清洁室中的设置较有利的顶棚输送车的清扫装置。
[0007]有关本发明的清扫装置，具备对顶棚输送车喷出空气的空气喷出装置，将上述顶棚输送车清扫，所述顶棚输送车沿着配设在清洁室内的顶棚侧的行进轨道行进，所述清扫装置设有区划体，所述区划体形成被从外部空间遮蔽的遮蔽空间；上述区划体构成为，上述顶棚输送车通过行进移动而向上述遮蔽空间进入自如；上述空气喷出装置在上述遮蔽空间中对行进停止状态的上述顶棚输送车进行清扫动作。
[0008]根据上述结构，顶棚输送车在通过行进移动进入到由区划体形成的遮蔽空间中之后，通过停止在遮蔽空间内，空气喷出装置能够将顶棚输送车清扫。顶棚输送车由于在被空气喷出装置清扫的期间中停止在遮蔽空间内，所以作为遮蔽空间，将顶棚输送车包围的程度的大小就足够。因此，区划体的行进方向上的长度与顶棚输送车的行进方向的长度相当的程度的紧凑的结构就足够，清洁室中的设置变得有利。
[0009]这样，根据上述结构，能够实现清洁室中的设置较有利的顶棚输送车的清扫装置。
[0010]以下，对本发明的优选的实施方式的例子进行说明。
[0011]在有关本发明的清扫装置的实施方式中，优选的是，在上述区划体上具备风扇过滤器单元，所述风扇过滤器单元具备:将上述遮蔽空间内的空气吸入并向上述遮蔽空间外排出的风扇、和将该排出的空气净化的过滤器。
[0012]根据上述结构，从空气喷出装置喷出空气，随着顶棚输送车被清扫，堆积在顶棚输送车上的尘埃被吹飞，浮动到遮蔽区间中。这样含有随着顶棚输送车的清扫产生的尘埃的空气被风扇过滤器单元的风扇吸入，作为排出空气排出。该排出空气被风扇过滤器单元的过滤器净化，尘埃被除去。
[0013]这样，通过在区划体上具备将风扇和过滤器单元化的风扇过滤器单元的简单的结构，能够防止随着顶棚输送车的清扫产生的尘埃飞散到遮蔽空间的外部。因而，在实现清洁室的污染防止的同时，能够抑制结构的复杂化。
[0014]在有关本发明的清扫装置的实施方式中，优选的是，在上述区划体上，设有上述顶棚输送车向上述遮蔽空间进入的进入口、和上述顶棚输送车从上述遮蔽空间退出的退出口 ；所述清扫装置具备:进入口开闭装置，向将上述进入口开放的开状态和闭锁的闭状态切换自如；退出口开闭装置，向将上述退出口开放的开状态和闭锁的闭状态切换自如；控制装置，控制上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置的开闭动作以及上述空气喷出装置的清扫动作；尘埃浓度计测装置，计测上述遮蔽空间中的尘埃的浓度；构成为，上述控制装置在上述顶棚输送车在上述遮蔽空间中停止的状态下控制上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置的动作，以使上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置成为上述闭状态，然后控制上述空气喷出装置的动作，以使上述空气喷出装置的清扫动作开始；并且，上述控制装置在使上述空气喷出装置的清扫动作开始后，基于上述尘埃浓度计测装置的计测信息，如果判别为上述遮蔽空间中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度，则控制上述空气喷出装置的动作，以使上述空气喷出装置的清扫动作结束。
[0015]根据上述结构，在顶棚输送车在遮蔽空间中停止的状态下进入口开闭装置及退出口开闭装置成为闭状态后，开始空气喷出装置的清扫动作。并且，通过由空气喷出装置对顶棚输送车的清扫产生的尘埃被风扇过滤器单元净化，被从遮蔽空间向遮蔽空间外排出。如果这样顶棚输送车的清扫进行，则遮蔽空间中的尘埃的浓度逐渐下降。
[0016]控制装置基于尘埃浓度检测装置的检测信息，如果判别为遮蔽空间中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度，则使空气喷出装置的清扫动作结束。由此，将能够将堆积在顶棚输送车上的尘埃清扫到希望的状态的情况下的尘埃浓度预先设定为设定尘埃浓度，由此能够在将顶棚输送车清扫到希望的状态的阶段中使空气喷出装置的动作停止。
[0017]根据上述结构，能够可靠地使空气喷出装置动作直到顶棚输送车成为希望的清扫状态，并且能够防止以清扫所需以上使顶棚输送车停止约束在遮蔽空间中。
[0018]另外，在使空气喷出装置的动作停止后、或者同时或刚要停止之前使退出口开闭装置成为开状态，由此清扫完成的顶棚输送车能够从遮蔽空间向外部行进移动而退出。另夕卜，在顶棚输送车退出后，也可以在使进入口开闭装置成为开状态、使退出口开闭装置成为闭状态的待机用开闭状态下，等待下个顶棚输送车的进入。顺便说一下，在将清扫装置设在行进路径的端部的情况下，将进入口开闭装置及退出口开闭装置兼用。
[0019]在有关本发明的清扫装置的实施方式中，优选的是，上述空气喷出装置以自如变更喷出对象部位的状态，具备多个喷出空气的喷嘴而构成。
[0020]根据上述结构，由于空气喷出装置具备的喷出喷嘴自如变更喷出对象部位且设有多个，所以空气喷出装置能够对顶棚输送车的多个部位一边变更喷出部位一边进行清扫动作。因而，通过适当配置多个喷出喷嘴、使这些喷出喷嘴的喷出对象部位变化而向顶棚输送车喷出空气，即使不对应于顶棚输送车中的需要清扫的全部部位分别设置喷出喷嘴，也能够将顶棚输送车的需要清扫的部位适当地清扫。
[0021]在有关本发明的清扫装置的实施方式中，优选的是，设有维护用的升降装置，所述维护用的升降装置具备在上述行进轨道上行进的上述顶棚输送车进入自如的壳体，在上述壳体内具备使上述顶棚输送车向地面侧脱离的升降机构；上述遮蔽空间由作为上述区划体的上述壳体形成；上述空气喷出装置设在上述壳体内。
[0022]根据上述结构，由于能够在设置于顶棚输送设备上的维护用的升降装置的壳体内进行顶棚输送车的清扫，所以能够有效地利用与维护用的升降装置占用的清洁室中的地面部分对应的空间区域。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1是顶棚输送设备的整体俯视图。
[0024]图2是具备清扫装置的维护用的升降装置的部分纵剖侧视图。
[0025]图3是具备清扫装置的维护用的升降装置的部分纵剖主视图。
[0026]图4是具备清扫装置的维护用的升降装置的部分纵剖立体图。
[0027]图5是控制框图。
[0028]图6是控制框图。
[0029]图7是清扫控制的流程图。
【具体实施方式】
[0030]接着，基于【专利附图】
【附图说明】有关本发明的清扫装置的实施方式。
[0031]如图1所示，沿着以经由多个物品处理部I的方式设定的设定移动路径，在顶棚侧设置有顶棚输送车行进用的行进轨道2，沿着设定移动路径行进的顶棚输送车3以被行进轨道2导引支承的状态设置。
[0032]并且，顶棚输送车3构成为，从图外的物品运入部位向物品处理部1、从物品处理部I向其他物品处理部1、以及从物品处理部I向图外的物品运出部位输送物品。上述行进轨道2设置在清洁室内，顶棚输送车3将自如收存多片半导体的基板收存容器作为输送对象物输送。
[0033]在顶棚输送车3的行进部4，设有在行进轨道2的上表面上滚动的行进车轮5a和在行进轨道2的横侧面上滚动的导引车轮5b。并且构成为，通过将行进车轮5a由行进用马达Ml旋转驱动，顶棚输送车3 —边被行进轨道2导引一边沿着设定移动路径行进。
[0034]此外，在顶棚输送车3中，具备把持物品并相对于行进部4升降移动的升降部6。升降部6构成为，通过用升降用马达M2 (参照图6)使旋转鼓筒(未图示)向正反方向旋转驱动、将金属线卷取及放出操作，来进行升降移动。
[0035]升降部6具备将基板收存容器在上部具备的凸缘把持自如的一对把持工具7。该一对把持工具7将基端侧摆动自如地连结，以使前端侧相互远近移动。一对把持工具7构成为，由把持用马达M3切换操作为前端部相互接近而把持物品的把持姿势和前端部相互离开而将物品的把持解除的解除姿势。
[0036]在接受载置在物品处理部I的载置台(未图示)上的基板收存容器的情况下，使没有支承基板收存容器的空载状态的顶棚输送车3停止在与该物品处理部I对应的目标停止位置。并且，在此状态下，使升降部6下降移动到一对把持工具7能够把持基板收存容器的高度后，将一对把持工具7从解除姿势切换为把持姿势，使其将载置在载置台上的基板收存容器的凸缘把持。然后，使升降部6上升移动。
[0037]此外，在向物品处理部I的载置台交接基板收存容器的情况下，使支承着基板收存容器的实载状态的顶棚输送车3停止在与该物品处理部I对应的目标停止位置。并且，在此状态下，使升降部6下降移动直到基板收存容器被载置台载置支承后，将一对把持工具7从把持姿势切换为解除姿势，使对于基板收存容器的把持解除。然后，使升降部6上升移动。
[0038]由顶棚输送车3进行的基板收存容器的输送动作，基于从上位的主控制器H3指令的输送指令，由顶棚输送车控制器H2 (参照图6)控制。顶棚输送车控制器H2构成为，基于来自例如手动运转用指令装置D (参照图6)的手动运转指令，自如地执行使顶棚输送车3行进到顶棚输送车抽取部位A的维护用运转控制，所述手动运转用指令装置D由对顶棚输送车控制器H2连接自如的终端装置构成。
[0039]如图1所示，在上述设定移动路径中的从环状的移动路径分支的移动路径中设定了顶棚输送车抽取部位A，在该顶棚输送车抽取部位A设置有行进轨道升降装置8。
[0040]并且，如图2所示，在行进轨道升降装置8中，设有行进轨道2中的与顶棚输送车抽取部位A对应的行进轨道部分2a，所述行进轨道部分2a向在支承着顶棚输送车3的状态下与上述行进轨道2的行进轨道主体2b相连的输送车行进用高度(参照图2)、和下降到地面侧的输送车取出用高度升降移动自如。由此，能够将行进到顶棚输送车抽取部位A的顶棚输送车3为了维护而向地面侧取出。即，行进轨道升降装置8作为维护用的升降装置发挥功能，所述维护用的升降装置具备使顶棚输送车3向地面侧脱离的升降机构。
[0041]行进轨道部分2a支承在升降体9上，升降体9由将多个框材纵横组装成的框体构成。并且，行进轨道升降装置8通过用缩放仪(pantograph)式的升降机构10使升降体9升降操作，能够使行进轨道部分2a升降移动到输送车行进用高度和输送车取出用高度。顺便说一下，如图2所示，行进轨道主体2b经由支承托架11连结支承在顶棚上，但行进轨道2中的与顶棚输送车抽取部位A对应的行进轨道部分2a经由支承托架11连结支承在升降体9的顶部。
[0042]在升降体9的下端部，在顶棚输送车3的车体横宽方向上并列设置有两台风扇过滤器单元12，所述风扇过滤器单元12将绕纵轴芯旋转的电动式的送风风扇和将该送风风扇的上方覆盖的板状的除尘过滤器一体地组装而构成。这里，所谓车体横宽方向，是指与顶棚输送车3的行进方向及上下方向分别正交的方向。这些风扇过滤器单元12在将顶棚输送车3清扫时动作，将顶棚输送车3位于的清扫空间Z2内的空气净化而向外部空间Zl排出。
[0043]升降体9及升降机构10配设在箱状的壳体14的内部，所述壳体14由纵支柱及水平框架构架，具备上表面面板13T及侧面面板13S。虽然图示省略，但在壳体14的外侧面上，设有作业者指令操作的升降指令开关，基于该升降指令开关的上升指令将升降机构10向上升方向伸长驱动，由此将升降体9上升驱动，此外，基于下降指令将升降机构10向下降方向缩短驱动，由此将升降体9下降驱动。
[0044]在4个侧面面板13S中的、配设在与行进轨道主体2b对置的侧面上的侧面面板13S的上部，形成有输送车进入口 15。此外，在配置在与形成有该输送车进入口 15的侧面面板13S对置的面上的侧面面板13S的下部，形成有输送车取出口 16。
[0045]在壳体14上，设有将输送车进入口 15开闭自如的电动开闭器17。电动开闭器17以纵姿势上下方向自如地配设有开闭器主体17a，具备将该开闭器主体17a开闭驱动的开闭器开闭用马达M4而构成，所述开闭器主体17a由比形成在行进轨道部分2a与行进轨道主体2b之间的间隙的长度薄的板压的板状体构成。由此，电动开闭器17向开闭器主体17a位于比输送车进入口 15靠下方而将输送车进入口 15开放的开状态、和位于与输送车进入口 15对应的高度而将输送车进入口 15闭锁的闭状态切换自如。
[0046]在升降体9位于输送车行进用高度的状态下，通过使电动开闭器17成为闭状态，由升降体9的底部和壳体14的上表面面板13T及侧面面板13S形成封闭的空间，在该空间内通过后述的空气喷出装置C进行顶棚输送车3的清扫。S卩，位于壳体14的上方侧的清扫空间Z2作为遮蔽空间发挥功能，具备风扇过滤器单元12的升降体9的底部和壳体14的上表面面板13T及侧面面板13S作为形成被从外部空间Zl遮蔽的遮蔽空间的区划体K发挥功能。并且，作为区划体K的侧面面板13S构成为，顶棚输送车3通过行进移动向遮蔽空间进入自如。另外，为了确保清扫空间Z2的气密性，优选的是，适当使用将位于输送车行进用高度的升降体9的外周部与壳体14之间密封的密封构造。
[0047]输送车进入口 15由清扫对象的顶棚输送车3或维护对象的顶棚输送车3在向行进轨道升降装置8的内部进入的情况下经过，并且由清扫完成后或维护完成后的顶棚输送车3在向行进轨道升降装置8的外部退出的情况下也经过。S卩，输送车进入口 15兼用作进入口及退出口。此外，电动开闭器17作为进入口开闭装置及退出口开闭装置发挥功能。
[0048]顺便说一下，在行进轨道升降装置8中设有在地面侧行进自如、且具备顶棚输送车换乘用辅助轨道2c的维护用台车18，所述顶棚输送车换乘用辅助轨道2c为与下降到输送车取出用高度的行进轨道部分2a相同高度。由此，可以在使升降体9下降到输送车取出用高度的状态下，使顶棚输送车3经过输送车取出口 16而从行进轨道部分2a移动到顶棚输送车换乘用辅助轨道2c，在将顶棚输送车3用维护用台车18的顶棚输送车换乘用辅助轨道2c支承的状态下，使维护用台车18移动到进行维护作业的部位等。
[0049]如图2及图3所示，升降体9具备在清扫空间Z2中对顶棚输送车3喷出空气而将顶棚输送车3清扫的空气喷出装置C。空气喷出装置C以将喷出对象部位变更自如的状态下具备多个自如喷出空气的多个喷嘴20而构成。空气喷出装置C在清扫空间Z2中对行进停止状态的顶棚输送车3进行清扫动作。
[0050]多个喷嘴20相对于沿着顶棚输送车3的前后方向延伸的平行配置的4根旋转操作轴19分别以在轴心方向(在顶棚输送车3的前后方向上相同)上分散配置的形态一体旋转自如地被支承。4根旋转操作轴19以在上下方向及车体宽度方向上隔开间隔的状态旋转自如地支承在升降体9上。在升降体9中的各旋转操作轴19的端部位于的部位，安装着经由减速器21将旋转操作轴19旋转驱动的喷嘴旋转用马达M5。
[0051]对于多个喷嘴20，从设在地上侧的未图示的清扫用空气供给装置经由变形自如的供给软管供给清扫用空气。由此，喷嘴20能够从清扫用空气供给装置接受清扫用空气的供给，并与升降体9 一体升降自如。在从清扫用空气供给装置到多个喷嘴20的清扫用空气供给路的中途部位设有将多个喷嘴20向喷出状态和喷出停止状态切换的喷出用切换阀22(参照图5)。
[0052]4根旋转操作轴19中的配置在上方侧的两根上侧旋转操作轴19U，安装在比清扫对象的顶棚输送车3的行进部4的高度高且接近于该行进部4的高度。这里，所谓接近，是指离开距离为行进轨道2的高度以下的状态。在从设在一对上侧旋转操作轴19U上的喷嘴20喷出空气的状态下，使上侧旋转操作轴19U旋转，由此能够将堆积在行进部4上的尘埃恰当地清扫。此外，4根旋转操作轴19中的配置在下方侧的两根下侧旋转操作轴19D，安装在与清扫对象的顶棚输送车3的升降部6的高度相同的高度或错开了设定距离的高度。在从设在一对下侧旋转操作轴19D上的喷嘴20喷出空气的状态下，使下侧旋转操作轴19D旋转，由此能够将堆积在升降部6及其驱动部上的尘埃恰当地清扫。
[0053]另外，多个喷嘴20为了使清扫效果变充分，以前端部相对于清扫对象的顶棚输送车3接近的方式配置，但是以不论被旋转操作轴19旋转操作为哪个姿势、前端部都不与顶棚输送车3干涉那样的大小及位置配设。
[0054]在壳体14的内部，设有计测使空气喷出装置C动作时的清扫空间Z2中的尘埃的浓度的、作为尘埃浓度计测装置的周知的微粒计数器23。微粒计数器23设在比位于输送车行进用高度时的升降体9靠上方侧且比顶棚输送车3靠下方侧的接近的高度。由此，能够在被位于清扫空间Z2的下部的风扇过滤器单元12吸引的污染空气的流通路径中途计测该空气中含有的尘埃的浓度。微粒计数器23的输出信号被向清扫装置控制器Hl输入(参照图5)。
[0055]如图5所示，设有控制空气喷出装置C的清扫动作及电动开闭器17的开闭动作的作为控制装置的清扫装置控制器Hl。清扫装置控制器Hl构成为，基于在清扫空间Z2中自如检测停止状态的顶棚输送车3的输送车检测传感器24的检测信息，自如判别在清扫空间Z2中是否以停止状态存在清扫对象的顶棚输送车3。输送车检测传感器24构成为，自如检测位于清扫部位的顶棚输送车3，即被位于输送车行进用高度的行进轨道部分2a支承的顶棚输送车3，优选的是例如由测距式的光传感器构成，所述测距式的光传感器自如计测到存在于检测对象范围中的检测对象体为止的距离。
[0056]并且，清扫装置控制器Hl如果作业者用清扫指令开关25指令了清扫指令，则基于该清扫指令控制开闭器开闭用马达M4的动作，以在顶棚输送车3停止在清扫空间Z2中的状态下使电动开闭器17成为闭状态。并且，清扫装置控制器Hl构成为，使空气喷出装置C的清扫动作开始，然后基于微粒计数器23的计测信息控制空气喷出装置C的动作，如果判别为清扫空间Z2中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度，则使空气喷出装置C的清扫动作结束。
[0057]以下，基于图7所示的流程图，说明清扫控制的控制内容，所述清扫控制是在通过作业者将手动运转用指令装置D指令操作而顶棚输送车控制器H2执行维护用运转控制、顶棚输送车3行进到顶棚输送车抽取部位A后，作业者将清扫指令开关25指令操作的情况下的清扫装置控制器Hl执行的控制。
[0058]清扫装置控制器Hl在步骤#1中，如果判别为被指令了清扫指令，则向步骤#2转移，基于输送车检测传感器24的检测信息，判别在清扫空间Z2中是否停止有清扫对象的顶棚输送车3。如果顶棚输送车3没有停止在清扫部位，则待机直到顶棚输送车3到达清扫部位。如果顶棚输送车3成为停止在清扫部位的状态，则向步骤#3转移，控制开闭器开闭用马达M4的驱动，将电动开闭器17切换为闭状态。并且，在步骤#4中，开始通过空气喷出装置C的清扫动作。即，使风扇过滤器单元12的动作开始，将喷出用切换阀22切换为喷出状态而从喷嘴20喷出清扫用空气，并使喷嘴旋转用马达M5正反驱动，使多个喷嘴20与旋转操作轴19 一体旋转，使喷嘴20的前端部在设定角度范围内反复往复摆动。
[0059]清扫装置控制器Hl在开始空气喷出装置C的清扫动作后，在步骤#5中监视清扫空间Z2中的尘埃浓度。随着清扫动作继续，堆积在顶棚输送车3上的尘埃向清扫空间Z2飞散，清扫空间Z2中的尘埃浓度暂时上升，而然后通过风扇过滤器单元12的净化作用逐渐下降。
[0060]清扫装置控制器Hl基于微粒计数器23的计测信息，如果判别为清扫空间Z2中的尘埃浓度下降到目标尘埃浓度，则向步骤#6转移，结束空气喷出装置C的清扫动作。S卩，使风扇过滤器单元12的动作停止，将喷出用切换阀22切换为喷出停止状态，从喷嘴20停止喷出清扫用空气。然后，控制喷嘴旋转用马达M5的驱动，以使多个喷嘴20成为待机位置、即旋转操作轴19的旋转相位成为初始相位。并且，在步骤#7中，控制开闭器开闭用马达M4的驱动，将电动开闭器17切换为开状态。
[0061]为了使这样清扫完成的顶棚输送车3再次返回到基板收存容器的输送作业，用手动运转用指令装置D对主控制器H3发送成为可选中(选择为用于物品输送处理的顶棚输送车3)的内容的信息。另外，在接着清扫作业而进行该顶棚输送车3的维护作业的情况下，只要用设在壳体14的外侧面上的图外的升降指令开关指令下降指令、使升降体9下降到输送车取出用高度、对维护用台车18进行移动操作、使顶棚输送车3移动到进行维护作业的部位等就可以。
[0062]〔其他实施方式〕
以上，基于发明的实施方式对由
【发明者】做出的发明具体地进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够进行各种变更。以下，例示本发明的其他实施方式。
[0063](I)在上述实施方式中，例示了顶棚输送车的清扫装置的区划体具备兼用作进入口和退出口的开口的形态，但也可以是区划体分别具备进入口和退出口的形态。即，也可以是以顶棚输送车的行进路径将区划体贯通的方式在行进路径的中途部位设置区划体、在区划体的行进方向的前后两端部设置进入口及退出口的经过式的清扫装置。此外，在上述实施方式中例示了清扫装置设在立设于地面上的区划体内的形态，但区划体也可以是从顶棚悬挂支承的形态。
[0064](2)在上述实施方式中，例示了空气喷出装置设在维护用的升降装置的壳体内的形态，但也可以代替它而是空气喷出装置设在清扫专用的装置中的形态。
[0065](3)在上述实施方式中，例示了通过作业者指令的手动运转指令使顶棚输送车行进到清扫部位的形态，但也可以代替它，由管理顶棚输送车的行进的管理装置(例如可以由上述实施方式的顶棚输送车控制器H2构成)管理多个顶棚输送车各自的累积行进量，控制顶棚输送车的行进，以使累积行进量达到设定行进量的顶棚输送车向清扫装置行进，所述设定行进量被设定为清扫时期判别用。
[0066]此外，也可以代替是否达到设定为清扫时期判别用的设定行进量的判别条件，管理装置构成为，在行进路径上设定多个或单一的行进量计测用部位，基于经过行进量计测用部位的次数来判别清扫时期。在此情况下，只要在行进量计测用部位设置由光传感器等构成的经过检测装置、管理顶棚输送车的行进的管理装置基于经过检测装置的检测信息、管理经过了各顶棚输送车的行进量计测用部位的次数就可以。
[0067](4)在上述实施方式中，例示了控制空气喷出装置的清扫动作的控制装置在使空气喷出装置的清扫动作开始后、基于尘埃浓度计测装置的计测信息、如果判别为遮蔽空间中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度则使空气喷出装置的清扫动作结束的形态，但也可以是在使空气喷出装置的清扫动作开始后、如果通过计时装置经过设定时间则使空气喷出装置的清扫动作结束的形态。
[0068](5)在上述实施方式中，例示了空气喷出装置通过将喷嘴旋转操作而自如变更喷出对象部位的形态，但也可以代替它或除此以外，通过将喷嘴上下或左右移动来自如变更喷出对象部位。此外，喷嘴也可以不能变更喷出对象部位。
[0069](6)在上述实施方式中，例示了空气喷出装置与通过升降机构升降操作的升降体一体升降自如地设置的形态，但也可以代替它，而是空气喷出装置相对于区划体固定的形态。在此情况下，喷嘴既可以使喷出对象部位变更自如，也可以不能变更喷出对象部位。
[0070]附图标记说明 C空气喷出装置
K区划体 Zl外部空间 Z2遮蔽空间 Hl控制装置 2行进轨道 3顶棚输送车 10升降机构 12风扇过滤器单元 14壳体
15进入口、退出口
17进入口开闭装置、退出口开闭装置 20喷嘴
23尘埃浓度计测装置。
【权利要求】
1.一种清扫装置，具备对顶棚输送车喷出空气的空气喷出装置，将上述顶棚输送车清扫，所述顶棚输送车沿着配设在清洁室内的顶棚侧的行进轨道行进，所述清扫装置的特征在于， 设有区划体，所述区划体形成被从外部空间遮蔽的遮蔽空间； 上述区划体构成为，上述顶棚输送车通过行进移动而向上述遮蔽空间进入自如； 上述空气喷出装置在上述遮蔽空间中对行进停止状态的上述顶棚输送车进行清扫动作。
2.如权利要求1所述的清扫装置，其特征在于， 在上述区划体上具备风扇过滤器单元，所述风扇过滤器单元具备:将上述遮蔽空间内的空气吸入并向上述遮蔽空间外排出的风扇、和将该排出的空气净化的过滤器。
3.如权利要求2所述的清扫装置，其特征在于， 在上述区划体上，设有上述顶棚输送车向上述遮蔽空间进入的进入口、和上述顶棚输送车从上述遮蔽空间退出的退出口 ； 所述清扫装置具备:进入口开闭装置，向将上述进入口开放的开状态和闭锁的闭状态切换自如；退出口开闭装置，向将上述退出口开放的开状态和闭锁的闭状态切换自如；控制装置，控制上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置的开闭动作以及上述空气喷出装置的清扫动作；尘埃浓度计测装置，计测上述遮蔽空间中的尘埃的浓度； 构成为， 上述控制装置在上述顶棚输送车在上述遮蔽空间中停止的状态下控制上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置的动作，以使上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置成为上述闭状态，然后控制上述空气喷出装置的动作，以使上述空气喷出装置的清扫动作开始；并且j 上述控制装置在使上述空气喷出装置的清扫动作开始后，基于上述尘埃浓度计测装置的计测信息，如果判别为上述遮蔽空间中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度，则控制上述空气喷出装置的动作，以使上述空气喷出装置的清扫动作结束。
4.如权利要求1?3中任一项所述的清扫装置，其特征在于， 上述空气喷出装置以自如变更喷出对象部位的状态，具备多个喷出空气的喷嘴而构成。
5.如权利要求1?4中任一项所述的清扫装置，其特征在于， 设有维护用的升降装置，所述维护用的升降装置具备在上述行进轨道上行进的上述顶棚输送车进入自如的壳体，在上述壳体内具备使上述顶棚输送车向地面侧脱离的升降机构； 上述遮蔽空间由作为上述区划体的上述壳体形成； 上述空气喷出装置设在上述壳体内。
【文档编号】B65G1/00GK104159838SQ201380012771
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2013年2月28日 优先权日:2012年3月6日
【发明者】柴田润次, 大森和哉 申请人:株式会社大福
【专利摘要】提供一种清洁室中的设置较有利的顶棚输送车（3）的清扫装置。清扫装置具备空气喷出装置（C），将顶棚输送车（3）清扫，将沿着配设在清洁室内的顶棚侧的行进轨道（2）行进自如的顶棚输送车（3）在被从外部空间（Z1）遮蔽的遮蔽空间（Z2）中设为行进停止状态，所述空气喷出装置（C）对顶棚输送车（3）喷出空气。
【专利说明】清扫装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种清扫装置，其具备对沿着配设在清洁室内的顶棚侧的行进轨道行进的顶棚输送车喷出空气的空气喷出装置，将上述顶棚输送车清扫。
【背景技术】
[0002]上述那样的清扫装置能够将随着清洁室内的行进而尘埃堆积、附着的顶棚输送车清扫的装置，为了防止随着清扫产生的尘埃飞散到清洁室内，具备形成被从外部空间遮蔽的遮蔽空间的区划体，在由该区划体形成的遮蔽空间中，空气喷出装置进行顶棚输送车的清扫。
[0003]作为关于这样的清扫装置的一例，有以下这样的装置:设在顶棚输送车的行进路径上，空气喷出装置构成为一边使顶棚输送车行进一边清扫。(例如，参照专利文献I)。
[0004]专利文献1:特开2008 - 214084号公报。
【发明内容】
[0005]如果是上述专利文献I的结构，则顶棚输送车在清扫装置清扫动作的期间中沿着行进路径行进移动，所以能够防止随着清扫产生的尘埃飞散到清洁室内。此外，为此需要将形成遮蔽空间的区划体用与在清扫中行进移动的顶棚输送车的行进移动量对应的长度较长的部件构成，清扫装置的结构变得庞大。此外，在清洁室中要求高度的空间使用效率，但在上述专利文献I的结构中，由于为了设置区划体而占用行进路径中的较长的部分，所以并不好。
[0006]鉴于上述背景，希望实现一种清洁室中的设置较有利的顶棚输送车的清扫装置。
[0007]有关本发明的清扫装置，具备对顶棚输送车喷出空气的空气喷出装置，将上述顶棚输送车清扫，所述顶棚输送车沿着配设在清洁室内的顶棚侧的行进轨道行进，所述清扫装置设有区划体，所述区划体形成被从外部空间遮蔽的遮蔽空间；上述区划体构成为，上述顶棚输送车通过行进移动而向上述遮蔽空间进入自如；上述空气喷出装置在上述遮蔽空间中对行进停止状态的上述顶棚输送车进行清扫动作。
[0008]根据上述结构，顶棚输送车在通过行进移动进入到由区划体形成的遮蔽空间中之后，通过停止在遮蔽空间内，空气喷出装置能够将顶棚输送车清扫。顶棚输送车由于在被空气喷出装置清扫的期间中停止在遮蔽空间内，所以作为遮蔽空间，将顶棚输送车包围的程度的大小就足够。因此，区划体的行进方向上的长度与顶棚输送车的行进方向的长度相当的程度的紧凑的结构就足够，清洁室中的设置变得有利。
[0009]这样，根据上述结构，能够实现清洁室中的设置较有利的顶棚输送车的清扫装置。
[0010]以下，对本发明的优选的实施方式的例子进行说明。
[0011]在有关本发明的清扫装置的实施方式中，优选的是，在上述区划体上具备风扇过滤器单元，所述风扇过滤器单元具备:将上述遮蔽空间内的空气吸入并向上述遮蔽空间外排出的风扇、和将该排出的空气净化的过滤器。
[0012]根据上述结构，从空气喷出装置喷出空气，随着顶棚输送车被清扫，堆积在顶棚输送车上的尘埃被吹飞，浮动到遮蔽区间中。这样含有随着顶棚输送车的清扫产生的尘埃的空气被风扇过滤器单元的风扇吸入，作为排出空气排出。该排出空气被风扇过滤器单元的过滤器净化，尘埃被除去。
[0013]这样，通过在区划体上具备将风扇和过滤器单元化的风扇过滤器单元的简单的结构，能够防止随着顶棚输送车的清扫产生的尘埃飞散到遮蔽空间的外部。因而，在实现清洁室的污染防止的同时，能够抑制结构的复杂化。
[0014]在有关本发明的清扫装置的实施方式中，优选的是，在上述区划体上，设有上述顶棚输送车向上述遮蔽空间进入的进入口、和上述顶棚输送车从上述遮蔽空间退出的退出口 ；所述清扫装置具备:进入口开闭装置，向将上述进入口开放的开状态和闭锁的闭状态切换自如；退出口开闭装置，向将上述退出口开放的开状态和闭锁的闭状态切换自如；控制装置，控制上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置的开闭动作以及上述空气喷出装置的清扫动作；尘埃浓度计测装置，计测上述遮蔽空间中的尘埃的浓度；构成为，上述控制装置在上述顶棚输送车在上述遮蔽空间中停止的状态下控制上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置的动作，以使上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置成为上述闭状态，然后控制上述空气喷出装置的动作，以使上述空气喷出装置的清扫动作开始；并且，上述控制装置在使上述空气喷出装置的清扫动作开始后，基于上述尘埃浓度计测装置的计测信息，如果判别为上述遮蔽空间中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度，则控制上述空气喷出装置的动作，以使上述空气喷出装置的清扫动作结束。
[0015]根据上述结构，在顶棚输送车在遮蔽空间中停止的状态下进入口开闭装置及退出口开闭装置成为闭状态后，开始空气喷出装置的清扫动作。并且，通过由空气喷出装置对顶棚输送车的清扫产生的尘埃被风扇过滤器单元净化，被从遮蔽空间向遮蔽空间外排出。如果这样顶棚输送车的清扫进行，则遮蔽空间中的尘埃的浓度逐渐下降。
[0016]控制装置基于尘埃浓度检测装置的检测信息，如果判别为遮蔽空间中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度，则使空气喷出装置的清扫动作结束。由此，将能够将堆积在顶棚输送车上的尘埃清扫到希望的状态的情况下的尘埃浓度预先设定为设定尘埃浓度，由此能够在将顶棚输送车清扫到希望的状态的阶段中使空气喷出装置的动作停止。
[0017]根据上述结构，能够可靠地使空气喷出装置动作直到顶棚输送车成为希望的清扫状态，并且能够防止以清扫所需以上使顶棚输送车停止约束在遮蔽空间中。
[0018]另外，在使空气喷出装置的动作停止后、或者同时或刚要停止之前使退出口开闭装置成为开状态，由此清扫完成的顶棚输送车能够从遮蔽空间向外部行进移动而退出。另夕卜，在顶棚输送车退出后，也可以在使进入口开闭装置成为开状态、使退出口开闭装置成为闭状态的待机用开闭状态下，等待下个顶棚输送车的进入。顺便说一下，在将清扫装置设在行进路径的端部的情况下，将进入口开闭装置及退出口开闭装置兼用。
[0019]在有关本发明的清扫装置的实施方式中，优选的是，上述空气喷出装置以自如变更喷出对象部位的状态，具备多个喷出空气的喷嘴而构成。
[0020]根据上述结构，由于空气喷出装置具备的喷出喷嘴自如变更喷出对象部位且设有多个，所以空气喷出装置能够对顶棚输送车的多个部位一边变更喷出部位一边进行清扫动作。因而，通过适当配置多个喷出喷嘴、使这些喷出喷嘴的喷出对象部位变化而向顶棚输送车喷出空气，即使不对应于顶棚输送车中的需要清扫的全部部位分别设置喷出喷嘴，也能够将顶棚输送车的需要清扫的部位适当地清扫。
[0021]在有关本发明的清扫装置的实施方式中，优选的是，设有维护用的升降装置，所述维护用的升降装置具备在上述行进轨道上行进的上述顶棚输送车进入自如的壳体，在上述壳体内具备使上述顶棚输送车向地面侧脱离的升降机构；上述遮蔽空间由作为上述区划体的上述壳体形成；上述空气喷出装置设在上述壳体内。
[0022]根据上述结构，由于能够在设置于顶棚输送设备上的维护用的升降装置的壳体内进行顶棚输送车的清扫，所以能够有效地利用与维护用的升降装置占用的清洁室中的地面部分对应的空间区域。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1是顶棚输送设备的整体俯视图。
[0024]图2是具备清扫装置的维护用的升降装置的部分纵剖侧视图。
[0025]图3是具备清扫装置的维护用的升降装置的部分纵剖主视图。
[0026]图4是具备清扫装置的维护用的升降装置的部分纵剖立体图。
[0027]图5是控制框图。
[0028]图6是控制框图。
[0029]图7是清扫控制的流程图。
【具体实施方式】
[0030]接着，基于【专利附图】
【附图说明】有关本发明的清扫装置的实施方式。
[0031]如图1所示，沿着以经由多个物品处理部I的方式设定的设定移动路径，在顶棚侧设置有顶棚输送车行进用的行进轨道2，沿着设定移动路径行进的顶棚输送车3以被行进轨道2导引支承的状态设置。
[0032]并且，顶棚输送车3构成为，从图外的物品运入部位向物品处理部1、从物品处理部I向其他物品处理部1、以及从物品处理部I向图外的物品运出部位输送物品。上述行进轨道2设置在清洁室内，顶棚输送车3将自如收存多片半导体的基板收存容器作为输送对象物输送。
[0033]在顶棚输送车3的行进部4，设有在行进轨道2的上表面上滚动的行进车轮5a和在行进轨道2的横侧面上滚动的导引车轮5b。并且构成为，通过将行进车轮5a由行进用马达Ml旋转驱动，顶棚输送车3 —边被行进轨道2导引一边沿着设定移动路径行进。
[0034]此外，在顶棚输送车3中，具备把持物品并相对于行进部4升降移动的升降部6。升降部6构成为，通过用升降用马达M2 (参照图6)使旋转鼓筒(未图示)向正反方向旋转驱动、将金属线卷取及放出操作，来进行升降移动。
[0035]升降部6具备将基板收存容器在上部具备的凸缘把持自如的一对把持工具7。该一对把持工具7将基端侧摆动自如地连结，以使前端侧相互远近移动。一对把持工具7构成为，由把持用马达M3切换操作为前端部相互接近而把持物品的把持姿势和前端部相互离开而将物品的把持解除的解除姿势。
[0036]在接受载置在物品处理部I的载置台(未图示)上的基板收存容器的情况下，使没有支承基板收存容器的空载状态的顶棚输送车3停止在与该物品处理部I对应的目标停止位置。并且，在此状态下，使升降部6下降移动到一对把持工具7能够把持基板收存容器的高度后，将一对把持工具7从解除姿势切换为把持姿势，使其将载置在载置台上的基板收存容器的凸缘把持。然后，使升降部6上升移动。
[0037]此外，在向物品处理部I的载置台交接基板收存容器的情况下，使支承着基板收存容器的实载状态的顶棚输送车3停止在与该物品处理部I对应的目标停止位置。并且，在此状态下，使升降部6下降移动直到基板收存容器被载置台载置支承后，将一对把持工具7从把持姿势切换为解除姿势，使对于基板收存容器的把持解除。然后，使升降部6上升移动。
[0038]由顶棚输送车3进行的基板收存容器的输送动作，基于从上位的主控制器H3指令的输送指令，由顶棚输送车控制器H2 (参照图6)控制。顶棚输送车控制器H2构成为，基于来自例如手动运转用指令装置D (参照图6)的手动运转指令，自如地执行使顶棚输送车3行进到顶棚输送车抽取部位A的维护用运转控制，所述手动运转用指令装置D由对顶棚输送车控制器H2连接自如的终端装置构成。
[0039]如图1所示，在上述设定移动路径中的从环状的移动路径分支的移动路径中设定了顶棚输送车抽取部位A，在该顶棚输送车抽取部位A设置有行进轨道升降装置8。
[0040]并且，如图2所示，在行进轨道升降装置8中，设有行进轨道2中的与顶棚输送车抽取部位A对应的行进轨道部分2a，所述行进轨道部分2a向在支承着顶棚输送车3的状态下与上述行进轨道2的行进轨道主体2b相连的输送车行进用高度(参照图2)、和下降到地面侧的输送车取出用高度升降移动自如。由此，能够将行进到顶棚输送车抽取部位A的顶棚输送车3为了维护而向地面侧取出。即，行进轨道升降装置8作为维护用的升降装置发挥功能，所述维护用的升降装置具备使顶棚输送车3向地面侧脱离的升降机构。
[0041]行进轨道部分2a支承在升降体9上，升降体9由将多个框材纵横组装成的框体构成。并且，行进轨道升降装置8通过用缩放仪(pantograph)式的升降机构10使升降体9升降操作，能够使行进轨道部分2a升降移动到输送车行进用高度和输送车取出用高度。顺便说一下，如图2所示，行进轨道主体2b经由支承托架11连结支承在顶棚上，但行进轨道2中的与顶棚输送车抽取部位A对应的行进轨道部分2a经由支承托架11连结支承在升降体9的顶部。
[0042]在升降体9的下端部，在顶棚输送车3的车体横宽方向上并列设置有两台风扇过滤器单元12，所述风扇过滤器单元12将绕纵轴芯旋转的电动式的送风风扇和将该送风风扇的上方覆盖的板状的除尘过滤器一体地组装而构成。这里，所谓车体横宽方向，是指与顶棚输送车3的行进方向及上下方向分别正交的方向。这些风扇过滤器单元12在将顶棚输送车3清扫时动作，将顶棚输送车3位于的清扫空间Z2内的空气净化而向外部空间Zl排出。
[0043]升降体9及升降机构10配设在箱状的壳体14的内部，所述壳体14由纵支柱及水平框架构架，具备上表面面板13T及侧面面板13S。虽然图示省略，但在壳体14的外侧面上，设有作业者指令操作的升降指令开关，基于该升降指令开关的上升指令将升降机构10向上升方向伸长驱动，由此将升降体9上升驱动，此外，基于下降指令将升降机构10向下降方向缩短驱动，由此将升降体9下降驱动。
[0044]在4个侧面面板13S中的、配设在与行进轨道主体2b对置的侧面上的侧面面板13S的上部，形成有输送车进入口 15。此外，在配置在与形成有该输送车进入口 15的侧面面板13S对置的面上的侧面面板13S的下部，形成有输送车取出口 16。
[0045]在壳体14上，设有将输送车进入口 15开闭自如的电动开闭器17。电动开闭器17以纵姿势上下方向自如地配设有开闭器主体17a，具备将该开闭器主体17a开闭驱动的开闭器开闭用马达M4而构成，所述开闭器主体17a由比形成在行进轨道部分2a与行进轨道主体2b之间的间隙的长度薄的板压的板状体构成。由此，电动开闭器17向开闭器主体17a位于比输送车进入口 15靠下方而将输送车进入口 15开放的开状态、和位于与输送车进入口 15对应的高度而将输送车进入口 15闭锁的闭状态切换自如。
[0046]在升降体9位于输送车行进用高度的状态下，通过使电动开闭器17成为闭状态，由升降体9的底部和壳体14的上表面面板13T及侧面面板13S形成封闭的空间，在该空间内通过后述的空气喷出装置C进行顶棚输送车3的清扫。S卩，位于壳体14的上方侧的清扫空间Z2作为遮蔽空间发挥功能，具备风扇过滤器单元12的升降体9的底部和壳体14的上表面面板13T及侧面面板13S作为形成被从外部空间Zl遮蔽的遮蔽空间的区划体K发挥功能。并且，作为区划体K的侧面面板13S构成为，顶棚输送车3通过行进移动向遮蔽空间进入自如。另外，为了确保清扫空间Z2的气密性，优选的是，适当使用将位于输送车行进用高度的升降体9的外周部与壳体14之间密封的密封构造。
[0047]输送车进入口 15由清扫对象的顶棚输送车3或维护对象的顶棚输送车3在向行进轨道升降装置8的内部进入的情况下经过，并且由清扫完成后或维护完成后的顶棚输送车3在向行进轨道升降装置8的外部退出的情况下也经过。S卩，输送车进入口 15兼用作进入口及退出口。此外，电动开闭器17作为进入口开闭装置及退出口开闭装置发挥功能。
[0048]顺便说一下，在行进轨道升降装置8中设有在地面侧行进自如、且具备顶棚输送车换乘用辅助轨道2c的维护用台车18，所述顶棚输送车换乘用辅助轨道2c为与下降到输送车取出用高度的行进轨道部分2a相同高度。由此，可以在使升降体9下降到输送车取出用高度的状态下，使顶棚输送车3经过输送车取出口 16而从行进轨道部分2a移动到顶棚输送车换乘用辅助轨道2c，在将顶棚输送车3用维护用台车18的顶棚输送车换乘用辅助轨道2c支承的状态下，使维护用台车18移动到进行维护作业的部位等。
[0049]如图2及图3所示，升降体9具备在清扫空间Z2中对顶棚输送车3喷出空气而将顶棚输送车3清扫的空气喷出装置C。空气喷出装置C以将喷出对象部位变更自如的状态下具备多个自如喷出空气的多个喷嘴20而构成。空气喷出装置C在清扫空间Z2中对行进停止状态的顶棚输送车3进行清扫动作。
[0050]多个喷嘴20相对于沿着顶棚输送车3的前后方向延伸的平行配置的4根旋转操作轴19分别以在轴心方向(在顶棚输送车3的前后方向上相同)上分散配置的形态一体旋转自如地被支承。4根旋转操作轴19以在上下方向及车体宽度方向上隔开间隔的状态旋转自如地支承在升降体9上。在升降体9中的各旋转操作轴19的端部位于的部位，安装着经由减速器21将旋转操作轴19旋转驱动的喷嘴旋转用马达M5。
[0051]对于多个喷嘴20，从设在地上侧的未图示的清扫用空气供给装置经由变形自如的供给软管供给清扫用空气。由此，喷嘴20能够从清扫用空气供给装置接受清扫用空气的供给，并与升降体9 一体升降自如。在从清扫用空气供给装置到多个喷嘴20的清扫用空气供给路的中途部位设有将多个喷嘴20向喷出状态和喷出停止状态切换的喷出用切换阀22(参照图5)。
[0052]4根旋转操作轴19中的配置在上方侧的两根上侧旋转操作轴19U，安装在比清扫对象的顶棚输送车3的行进部4的高度高且接近于该行进部4的高度。这里，所谓接近，是指离开距离为行进轨道2的高度以下的状态。在从设在一对上侧旋转操作轴19U上的喷嘴20喷出空气的状态下，使上侧旋转操作轴19U旋转，由此能够将堆积在行进部4上的尘埃恰当地清扫。此外，4根旋转操作轴19中的配置在下方侧的两根下侧旋转操作轴19D，安装在与清扫对象的顶棚输送车3的升降部6的高度相同的高度或错开了设定距离的高度。在从设在一对下侧旋转操作轴19D上的喷嘴20喷出空气的状态下，使下侧旋转操作轴19D旋转，由此能够将堆积在升降部6及其驱动部上的尘埃恰当地清扫。
[0053]另外，多个喷嘴20为了使清扫效果变充分，以前端部相对于清扫对象的顶棚输送车3接近的方式配置，但是以不论被旋转操作轴19旋转操作为哪个姿势、前端部都不与顶棚输送车3干涉那样的大小及位置配设。
[0054]在壳体14的内部，设有计测使空气喷出装置C动作时的清扫空间Z2中的尘埃的浓度的、作为尘埃浓度计测装置的周知的微粒计数器23。微粒计数器23设在比位于输送车行进用高度时的升降体9靠上方侧且比顶棚输送车3靠下方侧的接近的高度。由此，能够在被位于清扫空间Z2的下部的风扇过滤器单元12吸引的污染空气的流通路径中途计测该空气中含有的尘埃的浓度。微粒计数器23的输出信号被向清扫装置控制器Hl输入(参照图5)。
[0055]如图5所示，设有控制空气喷出装置C的清扫动作及电动开闭器17的开闭动作的作为控制装置的清扫装置控制器Hl。清扫装置控制器Hl构成为，基于在清扫空间Z2中自如检测停止状态的顶棚输送车3的输送车检测传感器24的检测信息，自如判别在清扫空间Z2中是否以停止状态存在清扫对象的顶棚输送车3。输送车检测传感器24构成为，自如检测位于清扫部位的顶棚输送车3，即被位于输送车行进用高度的行进轨道部分2a支承的顶棚输送车3，优选的是例如由测距式的光传感器构成，所述测距式的光传感器自如计测到存在于检测对象范围中的检测对象体为止的距离。
[0056]并且，清扫装置控制器Hl如果作业者用清扫指令开关25指令了清扫指令，则基于该清扫指令控制开闭器开闭用马达M4的动作，以在顶棚输送车3停止在清扫空间Z2中的状态下使电动开闭器17成为闭状态。并且，清扫装置控制器Hl构成为，使空气喷出装置C的清扫动作开始，然后基于微粒计数器23的计测信息控制空气喷出装置C的动作，如果判别为清扫空间Z2中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度，则使空气喷出装置C的清扫动作结束。
[0057]以下，基于图7所示的流程图，说明清扫控制的控制内容，所述清扫控制是在通过作业者将手动运转用指令装置D指令操作而顶棚输送车控制器H2执行维护用运转控制、顶棚输送车3行进到顶棚输送车抽取部位A后，作业者将清扫指令开关25指令操作的情况下的清扫装置控制器Hl执行的控制。
[0058]清扫装置控制器Hl在步骤#1中，如果判别为被指令了清扫指令，则向步骤#2转移，基于输送车检测传感器24的检测信息，判别在清扫空间Z2中是否停止有清扫对象的顶棚输送车3。如果顶棚输送车3没有停止在清扫部位，则待机直到顶棚输送车3到达清扫部位。如果顶棚输送车3成为停止在清扫部位的状态，则向步骤#3转移，控制开闭器开闭用马达M4的驱动，将电动开闭器17切换为闭状态。并且，在步骤#4中，开始通过空气喷出装置C的清扫动作。即，使风扇过滤器单元12的动作开始，将喷出用切换阀22切换为喷出状态而从喷嘴20喷出清扫用空气，并使喷嘴旋转用马达M5正反驱动，使多个喷嘴20与旋转操作轴19 一体旋转，使喷嘴20的前端部在设定角度范围内反复往复摆动。
[0059]清扫装置控制器Hl在开始空气喷出装置C的清扫动作后，在步骤#5中监视清扫空间Z2中的尘埃浓度。随着清扫动作继续，堆积在顶棚输送车3上的尘埃向清扫空间Z2飞散，清扫空间Z2中的尘埃浓度暂时上升，而然后通过风扇过滤器单元12的净化作用逐渐下降。
[0060]清扫装置控制器Hl基于微粒计数器23的计测信息，如果判别为清扫空间Z2中的尘埃浓度下降到目标尘埃浓度，则向步骤#6转移，结束空气喷出装置C的清扫动作。S卩，使风扇过滤器单元12的动作停止，将喷出用切换阀22切换为喷出停止状态，从喷嘴20停止喷出清扫用空气。然后，控制喷嘴旋转用马达M5的驱动，以使多个喷嘴20成为待机位置、即旋转操作轴19的旋转相位成为初始相位。并且，在步骤#7中，控制开闭器开闭用马达M4的驱动，将电动开闭器17切换为开状态。
[0061]为了使这样清扫完成的顶棚输送车3再次返回到基板收存容器的输送作业，用手动运转用指令装置D对主控制器H3发送成为可选中(选择为用于物品输送处理的顶棚输送车3)的内容的信息。另外，在接着清扫作业而进行该顶棚输送车3的维护作业的情况下，只要用设在壳体14的外侧面上的图外的升降指令开关指令下降指令、使升降体9下降到输送车取出用高度、对维护用台车18进行移动操作、使顶棚输送车3移动到进行维护作业的部位等就可以。
[0062]〔其他实施方式〕
以上，基于发明的实施方式对由
【发明者】做出的发明具体地进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够进行各种变更。以下，例示本发明的其他实施方式。
[0063](I)在上述实施方式中，例示了顶棚输送车的清扫装置的区划体具备兼用作进入口和退出口的开口的形态，但也可以是区划体分别具备进入口和退出口的形态。即，也可以是以顶棚输送车的行进路径将区划体贯通的方式在行进路径的中途部位设置区划体、在区划体的行进方向的前后两端部设置进入口及退出口的经过式的清扫装置。此外，在上述实施方式中例示了清扫装置设在立设于地面上的区划体内的形态，但区划体也可以是从顶棚悬挂支承的形态。
[0064](2)在上述实施方式中，例示了空气喷出装置设在维护用的升降装置的壳体内的形态，但也可以代替它而是空气喷出装置设在清扫专用的装置中的形态。
[0065](3)在上述实施方式中，例示了通过作业者指令的手动运转指令使顶棚输送车行进到清扫部位的形态，但也可以代替它，由管理顶棚输送车的行进的管理装置(例如可以由上述实施方式的顶棚输送车控制器H2构成)管理多个顶棚输送车各自的累积行进量，控制顶棚输送车的行进，以使累积行进量达到设定行进量的顶棚输送车向清扫装置行进，所述设定行进量被设定为清扫时期判别用。
[0066]此外，也可以代替是否达到设定为清扫时期判别用的设定行进量的判别条件，管理装置构成为，在行进路径上设定多个或单一的行进量计测用部位，基于经过行进量计测用部位的次数来判别清扫时期。在此情况下，只要在行进量计测用部位设置由光传感器等构成的经过检测装置、管理顶棚输送车的行进的管理装置基于经过检测装置的检测信息、管理经过了各顶棚输送车的行进量计测用部位的次数就可以。
[0067](4)在上述实施方式中，例示了控制空气喷出装置的清扫动作的控制装置在使空气喷出装置的清扫动作开始后、基于尘埃浓度计测装置的计测信息、如果判别为遮蔽空间中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度则使空气喷出装置的清扫动作结束的形态，但也可以是在使空气喷出装置的清扫动作开始后、如果通过计时装置经过设定时间则使空气喷出装置的清扫动作结束的形态。
[0068](5)在上述实施方式中，例示了空气喷出装置通过将喷嘴旋转操作而自如变更喷出对象部位的形态，但也可以代替它或除此以外，通过将喷嘴上下或左右移动来自如变更喷出对象部位。此外，喷嘴也可以不能变更喷出对象部位。
[0069](6)在上述实施方式中，例示了空气喷出装置与通过升降机构升降操作的升降体一体升降自如地设置的形态，但也可以代替它，而是空气喷出装置相对于区划体固定的形态。在此情况下，喷嘴既可以使喷出对象部位变更自如，也可以不能变更喷出对象部位。
[0070]附图标记说明 C空气喷出装置
K区划体 Zl外部空间 Z2遮蔽空间 Hl控制装置 2行进轨道 3顶棚输送车 10升降机构 12风扇过滤器单元 14壳体
15进入口、退出口
17进入口开闭装置、退出口开闭装置 20喷嘴
23尘埃浓度计测装置。
【权利要求】
1.一种清扫装置，具备对顶棚输送车喷出空气的空气喷出装置，将上述顶棚输送车清扫，所述顶棚输送车沿着配设在清洁室内的顶棚侧的行进轨道行进，所述清扫装置的特征在于， 设有区划体，所述区划体形成被从外部空间遮蔽的遮蔽空间； 上述区划体构成为，上述顶棚输送车通过行进移动而向上述遮蔽空间进入自如； 上述空气喷出装置在上述遮蔽空间中对行进停止状态的上述顶棚输送车进行清扫动作。
2.如权利要求1所述的清扫装置，其特征在于， 在上述区划体上具备风扇过滤器单元，所述风扇过滤器单元具备:将上述遮蔽空间内的空气吸入并向上述遮蔽空间外排出的风扇、和将该排出的空气净化的过滤器。
3.如权利要求2所述的清扫装置，其特征在于， 在上述区划体上，设有上述顶棚输送车向上述遮蔽空间进入的进入口、和上述顶棚输送车从上述遮蔽空间退出的退出口 ； 所述清扫装置具备:进入口开闭装置，向将上述进入口开放的开状态和闭锁的闭状态切换自如；退出口开闭装置，向将上述退出口开放的开状态和闭锁的闭状态切换自如；控制装置，控制上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置的开闭动作以及上述空气喷出装置的清扫动作；尘埃浓度计测装置，计测上述遮蔽空间中的尘埃的浓度； 构成为， 上述控制装置在上述顶棚输送车在上述遮蔽空间中停止的状态下控制上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置的动作，以使上述进入口开闭装置及上述退出口开闭装置成为上述闭状态，然后控制上述空气喷出装置的动作，以使上述空气喷出装置的清扫动作开始；并且j 上述控制装置在使上述空气喷出装置的清扫动作开始后，基于上述尘埃浓度计测装置的计测信息，如果判别为上述遮蔽空间中的尘埃的浓度下降到设定尘埃浓度，则控制上述空气喷出装置的动作，以使上述空气喷出装置的清扫动作结束。
4.如权利要求1?3中任一项所述的清扫装置，其特征在于， 上述空气喷出装置以自如变更喷出对象部位的状态，具备多个喷出空气的喷嘴而构成。
5.如权利要求1?4中任一项所述的清扫装置，其特征在于， 设有维护用的升降装置，所述维护用的升降装置具备在上述行进轨道上行进的上述顶棚输送车进入自如的壳体，在上述壳体内具备使上述顶棚输送车向地面侧脱离的升降机构； 上述遮蔽空间由作为上述区划体的上述壳体形成； 上述空气喷出装置设在上述壳体内。
【文档编号】B65G1/00GK104159838SQ201380012771
【公开日】2014年11月19日 申请日期:2013年2月28日 优先权日:2012年3月6日
【发明者】柴田润次, 大森和哉 申请人:株式会社大福
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