物品搬运设备的制作方法

本发明涉及一种物品搬运设备，具备物品搬运车和控制装置，前述物品搬运车沿着行进路径行进并对物品进行搬运，前述控制装置对前述物品搬运车进行控制，前述行进路径具备第一路径和第二路径及第三路径，前述第一路径从管理区域的外部设定至分支部，该分支部位于前述管理区域的内部，前述第二路径及第三路径是从前述分支部设定至前述管理区域的外部的不同的两个路径，在前述管理区域内的前述分支部处，前述第一路径的下游端与前述第二路径的上游端及前述第三路径的上游端连接，前述控制装置执行行进控制和停止控制，前述行进控制是选择前述第二路径和前述第三路径中的一个路径作为选择路径、并使前述物品搬运车沿着前述第一路径及前述选择路径行进的控制，前述停止控制是使进入到前述管理区域的前述物品搬运车停止在前述第一路径上的控制。

背景技术：

前述物品搬运设备的现有例记载于日本特开2000-250628号公报（专利文献1）。在专利文献1的物品搬运设备中，作为管理区域，设定了确认区e1及控制区d1。并且，作为行进路径，设定了第一行进路线l1及第三行进路线l3。第三行进路线l3的上游端与第一行进路线l1连接。

物品搬运车在第一行进路线l1上行进时或在第三行进路线l3上行进时，发送第一信号。并且，控制装置在物品搬运车进入第一行进路线l1的确认区e1并接收到来自该物品搬运车的第一信号时，以接收到来自在控制区d1的第一行进路线l1或第三行进路线l3上行进的其他物品搬运车的第一信号为条件，来执行停止控制。另一方面，控制装置以未接收到来自在控制区d1的第一行进路线l1或第三行进路线l3上行进的其他物品搬运车的第一信号为条件，来执行行进控制。控制装置通过在管理区域中这样控制物品搬运车，来防止物品搬运车彼此在管理区域内发生碰撞等。

在这样的物品搬运设备中，在物品搬运车进入管理区域并在确认区e1的第一行进路线上行进时，在第一行进路线或第三行进路线的控制区d1存在其他物品搬运车的情况下，控制装置执行停止控制。

因此，在选择第一行进路线和第三行进路线中的一个行进路线（例如第一行进路线）作为选择路径的情况下，即使在该一个行进路线（第一行进路线）上不存在其他物品搬运车，在另一个行进路线（第三行进路线）上存在其他物品搬运车时，控制装置也执行停止控制。并且，控制装置使物品搬运车以停止状态待机至该其他物品搬运车不再存在于另一个行进路线（第三行进路线）为止。然而，使物品搬运车在管理区域内待机时，会引起设备整体的搬运效率的下降。因此，在这样的物品搬运设备中，期望在物品搬运车进入到管理区域时抑制该物品搬运车以停止状态待机的频率，使设备的搬运效率提高。

技术实现要素：

因此，需要一种能够实现搬运效率的提高的物品搬运设备。

本发明的物品搬运设备的特征结构在于，具备物品搬运车和控制装置，前述物品搬运车沿着行进路径行进并对物品进行搬运，前述控制装置对前述物品搬运车进行控制，前述行进路径具备第一路径和第二路径及第三路径，前述第一路径从管理区域的外部设定至分支部，该分支部位于前述管理区域的内部，前述第二路径及第三路径是从前述分支部设定至前述管理区域的外部的不同的两个路径，在前述管理区域内的前述分支部处，前述第一路径的下游端与前述第二路径的上游端及前述第三路径的上游端连接，前述控制装置执行行进控制和停止控制，前述行进控制是选择前述第二路径和前述第三路径中的一个路径作为选择路径并使前述物品搬运车沿着前述第一路径及前述选择路径行进的控制，前述停止控制是使进入到前述管理区域的前述物品搬运车停止在前述第一路径上的控制，其中，前述物品搬运设备还具备第一检测部、第二检测部和第三检测部，前述第一检测部对在前述第一路径上行进的前述物品搬运车进入到前述管理区域的情况进行检测，前述第二检测部对在前述第二路径的前述管理区域内的部分存在其他物品搬运车的情况进行检测，前述第三检测部对在前述第三路径的前述管理区域内的部分存在其他物品搬运车的情况进行检测，前述控制装置以借助前述第一检测部检测到前述物品搬运车且借助前述第二检测部或前述第三检测部检测到前述选择路径上的其他物品搬运车的存在为条件，来执行前述停止控制，并且以借助前述第一检测部检测到前述物品搬运车且借助前述第二检测部或前述第三检测部未检测到前述选择路径上的其他物品搬运车的存在为条件，来执行前述行进控制。

根据该特征结构，通过控制装置执行行进控制，物品搬运车在第一路径及选择路径（第二路径或第三路径）上行进并通过管理区域。

并且，在借助第一检测部检测到进入管理区域的物品搬运车且借助第二检测部或第三检测部在选择路径上检测到其他物品搬运车的存在的情况下，控制装置中断行进控制并执行停止控制，使进入到管理区域的物品搬运车2停止在分支部的紧前方。

并且，在借助第一检测部检测到进入管理区域的物品搬运车且借助第二检测部或第三检测部在选择路径上未检测到其他物品搬运车的存在的情况下，控制装置例如在该状态下继续执行行进控制，或者在暂时执行停止控制之后重新开始行进控制的执行，使物品搬运车沿着第一路径及选择路径行进。

即，在物品搬运车进入到管理区域时，在选择路径上不存在其他物品搬运车的情况下，即使在第二路径及第三路径中的未选择作为选择路径的路径上存在其他物品搬运车的情况下，也对进入到管理区域的物品搬运车进行行进控制，来使进入到管理区域的物品搬运车在选择路径上行进。因此，与仅根据在管理区域存在其他物品搬运车来使进入到管理区域的物品搬运车停止并待机的情况相比，能够实现设备整体的搬运效率的提高。

附图说明

图1是表示物品搬运设备中的行进路径的图；

图2是物品搬运车的侧视图；

图3是物品搬运车的主视图；

图4是表示行进部和检测体的侧视图；

图5是近路区域的俯视图；

图6是换乘区域的俯视图；

图7是分支合流区域的俯视图；

图8是物品搬运车在近路区域行进时的作用图；

图9是物品搬运车在换乘区域行进时的作用图；

图10是物品搬运车在分支合流区域行进时的作用图；

图11是控制框图；

图12是行进控制及停止控制的说明图；

图13是行进控制及停止控制的说明图。

具体实施方式

以下，基于附图来说明本发明的物品搬运设备的实施方式。

如图1所示，物品搬运设备具备物品搬运车2和左右一对行进轨道3（以下，有时简称为行进轨道3），前述物品搬运车2沿着行进路径1行进并对物品进行搬运，前述左右一对行进轨道3沿着行进路径1设置。需要说明的是，在本实施方式中，将收纳半导体基板的前端开启式晶圆传送盒（foup，frontopeningunifiedpod）作为搬运对象的物品。物品搬运车2在从顶棚悬吊支承的行进轨道3上行进并搬运前端开启式晶圆传送盒。

行进路径1具备两个主路径4和经由多个物品处理部p的多个副路径5。两个主路径4及多个副路径5的各个路径俯视下形成为环状。

两个主路径4设置成俯视下成为一个主路径相对于另一个主路径配置于内方侧的双重环状的状态。两个主路径4设置成沿路径宽度方向排列的状态。这两个环状的主路径4是供多个物品搬运车2绕相同方向（逆时针）行进的路径。需要说明的是，在图1中，用箭头示出了物品搬运车2的行进方向。

将两个主路径4中的内方侧的主路径4设为第一主路径4a并将外方侧的主路径4设为第二主路径4b来进行说明。

第一主路径4a以经由多个保管部r的方式设定。第一主路径4a为了在与保管部r之间移载物品而作为使物品搬运车2停止的物品移载用的路径使用。第二主路径4b作为使物品搬运车2连续地行进的连续行进用的路径使用。

行进路径1具备近路路径6、分支路径7、合流路径8及换乘路径9。

近路路径6与第一主路径4a的一对长边状部分（图1中沿上下方向以直线状延伸的一对的部分）分别连接。该近路路径6是用于使物品搬运车2从第一主路径4a的长边状部分的一方向另一方或者从长边状部分的另一方向一方行进（近路行进）的路径。

分支路径7与第二主路径4b和副路径5连接，是用于使物品搬运车2从第二主路径4b向副路径5行进的路径。合流路径8与副路径5和第二主路径4b连接，是用于使物品搬运车2从副路径5向第二主路径4b行进的路径。

换乘路径9与第一主路径4a和第二主路径4b连接，是用于使物品搬运车2从第一主路径4a向第二主路径4b或者从第二主路径4b向第一主路径4a行进的路径。

〔物品搬运车〕

接着，说明物品搬运车2。

需要说明的是，在说明物品搬运车2时，将物品搬运车2的前后方向称为行进方向，将物品搬运车2的横宽方向称为车身横宽方向。并且，在从物品搬运车2的后方观察前方的状态下，确定左右方向并进行说明。并且，对于行进路径1，将沿着行进路径1的方向设为路径长度方向，将相对于该路径长度方向俯视下正交的方向称为路径宽度方向来说明。

如图2及图3所示，物品搬运车2具备行进部32、车身主体部31及连结部34，前述行进部32在左右一对行进轨道3上沿着该行进轨道3行进，前述车身主体部31位于左右一对行进轨道3的下方并对物品进行保持，前述连结部34位于左右一对行进轨道3之间并将行进部32与车身主体部31连结。车身主体部31具备支承部33，该支承部33以悬吊状态将物品支承。

行进部32由沿行进方向排列的前方行进部32f和后方行进部32r构成。前方行进部32f及后方行进部32r分别以绕着沿上下方向的纵轴心与连结部34一体旋转的方式连结于连结部34。并且，前后一对连结部34分别以绕着沿上下方向的纵轴心旋转自如的方式连结于车身主体部31。

在前方行进部32f上，装备有由第一马达36旋转驱动的左右一对行进轮37（以下，有时称为左右一对前轮37a）。该左右一对行进轮37分别在行进面上行进，前述行进面形成于左右一对行进轨道3各自的上表面。第一马达36由伺服电机构成。

并且，在前方行进部32f上，装备有绕着沿上下方向的纵轴心旋转自如的左右一对引导轮38。该左右一对引导轮38位于左右一对行进轨道3之间，在左右一对行进轨道3的内侧面上滚动。左右一对引导轮38在前方行进部32f以沿行进方向排列的状态装备了两组。

与前方行进部32f一样，在后方行进部32r上，装备了一组左右一对行进轮37（以下，有时称为左右一对后轮37b）和两组左右一对引导轮38。

在车身主体部31的上表面具备受电部52，该受电部52被从供电线51以非接触的方式供给驱动用电力，前述供电线51沿着左右一对行进轨道3分别设置。该受电部52以在行进方向上位于前后一对连结部34之间的方式设置。受电部52位于左右一对行进轨道3之间。

受电部52被支承成沿车身横宽方向滑动移动自如。受电部52以与前方行进部32f绕纵轴心转动同步并沿车身横宽方向滑动移动的方式，借助联动机构53连结于前方行进部32f。

物品搬运车2构成为，由于前方行进部32f及后方行进部32r的引导轮38被一对行进轨道3引导而路径宽度方向上的位置被限制，同时由于前方行进部32f及后方行进部32r的行进轮37被旋转驱动而沿着行进路径1行进。

并且，物品搬运车2由于前方行进部32f及后方行进部32r分别能够相互独立地绕着沿上下方向的纵轴心旋转，所以即使行进路径1为圆弧状，也能够沿着行进路径1行进。

如图2所示，在前方行进部32f上，装备有前后一对引导辅助轮39和第二马达40，前述前后一对引导辅助轮39绕着沿上下方向的轴心旋转，前述第二马达40是使前后一对引导辅助轮39一体地沿车身横宽方向移动的驱动部。前后一对引导辅助轮39位于比行进轮37靠上方处，第二马达40位于比行进轮37的下端靠上方处。

与前方行进部32f一样，在后方行进部32r上具备前后一对引导辅助轮39和第二马达40。

并且，如图5～图7所示，在行进路径1的供两个路径连接的连接区e，设有对引导辅助轮39进行引导的引导轨道41。如图3所示，该引导轨道41设置于比行进轨道3靠上方且比在该行进轨道3上滚动的行进轮37靠上方处。并且，引导轨道41以沿上下方向观察位于左右一对行进轨道3的中央部的方式设置。

并且，如图2及图3所示，前方行进部32f构成为能够通过第二马达40的驱动来使前后一对引导辅助轮39的位置向右引导位置（相当于第一位置）和左引导位置（相当于位于比第一位置靠左方处的第二位置）移动。右引导位置是前后一对引导辅助轮39位于比前方行进部32f的车身横宽方向的中央靠右侧处、并相对于引导轨道41从右侧抵接的位置。左引导位置是前后一对引导辅助轮39位于比前方行进部32f的车身横宽方向的中央靠左侧处、并相对于引导轨道41从左侧抵接的位置。

需要说明的是，引导辅助轮39相当于以向右引导位置和左引导位置移动自如的方式设置于物品搬运车2的被引导体。

前方行进部32f具备的前后一对引导辅助轮39和后方行进部32r具备的前后一对引导辅助轮39相互同步并向相同的引导位置移动。

并且，前后一对引导辅助轮39向比右引导位置靠右侧处的移动和向比左引导位置靠左侧处的移动被图外的限制部限制。因此，例如，即使在前后一对引导辅助轮39在位于右引导位置的状态下被引导轨道41向右侧按压的情况下，也由于限制部的限制而前后一对引导辅助轮39的位置被维持在右引导位置。但是，在前后一对引导辅助轮39在位于右引导位置的状态下沿左方向受到力等的情况下，前后一对引导辅助轮39朝向左引导位置移动。

如图4所示，在物品搬运车2具备被检测部42，该被检测部42与前后一对引导辅助轮39一体地沿车身横宽方向移动。该被检测部42由片状的磁铁构成，粘贴于前后一对引导辅助轮39各自的上表面。即，通过第二马达40的驱动而前后一对引导辅助轮39沿车身横宽方向移动，由此粘贴于该前后一对引导辅助轮39的被检测部42也沿车身横宽方向移动。需要说明的是，关于被检测部42，省略了图4以外的图示。

如图11所示，在物品搬运车2上具备检测装置44、发送接收装置45、接收装置46和第三控制部h3。

检测装置44是对沿着行进路径1设置的被检测体48（参照图5等）进行检测的装置。被检测体48具有地址信息，该地址信息表示被检测体48设置的位置。检测装置44构成为检测被检测体48并且读取该被检测体48具有的地址信息。被检测体48沿着行进路径1设置有多个，相对于管理区域t的入口及出口这两者也进行了设置。并且，检测装置44相当于第一检测部，该第一检测部对在第一路径r1上行进的物品搬运车2进入到管理区域t的情况进行检测。

发送接收装置45是接收来自后述的第一控制部h1的信息并且将由检测装置44读取的地址信息向第一控制部h1发送的装置。接收装置46是接收来自后述的第二控制部h2的信息的装置。

第三控制部h3基于由发送接收装置45接收的信息（从第一控制部h1接收的信息）和由接收装置46接收的信息（从第二控制部h2接收的信息）来控制物品搬运车2。

如图5～图7所示，在行进路径1的供两个路径连接的区中，将设置有引导轨道41的区域称为连接区e。并且，将物品搬运车2的接收装置46能够接收来自通信装置56的信息且与连接区e相邻的区域称为通信区c。需要说明的是，在本实施方式中，在通信区c的整个范围内设置有通信装置56。通信装置56在通信区c的整个范围内能够与物品搬运车2通信。

并且，将物品搬运车2从主路径4或副路径5向其他路径（近路路径6、分支路径7等）分支行进的连接区e称为分支区e1。将物品搬运车2从其他路径（合流路径8、换乘路径9等）向主路径4或副路径5合流行进的连接区e称为合流区e2。

并且，具备至少一个分支区e1的管理区域t在行进路径1上设定有多个。在本实施方式中，作为管理区域t，设定了近路区域t1、换乘区域t2和分支合流区域t3。

如图5所示，近路区域t1设定于包括近路路径6的该近路路径6的附近的区域。近路区域t1是如下区域，前述区域分别具有一个与一个近路路径6对应的分支区e1及合流区e2，前述区域具有与一个近路路径6对应的两个通信区c。

在近路区域t1中，分支区e1内的近路路径6的上游端借助第一连接部p1与第一主路径4a连接。并且，合流区e2内的近路路径6的下游端借助第二连接部p2与第一主路径4a连接。

如图6所示，换乘区域t2设定于包括换乘路径9的该换乘路径9的附近的区域。换乘区域t2是如下区域，前述区域分别具有一个与一个换乘路径9对应的分支区e1及合流区e2，前述区域具有与一个换乘路径9对应的两个通信区c。

如图6所示，在换乘路径9作为用于物品搬运车2从第一主路径4a向第二主路径4b换乘的路径使用的情况下，在与该换乘路径9对应地设定的换乘区域t2中，分支区e1内的换乘路径9的上游端借助第一连接部p1与第一主路径4a连接。并且，合流区e2内的换乘路径9的下游端借助第二连接部p2与第二主路径4b连接。

虽然省略了图示，但是在换乘路径9作为用于物品搬运车2从第二主路径4b向第一主路径4a换乘的路径使用的情况下，换乘路径9的上游端与第二主路径4b连接。并且，换乘路径9的下游端与第一主路径4a连接。

如图7所示，分支合流区域t3设定于包括一组分支路径7和一组合流路径8（与一个副路径5连接的分支路径7和合流路径8）的该一组分支路径7及该一组合流路径8的附近的区域。分支合流区域t3是如下区域，前述区域分别具有一个与分支路径7对应的分支区e1及合流区e2，前述区域分别具有一个与合流路径8对应的分支区e1及合流区e2，前述区域具有两个通信区c。

在分支合流区域t3中，一个分支区e1内的合流路径8的上游端借助第一连接部p1与副路径5连接。并且，一个合流区e2内的合流路径8的下游端借助第二连接部p2与主路径4（第二主路径4b）连接。并且，在分支合流区域t3中，另一个分支区e1内的分支路径7的上游端借助第三连接部p3与主路径4连接。并且，另一个合流区e2内的分支路径7的下游端借助第四连接部p4与副路径5连接。

对于分支合流区域t3的行进路径1进行说明。

行进路径1具备第一路径r1和第二路径r2及第三路径r3，前述第一路径r1从分支合流区域t3的外部设定至副路径5的分支部d，该副路径5的分支部d位于分支合流区域t3的内部，前述第二路径r2及第三路径r3是从副路径5的分支部d设定至分支合流区域t3的外部的不同的两个路径。副路径5上的分支部d设定于比第一连接部p1靠上游侧处，设定于该第一连接部p1存在的分支区e1的上游端。

并且，行进路径1还具备第六路径r6和第四路径r4及第五路径r5，前述第六路径r6从分支合流区域t3的外部设定至主路径4的分支部d，该主路径4的分支部d位于分支合流区域t3的内部，前述第四路径r4及第五路径r5是从该主路径4的分支部d设定至分支合流区域t3的外部的不同的两个路径。主路径4上的分支部d设定于比第三连接部p3靠上游侧处，设定于该第三连接部p3存在的分支区e1的上游端。

第四路径r4在分支合流区域t3内的部分即第二连接部p2处与第二路径r2合流。第五路径r5在分支合流区域t3内的部分即第四连接部p4处与第三路径r3合流。

在分支合流区域t3内的副路径5上的分支部d处，第一路径r1的下游端与第二路径r2的上游端及第三路径r3的上游端连接。在分支合流区域t3内的主路径4的分支部d处，第六路径r6的下游端与第四路径r4的上游端及第五路径r5的上游端连接。

在分支合流区域t3内的第二连接部p2处，第二路径r2的中间部分与第四路径r4的中间部分连接。比第二连接部p2靠下游侧的路径设定于第二路径r2及第四路径r4两者。在分支合流区域t3内的第四连接部p4处，第三路径r3的中间部分与第五路径r5的中间部分连接。比第四连接部p4靠下游侧的路径设定于第三路径r3及第五路径r5两者。

并且，第二路径r2随着朝向下游侧而相对于第三路径r3向右方离开。顺便说一下，路径横宽方向相当于沿上下方向观察相对于物品搬运车2的行进方向交叉的方向（横向）。并且，右方向相当于横向中的一方向（横向第一方向），左方向相当于横向中的另一方向（横向第二方向）。

引导轨道41在分支合流区域t3内（除了通信区c）沿着第二路径r2、第三路径r3、第四路径r4及第五路径r5配置。引导轨道41配置成在第一连接部p1及第三连接部p3处分支，在第二连接部p2及第四连接部p4处合流。

相对于分支合流区域t3的各路径（从第一路径r1至第六路径r6）如下述那样形成。

如图7所示，第一路径r1由从副路径5的分支部d向上游侧延伸的部分形成。第二路径r2由从副路径5的分支部d至第一连接部p1为止的部分、合流路径8和从主路径4的第二连接部p2向下游侧延伸既定距离的部分形成。第三路径r3由从副路径5的分支部d至第四连接部p4为止的部分和从副路径5的第四连接部p4向下游侧延伸既定距离的部分形成。第四路径r4由从主路径4的分支部d至第二连接部p2为止的部分和从主路径4的第二连接部p2向下游侧延伸既定距离的部分形成。第五路径r5由从主路径4的分支部d至第三连接部p3为止的部分、分支路径7和从副路径5的第四连接部p4向下游侧延伸的部分形成。第六路径r6由从主路径4的分支部d向上游侧延伸的部分形成。

如图5及图6所示，与分支合流区域t3一样，近路区域t1及换乘区域t2分别具备第一路径r1、第二路径r2及第三路径r3。并且，近路区域t1还具备从近路区域t1的外部向近路区域t1的内部延伸的第七路径r7。换乘区域t2还具备从换乘区域t2的外部向换乘区域t2的内部延伸的第七路径r7。在近路区域t1内的第二连接部p2及换乘区域t2内的第二连接部p2处，第三路径r3的中间部分与第七路径r7的中间部分连接。并且，比该第二连接部p2靠下游侧的路径设定于第三路径r3及第七路径r7两者。

相对于近路区域t1的各路径（从第一路径r1至第三路径r3、以及第七路径r7）如下述那样形成。

如图5所示，第一路径r1由从第一主路径4a的分支部d向上游侧延伸的部分形成。第二路径r2由从第一主路径4a的分支部d向下游侧延伸的部分形成。第三路径r3由从第一主路径4a的分支部d至第一连接部p1为止的部分、近路路径6和从第一主路径4a的第二连接部p2向下游侧延伸的部分形成。第七路径r7由从第一主路径4a的第二连接部p2向上游侧及下游侧延伸的部分形成。

相对于换乘区域t2的各路径（从第一路径r1至第三路径r3、以及第七路径r7）如下述那样形成。

如图6所示，第一路径r1由从第一主路径4a的分支部d向上游侧延伸的部分形成。第二路径r2由从第一主路径4a的分支部d向下游侧延伸的部分形成。第三路径r3由从第一主路径4a的分支部d至第一连接部p1为止的部分、换乘路径9和从第二主路径4b的第二连接部p2向下游侧延伸的部分形成。第七路径r7由从第二主路径4b的第二连接部p2向上游侧及下游侧延伸的部分形成。

如图11所示，在多个管理区域t分别具备检测部55a、b、通信装置56和上述的第二控制部h2，前述检测部55a、b对在管理区域t内行进的物品搬运车2进行检测，前述通信装置56发送由检测部55a、b检测的物品搬运车2的存在与否信息。

如图5～图7所示，在引导轨道41的右方向设置有第一检测体55a，该第一检测体55a作为对位于右引导位置的引导辅助轮39进行检测的检测体55。在引导轨道41的左方向设置有第二检测体55b，该第二检测体55b作为对位于左引导位置的引导辅助轮39进行检测的检测体55。检测体55由对被检测部42产生的磁进行检测的多个磁传感器构成。

第二控制部h2构成为在基于第一检测体55a及第二检测体55b的检测信息而判断为在管理区域t存在物品搬运车2的情况下，从通信装置56发送表示管理区域t中物品搬运车2存在的路径的信息。

如图5所示，在近路区域t1内，沿着第二路径r2和第七路径r7设置有第一检测体55a，沿着第三路径r3设置第二检测体55b。

如图6所示，在换乘区域t2内，沿着第二路径r2和第三路径r3的位于合流区e2内的部分设置有第一检测体55a。并且，在换乘区域t2内，沿着第三路径r3的位于分支区e1内的部分和第七路径r7设置有第二检测体55b。

如图7所示，在分支合流区域t3内，沿着第二路径r2及第五路径r5设置有第一检测体55a。并且，在分支合流区域t3内，沿着第三路径r3及第四路径r4设置有第二检测体55b。

如图4～图7所示，沿着第二路径r2设置的检测体55相当于第二检测部55a，该第二检测部55a对在第二路径r2的分支合流区域t3内的部分存在其他物品搬运车2的情况进行检测。该第二检测部55a是第二检测装置，该第二检测装置沿着第二路径r2设置且对位于右引导位置的引导辅助轮39进行检测。

沿着第三路径r3设置的第二检测体55b（或者第一检测体55a和第二检测体55b两者）相当于第三检测部55b，该第三检测部55b对在第三路径r3的分支合流区域t3内的部分存在其他物品搬运车2的情况进行检测。该第三检测部55b是第三检测装置，该第三检测装置沿着第三路径r3设置且对位于左引导位置的引导辅助轮39进行检测。

并且，沿着第四路径r4设置的第二检测体55b也相当于第二检测部55a。即，在分支合流区域t3中，第二检测部55a除了对在第二路径r2的分支合流区域t3内的部分存在物品搬运车2的情况进行检测以外，还对在第四路径r4的分支合流区域t3内的部分存在物品搬运车2的情况进行检测。

并且，沿着第五路径r5设置的第一检测体55a也相当于第三检测部55b。即，在分支合流区域t3中，第三检测部55b除了对在第三路径r3的分支合流区域t3内的部分存在物品搬运车2的情况进行检测以外，还对在第五路径r5的分支合流区域t3内的部分存在物品搬运车2的情况进行检测。

如此，在管理区域t内，针对在使引导辅助轮39位于右引导位置的状态下物品搬运车2行进的路径，沿着该路径设置第一检测体55a。并且，针对在使引导辅助轮39位于左引导位置的状态下物品搬运车2行进的路径，沿着该路径设置第二检测体55b。

〔控制结构〕

如图11所示，物品搬运设备具备对物品搬运车2进行控制的控制装置h。

该控制装置h具备第一控制部h1、第二控制部h2和第三控制部h3。第一控制部h1是用于对包括分支合流区域t3等在内的行进路径1整体上的物品搬运车2的行进进行控制的控制部。第二控制部h2是用于对近路区域t1、换乘区域t2及分支合流区域t3上的物品搬运车2的行进进行控制的控制部。第二控制部h2与各区域分别对应地设有多个。第一控制部h1及第二控制部h2例如以不移动的方式在地板面等上设置成固定状态。第三控制部h3分别设于多个物品搬运车2。

第一控制部h1基于来自上位的控制器（未图示）的搬运指令，将作为物品的搬运源或搬运目的地设定的物品处理部p的信息、作为物品的提取地设定的保管部r的信息等搬运信息朝向物品搬运车2发送。并且，第一控制部h1基于从在行进路径1上行进的物品搬运车2发送的表示该物品搬运车2的行进位置的地址信息（位置信息），来掌握物品搬运车2的位置。

第三控制部h3基于搬运信息来执行行进控制、移载控制和停止控制，前述行进控制是使物品搬运车2向与物品处理部p或保管部r对应的目标停止位置行进的控制，前述移载控制是在使物品搬运车2停止于目标停止位置的状态下物品搬运车2与物品处理部p或保管部r之间进行物品的授受的控制，前述停止控制是使进入到区域（近路区域t1、换乘区域t2、分支合流区域t3）的物品搬运车2在该区域内停止的控制。在行进控制中，在物品搬运车2的行进中将由检测装置44读取的地址信息向第一控制部h1发送。

在基于第三控制部h3进行的行进控制中，在分支区e1中，选择分支的两个路径中的一个路径作为选择路径。

具体而言，例如，在副路径5（第一路径r1）上行进并进入分支合流区域t3的情况下，在分支区e1中分支成第二路径r2和第三路径r3这两个路径。在行进控制中，根据作为目标的停止位置，选择第二路径r2和第三路径r3中的一个路径作为选择路径。并且，以使物品搬运车2在第一路径r1及选择路径（第二路径r2或第三路径r3）上行进的方式对该物品搬运车2进行控制。

并且，在主路径4（第六路径r6）上行进并进入分支合流区域t3的情况下，在分支区e1中分支成第四路径r4和第五路径r5这两个路径。在行进控制中，根据作为目标的停止位置，选择第四路径r4和第五路径r5中的一个路径作为选择路径。并且，以使物品搬运车2在第六路径r6及选择路径（第四路径r4或第五路径r5）上行进的方式对该物品搬运车2进行控制。

即，使物品搬运车2向目标停止位置行进的行进控制是在管理区域t中使物品搬运车2沿着第一路径r1（第六路径r6）及选择路径行进的控制。

控制装置h以借助检测装置44检测到进入管理区域t的物品搬运车2且借助第二检测部55a或第三检测部55b检测到选择路径中的其他物品搬运车2（除了进入到管理区域t的物品搬运车2之外的另外的物品搬运车2）的存在为条件，来执行停止控制。这样借助检测装置44检测到进入管理区域t的物品搬运车2时，若借助第二检测部55a或第三检测部55b检测到在选择路径中存在其他物品搬运车2，则对于进入到管理区域t的物品搬运车2，中断行进控制并执行停止控制。这样通过执行停止控制，进入到管理区域t的物品搬运车2在第一连接部p1的紧前方（第一路径r1）停止。

并且，控制装置h以借助检测装置44检测到进入管理区域t的物品搬运车2、且借助第二检测部55a或第三检测部55b在选择路径中未检测到其他物品搬运车2的存在为条件，来执行行进控制。这样借助检测装置44检测到进入管理区域t的物品搬运车2时，在借助第二检测部55a或第三检测部55b未检测到其他物品搬运车2存在于选择路径中的情况下，控制装置h照原样执行行进控制。这样通过继续执行行进控制，进入到管理区域t的物品搬运车2照原样行进并通过管理区域t。

接着，说明物品搬运车2在管理区域t中接着通信区c在分支区e1中行进（第一行进）时的控制装置h的控制。需要说明的是，在第一主路径4a上行进并进入近路区域t1的分支区e1的行进、在第一主路径4a上行进并进入换乘区域t2的分支区e1的行进、在副路径5上行进并进入分支合流区域t3的分支区e1的行进相当于第一行进。

第一控制部h1在判断为在管理区域t内不存在其他物品搬运车2的情况下，向进行第一行进的物品搬运车2的第三控制部h3发送第一允许信息。并且，第一控制部h1在判断为在管理区域t内存在其他物品搬运车2的情况下，向进行第一行进的物品搬运车2的第三控制部h3发送第一禁止信息。

详细而言，第一控制部h1在判断为在管理区域t内的第二路径r2中及第三路径r3中都不存在其他物品搬运车2的情况下，向进行第一行进的物品搬运车2的第三控制部h3发送第一允许信息。并且，第一控制部h1在判断为在管理区域t内的第二路径r2中或第三路径r3中的至少一个路径中存在其他物品搬运车2的情况下，向进行第一行进的物品搬运车2的第三控制部h3发送第一禁止信息。

第二控制部h2以借助第二检测部55a及第三检测部55b未检测到选择路径中的其他物品搬运车2的存在为条件，来从通信装置56发送第二允许信息。如此，在第二控制部h2从通信装置56发送第二允许信息时，若为物品搬运车2进入管理区域t并存在于通信区c的状态，则从通信装置56发送的第二允许信息由该物品搬运车2的发送接收装置45接收。

如此，第二控制部h2以借助检测装置44检测到进入管理区域t的物品搬运车2、且借助第二检测部55a及第三检测部55b未检测到选择路径中的其他物品搬运车2的存在为条件，来向第三控制部h3发送第二允许信息。

并且，第二控制部h2以借助第二检测部55a或第三检测部55b检测到选择路径中的其他物品搬运车2的存在为条件，来从通信装置56发送第二禁止信息。如此，在第二控制部h2从通信装置56发送第二禁止信息时，若为物品搬运车2进入管理区域t并存在于通信区c的状态，则从通信装置56发送的第二禁止信息由该物品搬运车2的发送接收装置45接收。

如此，第二控制部h2以借助检测装置44检测到进入管理区域t的物品搬运车2、且借助第二检测部55a或第三检测部55b检测到选择路径中的其他物品搬运车2的存在为条件，来向第三控制部h3发送第二禁止信息。

并且，与分支合流区域t3对应地设置的第二控制部h2也将借助第二检测部55a或第三检测部55b是否检测到对象路径中的其他物品搬运车2的存在的条件加入考虑，来发送第二禁止信息或第二允许信息。

即，与分支合流区域t3对应地设置的第二控制部h2以借助检测装置44检测到进入管理区域t的物品搬运车2、且借助第二检测部55a及第三检测部55b检测到选择路径中及对象路径中的至少一个路径中的其他物品搬运车2的存在为条件，来向进行第一行进的物品搬运车2的第三控制部h3发送第二禁止信息。并且，与分支合流区域t3对应地设置的第二控制部h2以借助检测装置44检测到进入管理区域t的物品搬运车2、且借助第二检测部55a及第三检测部55b未检测到选择路径中及对象路径中这两者的其他物品搬运车2的存在为条件，来向进行第一行进的物品搬运车2的第三控制部h3发送第二允许信息。

进行第一行进的物品搬运车2的第三控制部h3在该物品搬运车2在通信区c行进时，若从通信装置56接收到第二允许信息，则执行行进控制。并且，进行第一行进的物品搬运车2的第三控制部h3在该物品搬运车2在通信区c行进时，若从通信装置56接收到第二禁止信息，则中断行进控制并执行停止控制。

如此，物品搬运车2的第三控制部h3在该物品搬运车2进行第一行进的情况下，与第一允许信息及第二允许信息的接收情况无关，以接收到第二禁止信息为条件来执行停止控制，且以接收到第二允许信息为条件来执行行进控制（参照图12）。

接着，说明物品搬运车2在管理区域t中接着通信区c在合流区e2中行进（第二行进）时的控制装置h的控制。需要说明的是，在第一主路径4a上行进并进入近路区域t1的合流区e2的行进、在第二主路径4b上行进并进入换乘区域t2的合流区e2的行进相当于第二行进。

在此，如上述说明的那样，在物品搬运车2进行第一行进的情况下，基于在第二路径r2及第三路径r3的某一个路径或两者上是否存在其他物品搬运车2，来向进行第一行进的物品搬运车2的第三控制部h3发送各种信息。

另一方面，在物品搬运车2进行第二行进的情况下，判断是否存在其他物品搬运车2的路径在为第三路径r3及第七路径r7中的某一个路径或两者这点上与物品搬运车2进行第一行进的情况不同。其他的点与物品搬运车2进行第一行进的情况相同。

即，在物品搬运车2进行第二行进的情况下，与物品搬运车2进行第一行进的情况一样，第一控制部h1将第一允许信息或第一禁止信息向进行第二行进的物品搬运车2的第三控制部h3发送。

在该情况下，与物品搬运车2进行第一行进的情况一样，第二控制部h2将第二允许信息或第二禁止信息向进行第二行进的物品搬运车2的第三控制部h3发送。

并且，物品搬运车2的第三控制部h3在该物品搬运车2进行第二行进的情况下，以接收到第一禁止信息和第二禁止信息中的至少一个信息为条件来执行停止控制，且以接收到第一允许信息和第二允许信息这两者为条件来执行行进控制（参照图13）。

如此，如图8～图10所示，在物品搬运车2进入到管理区域t时，即使在第二路径r2及第三路径r3中的未选择作为选择路径（例如第二路径r2）的路径（例如第三路径r3）或不是对象路径（例如第四路径r4）的路径（例如第五路径r5）上存在物品搬运车2（例如图8～图10中用假想线表示的物品搬运车2b或图10中用假想线表示的物品搬运车2d）的情况下，在选择路径（例如第二路径r2）或对象路径（例如第四路径r4）上不存在其他物品搬运车2（例如图8～图10中用假想线表示的物品搬运车2a或图10中用假想线表示的物品搬运车2c）的情况下，也对进入到管理区域t的物品搬运车2进行行进控制，来使进入到管理区域t的物品搬运车2在选择路径（例如第二路径r2）上行进。因此，与仅以在管理区域t中存在其他物品搬运车2为条件来使进入到管理区域t的物品搬运车2停止的情况相比，能够抑制使物品搬运车2停止的频率，能够实现搬运效率的提高。

〔其他实施方式〕

（1）在上述实施方式中，以借助检测体对被引导体进行检测的情况为例进行了说明。但是，也可以借助检测体对物品搬运车的其他部分例如行进部的基架等进行检测。

并且，以作为第一检测部的检测装置设置于物品搬运车的情况为例进行了说明。但是，第一检测部也可以设置于地面侧（例如以支承于行进轨道的状态设置）并对物品搬运车进行检测。

（2）在上述实施方式中，将第一路径与第二路径及第三路径的分支部的位置设定于比供两个路径连接的连接部（例如供副路径和合流路径连接的第一连接部）靠上游侧处，但是也可以如下述那样设定分支部。

例如，可以将第一路径与第二路径及第三路径的分支部的位置设定于，与供两个路径连接的连接部（例如供副路径和合流路径连接的第一连接部）相同的位置。具体而言，在将分支部的位置设定于与第一连接部相同的位置的情况下，考虑借助副路径的从第一连接部（分支部）向上游侧延伸的部分来形成第一路径，借助合流路径的从第一连接部（分支部）向下游侧延伸的部分来形成第二路径，借助副路径的从第一连接部（分支部）向下游侧延伸的部分来形成第三路径。在该情况下，例如可以在第二路径上行进的物品搬运车的行进轨迹与在第三路径上行进的物品搬运车的行进轨迹不重叠的方式，设定第二路径及第三路径。通过这样地设置第二路径及第三路径，即使在第三路径的上游端停止有其他物品搬运车，也不会与该其他物品搬运车发生接触，进入到管理区域的物品搬运车能够在第二路径上行进。并且，即使在第二路径的上游端停止有其他物品搬运车，也不会与该其他物品搬运车发生接触，进入到管理区域的物品搬运车能够在第三路径上行进。

并且，也可以将第一路径与第二路径及第三路径的分支部设定于比供两个路径连接的连接部（例如供副路径和合流路径连接的第一连接部）靠下游侧处。具体而言，在将分支部设定于比第一连接部靠下游侧处的情况下，分支部设定于副路径的比第一连接部靠下游侧处（副路径的圆弧状的部分）和合流路径的比第一连接部靠下游侧处（合流路径的中间部分）。并且，通过副路径的从第一连接部向上游侧延伸的部分、副路径的从第一连接部至分支部为止的部分和合流路径的从第一连接部至分支部为止的部分来形成第一路径。并且，考虑通过合流路径的从分支部向下游侧延伸的部分来形成第二路径，通过副路径的从分支部向下游侧延伸的部分来形成第三路径。

（3）在上述实施方式中，说明了在管理区域中至少具备分支区和合流区的例子。但是，也可以在管理区域中仅具备分支区。

并且，在上述实施方式中，说明了以分支区和合流区连续的方式设定这些区的位置（设置引导轨道）的例子。但是，也可以分支区和合流区离开的方式设定这些区的位置。顺便说一下，在分支区和合流区离开地设定的情况下，位于分支区与合流区之间的区域也可以包含于管理区域。或者，也可以将分支区与合流区设为不同的管理区域。

〔上述实施方式的概要〕

以下，说明在上述中说明的物品搬运设备的概要。

物品搬运设备具备物品搬运车和控制装置，前述物品搬运车沿着行进路径行进并对物品进行搬运，前述控制装置对前述物品搬运车进行控制，前述行进路径具备第一路径和第二路径及第三路径，前述第一路径从管理区域的外部设定至分支部，该分支部位于前述管理区域的内部，前述第二路径及第三路径是从前述分支部设定至前述管理区域的外部的不同的两个路径，在前述管理区域内的前述分支部处，前述第一路径的下游端与前述第二路径的上游端及前述第三路径的上游端连接，前述控制装置执行行进控制和停止控制，前述行进控制是选择前述第二路径和前述第三路径中的一个路径作为选择路径、并使前述物品搬运车沿着前述第一路径及前述选择路径行进的控制，前述停止控制是使进入到前述管理区域的前述物品搬运车停止在前述第一路径上的控制，其中，前述物品搬运设备还具备第一检测部、第二检测部和第三检测部，前述第一检测部对在前述第一路径上行进的前述物品搬运车进入到前述管理区域的情况进行检测，前述第二检测部对在前述第二路径的前述管理区域内的部分存在其他物品搬运车的情况进行检测，前述第三检测部对在前述第三路径的前述管理区域内的部分存在其他物品搬运车的情况进行检测，前述控制装置以借助前述第一检测部检测到前述物品搬运车且借助前述第二检测部或前述第三检测部检测到前述选择路径上的其他物品搬运车的存在为条件，来执行前述停止控制，并且以借助前述第一检测部检测到前述物品搬运车且借助前述第二检测部或前述第三检测部未检测到前述选择路径上的其他物品搬运车的存在为条件，来执行前述行进控制。

根据该结构，通过控制装置执行行进控制，物品搬运车在第一路径及选择路径（第二路径或第三路径）上行进并通过管理区域。

并且，在借助第一检测部检测到进入管理区域的物品搬运车且借助第二检测部或第三检测部在选择路径上检测到其他物品搬运车的存在的情况下，控制装置中断行进控制并执行停止控制，使进入到管理区域的物品搬运车2停止在分支部的紧前方。

并且，在借助第一检测部检测到进入管理区域的物品搬运车且借助第二检测部或第三检测部在选择路径上未检测到其他物品搬运车的存在的情况下，控制装置例如在该状态下继续执行行进控制，或者在暂时执行停止控制之后重新开始行进控制的执行，使物品搬运车沿着第一路径及选择路径行进。

即，在物品搬运车进入到管理区域时，在选择路径上不存在其他物品搬运车的情况下，即使在第二路径及第三路径中的未选择作为选择路径的路径上存在其他物品搬运车的情况下，也对进入到管理区域的物品搬运车进行行进控制，来使进入到管理区域的物品搬运车在选择路径上行进。因此，与仅根据在管理区域存在其他物品搬运车来使进入到管理区域的物品搬运车停止并待机的情况相比，能够实现设备整体的搬运效率的提高。

在此，优选的是，前述控制装置具备第一控制部、第二控制部和第三控制部，前述第一控制部基于位置信息来掌握前述物品搬运车的位置，前述位置信息被从在前述行进路径上行进的前述物品搬运车发送，表示该物品搬运车的行进位置，在判断为在前述管理区域内的前述第二路径及前述第三路径两者上不存在其他物品搬运车的情况下，向前述第三控制部发送第一允许信息，在判断为在前述管理区域内的前述第二路径或前述第三路径中的至少一个路径上存在其他物品搬运车的情况下，向前述第三控制部发送第一禁止信息，前述第二控制部以借助前述第一检测部检测到前述物品搬运车且借助前述第二检测部及前述第三检测部未检测到前述选择路径上的其他物品搬运车的存在为条件，来向前述第三控制部发送第二允许信息，以借助前述第一检测部检测到前述物品搬运车且借助前述第二检测部或前述第三检测部检测到前述选择路径上的其他物品搬运车的存在为条件，来向前述第三控制部发送第二禁止信息，前述第三控制部对于前述管理区域的前述物品搬运车的控制，与前述第一允许信息的接收情况无关，以接收到前述第二禁止信息为条件来执行前述停止控制，且以接收到前述第二允许信息为条件来执行前述行进控制。

根据该结构，第一控制部能够基于从在行进路径上行进的物品搬运车发送的表示该物品搬运车的行进位置的位置信息来掌握物品搬运车的位置。但是，第一控制部对于未在行进路径上行进的物品搬运车无法掌握位置。具体而言，例如对于由作业者安置于第二路径或第三路径的物品搬运车，第一控制部无法掌握。因此，即使在第一控制部判断为在管理区域内的第二路径及第三路径两者上不存在物品搬运车的情况下，实际上也有可能在在第二路径或第三路径上存在物品搬运车。

相对于此，在第二控制部中，根据第二检测部或第三检测部的检测信息，能够如上述那样掌握由作业者安置于第二路径或第三路径上的物品搬运车。

因此，第三控制部对于管理区域的物品搬运车的控制，与来自第一控制部的第一允许信息的接收情况无关，以接收到来自第二控制部的第二禁止信息为条件来执行停止控制。因此，能够避免进入到管理区域的物品搬运车与如上述那样由作业者安置于选择路径上的物品搬运车发生碰撞。

并且，优选的是，将沿上下方向观察相对于前述物品搬运车的行进方向交叉的方向设为横向，将前述横向的一方向设为横向第一方向，将前述横向的另一方向设为横向第二方向，前述第二路径随着朝向下游侧而相对于前述第三路径向前述横向第一方向离开，前述物品搬运设备具备引导轨道，该引导轨道在前述分支部处分支并且沿着前述第一路径、前述第二路径及前述第三路径分别配置，前述物品搬运车具备被引导体，该被引导体向第一位置和第二位置移动自如，前述第二位置位于比该第一位置靠前述横向第二方向侧处，前述物品搬运车被引导成，前述被引导体位于前述第一位置、相对于前述引导轨道从前述横向第一方向侧接触的同时，前述物品搬运车行进，从而前述物品搬运车从前述第一路径向前述第二路径移动，前述物品搬运车被引导成，前述被引导体位于前述第二位置、相对于前述引导轨道从前述横向第二方向侧接触的同时，前述物品搬运车行进，从而前述物品搬运车从前述第一路径向前述第三路径移动，前述第二检测部为第二检测装置，该第二检测装置沿着前述第二路径设置，且对位于前述第一位置的前述被引导体进行检测，前述第三检测部为第三检测装置，该第三检测装置沿着前述第三路径设置，且对位于前述第二位置的前述被引导体进行检测。

根据该结构，在物品搬运车在第二路径上行进时，被引导体相对于引导轨道位于第一方向侧。在物品搬运车在第三路径上行进时，被引导体相对于引导轨道位于第二方向侧。并且，能够借助第二检测部及第三检测部中的某一个来适当地检测根据物品搬运车行进的路径而向不同的位置移动的被引导体。因此，根据该结构，容易适当地检测物品搬运车行进的路径。

并且，优选的是，前述行进路径还具备第四路径和第五路径，前述第四路径从前述管理区域的外部向前述第二路径的前述管理区域内的部分合流，前述第五路径从前述管理区域的外部向前述第三路径的前述管理区域内的部分合流，前述第二检测部除了对在前述第二路径的前述管理区域内的部分存在其他物品搬运车的情况进行检测以外，还对在前述第四路径的前述管理区域内的部分存在其他物品搬运车的情况进行检测，前述第三检测部除了对在前述第三路径的前述管理区域内的部分存在其他物品搬运车的情况进行检测以外，还对在前述第五路径的前述管理区域内的部分存在其他物品搬运车的情况进行检测，将前述第四路径和前述第五路径中的与前述选择路径合流的路径设为对象路径，前述控制装置以借助前述第一检测部检测到前述物品搬运车且借助前述第二检测部及前述第三检测部检测到前述选择路径及前述对象路径中的至少一个路径上的其他物品搬运车的存在为条件，来执行前述停止控制，并且以借助前述第一检测部检测到前述物品搬运车且借助前述第二检测部及前述第三检测部未检测到前述选择路径及前述对象路径两者上的其他物品搬运车的存在为条件，来执行前述行进控制。

根据该结构，在第二路径被选择作为选择路径时，在作为该选择路径的第二路径和作为对象路径的第四路径中未检测到物品搬运车的情况下，即使在第三路径或第五路径上检测到其他物品搬运车，也执行行进控制。并且，在第三路径被选择作为选择路径时，在作为该选择路径的第三路径和作为对象路径的第五路径中未检测到物品搬运车的情况下，即使在第二路径或第四路径上检测到其他物品搬运车，也执行行进控制。因此，能够抑制使物品搬运车以停止状态待机的频率，因此实现搬运效率的提高。

并且，在第二路径被选择作为选择路径时，在作为该选择路径的第二路径或作为对象路径的第四路径中检测到物品搬运车的情况下，执行停止控制，待机至物品搬运车从这些路径上退出并不再检测到物品搬运车为止。并且，在第三路径被选择作为选择路径时，在作为该选择路径的第三路径或作为对象路径的第五路径中检测到物品搬运车的情况下，执行停止控制，待机至物品搬运车从这些路径上退出并不再检测到物品搬运车为止。因此，能够避免物品搬运车彼此的碰撞。

如此，在分支和合流混合的路径上，能够避免物品搬运车彼此的碰撞并实现设备的搬运效率的提高。

附图标记说明

1行进路径；

2物品搬运车；

44检测装置（第一检测部）；

55a第二检测部；

55b第三检测部；

d分支部；

h控制装置；

h1第一控制部；

h2第二控制部；

h3第三控制部；

t管理区域；

r1第一路径；

r2第二路径；

r3第三路径；

r4第四路径；

r5第五路径。